[發(fā)明專利]齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)、真空處理裝置、齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)的驅(qū)動控制方法、驅(qū)動控制程序及記錄介質(zhì)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980149561.5
• 申請日: 2009-12-09
• 公開（公告）號: CN102245934A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田中康友
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能安內(nèi)華股份有限公司
• 主分類號: F16H19/04
• 分類號: F16H19/04;B65G49/06;C23C14/56;C23C16/44;H01L21/677
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)，該齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)具有：齒條，其固定于載置臺，該載置臺在搬運(yùn)軌道上移動，用于搭載被搬運(yùn)物；多個小齒輪，其連結(jié)于驅(qū)動源，用于與所述齒條嚙合，在這些小齒輪中，至少兩個小齒輪同步旋轉(zhuǎn)并依次與所述齒條嚙合，由此將所述齒條從當(dāng)前工序的小齒輪向下一工序的小齒輪交接而搬運(yùn)所述載置臺，其特征在于，

該齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)包括：

用于檢測所述小齒輪的相位差值的部件；

控制裝置，其具有用于存儲所述檢測部件所檢測到的所述小齒輪的相位差值的存儲部，該控制裝置基于所述當(dāng)前工序的小齒輪的相位差值，對所述下一工序的小齒輪的相位差值進(jìn)行控制。

2.如權(quán)利要求1所述的齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述控制裝置進(jìn)行如下控制：

在所述當(dāng)前工序的小齒輪上確定基準(zhǔn)點并存儲該基準(zhǔn)點，

求出所述當(dāng)前工序的小齒輪從開始與所述齒條嚙合時到嚙合結(jié)束時為止轉(zhuǎn)離所述基準(zhǔn)點的角度，

以360度÷小齒輪的齒數(shù)來算出所述當(dāng)前工序的小齒輪的1個齒角，

用所述旋轉(zhuǎn)角除以所述1個齒角，算出余出的角，

在所述余出的角大于所述1個齒角的1/2的情況下，使所述下一工序的小齒輪從所述基準(zhǔn)點向前進(jìn)方向轉(zhuǎn)動以1個齒角-余出的角所得到的角度，

另一方面，在所述余出的角小于所述1個齒角的1/2的情況下，使所述下一工序的小齒輪從所述基準(zhǔn)點向前進(jìn)方向的相反方向旋轉(zhuǎn)所述余出的角的角度。

3.如權(quán)利要求2所述的齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述余出的角與所述1個齒角的1/2相同的情況下，結(jié)束控制。

4.如權(quán)利要求1所述的齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述控制裝置進(jìn)行如下控制：

用所述當(dāng)前工序的小齒輪和所述下一工序的小齒輪之間的距離L、所述齒條的齒距p及所述下一工序的小齒輪的齒數(shù)，算出相位差值并將該相位差值存儲于所述存儲部，

基于所述相位差值，使所述下一工序的小齒輪向前進(jìn)方向旋轉(zhuǎn)。

5.如權(quán)利要求4所述的齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述齒條的齒距p上，加上根據(jù)與設(shè)置環(huán)境的氣氛溫度相對應(yīng)的熱膨脹系數(shù)算出的膨脹量。

6.一種真空處理裝置，其特征在于，

所述被搬運(yùn)物為基板，該真空處理裝置具有權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)作為所述載置臺的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，

多個真空室被沿搬運(yùn)軌道連接，各真空室中分別設(shè)有所述小齒輪。

7.一種齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)的驅(qū)動控制方法，該齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)具有：齒條，其固定于載置臺，該載置臺在搬運(yùn)軌道上移動，用于搭載被搬運(yùn)物；多個小齒輪，其連結(jié)于驅(qū)動源，用于與所述齒條嚙合，在這些小齒輪中，至少兩個小齒輪同步旋轉(zhuǎn)并依次與所述齒條嚙合，由此將所述齒條從當(dāng)前工序的小齒輪向下一工序的小齒輪交接而搬運(yùn)所述載置臺，其特征在于，

該驅(qū)動控制方法具有如下步驟：

在所述當(dāng)前工序的小齒輪上確定基準(zhǔn)點并存儲該基準(zhǔn)點；

求出所述當(dāng)前工序的小齒輪從開始與所述齒條嚙合時到嚙合結(jié)束時為止轉(zhuǎn)離所述基準(zhǔn)點的角度；

以360度÷小齒輪的齒數(shù)來算出所述當(dāng)前工序的小齒輪的1個齒角；

用所述旋轉(zhuǎn)角除以所述1個齒角，算出余出的角；

在所述余出的角大于所述1個齒角的1/2的情況下，使所述下一工序的小齒輪從所述基準(zhǔn)點向前進(jìn)方向轉(zhuǎn)動以1個齒角-余出的角所得到的角度；

另一方面，在所述余出的角小于所述1個齒角的1/2的情況下，使所述下一工序的小齒輪從所述基準(zhǔn)點向前進(jìn)方向的相反方向旋轉(zhuǎn)所述余出的角的角度。

8.如權(quán)利要求7所述的齒條-小齒輪機(jī)構(gòu)的驅(qū)動控制方法，其特征在于，在所述余出的角與所述1個齒角的1/2相同的情況下，結(jié)束控制。