[發明專利]具有順服涂層的靜電夾盤

無效

• 申請號: 200980149401.0
• 申請日: 2009-12-10
• 公開（公告）號: CN102246288A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 阿施文·普魯黑特;威廉·D·李;馬文·拉封丹;理查德·澤祖特
• 申請（專利權）人: 艾克塞利斯科技公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李敬文

1.一種靜電夾盤，用于夾箝基板和控制相關聯的熱傳遞，該靜電夾盤包括：

陶瓷元件，包括陶瓷表面；以及

順服層，包括低摩擦表面，所述低摩擦表面覆蓋陶瓷表面并提供用于夾箝基板的夾箝表面。

2.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括有機硅化物。

3.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括

4.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括1微米到大約5微米的寬度。

5.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中陶瓷元件包括基于氮化鋁的材料。

6.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括使順服層對基板的接觸比例小于100％的表面構形圖案，以及其中在順服層下的陶瓷表面包括實質上平坦的表面。

7.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層的表面構形包括以接觸島狀物而加以圖案化的表面構形，接觸島狀物使順服層的接觸比例小于100％。

8.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層符合陶瓷元件的陶瓷表面，以及其中陶瓷表面位于順服層下，該陶瓷表面不包括平坦的表面，而是包括使順服層對基板的接觸比例小于100％的表面構形圖案。

9.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括涂覆有或有機硅化物的層的納米纖維。

10.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中根據足以夾箝基板的夾箝力，順服層包括1微米到5微米的厚度。

11.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中陶瓷元件包括溝槽，而順服層符合陶瓷元件的溝槽。

12.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括

13.如權利要求1所述的靜電夾盤，其中順服層包括含氟聚合物涂層。

14.一種靜電夾盤，用于夾箝基板和控制相關聯的熱傳遞，該靜電夾盤包括：

夾箝元件；以及

順服層，包括順服材料和用于夾箝基板的低摩擦夾箝表面。

15.如權利要求14所述的靜電夾盤，其中順服層材料包括或有機硅化物。

16.如權利要求14所述的靜電夾盤，其中根據足以夾箝基板的夾箝力，順服層包括1微米到5微米的厚度；其中順服層的表面構形包括多個特征，該多個特征從順服層開始在順服層下延伸以用于接觸基板；其中該多個特征包括陶瓷材料、順服層材料、或陶瓷材料和順服層材料二者；并且其中該多個特征包括彼此分開的皺摺、溝槽、微點和/或島狀特征以用于接觸基板。

17.一種形成靜電夾盤的方法，包括：

形成用于基板的夾箝元件，夾箝元件包括陶瓷材料和陶瓷表面；以及

以順服層材料涂覆陶瓷表面而覆蓋陶瓷元件。

18.如權利要求17所述的方法，其中順服層的表面構形包括多個特征，該多個特征從順服層開始在順服層材料下延伸以用于接觸基板；其中該多個特征包括陶瓷材料、順服層材料、或陶瓷材料和順服層材料二者。

19.如權利要求17所述的方法，其中順服層材料包括或有機硅化物。

20.如權利要求17所述的方法，其中順服層的表面構形包括特征，該特征包括彼此分開的皺摺、溝槽、微點和/或島狀特征以用于接觸基板。