[發明專利]用于濺射靶制造的圓形凹槽擠壓機構和方法

無效

• 申請號: 200980149256.6
• 申請日: 2009-10-09
• 公開（公告）號: CN102245795A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 尤金.Y.伊萬諾夫;埃里克.西多;戴維.B.斯馬瑟斯
• 申請（專利權）人: 東曹SMD有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B21D17/02;B21D13/02;B21D22/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王冉

1.一種利用圓形凹槽擠壓制造金屬靶坯件的方法，包括如下步驟：

a.在第一圓形凹槽擠壓模具組中將金屬或金屬合金靶坯件擠壓為第一同心褶皺形狀，同時保持所述靶坯件的初始直徑以在所述靶坯件中產生剪切變形的同心環；

b.通過平的模具組向所述同心褶皺靶坯件施加足夠的力以大致使所述靶坯件變平，同時保持所述靶坯件的初始直徑以將所述靶坯件恢復為大致平的狀態；

c.在第二圓形凹槽模具組中擠壓所述靶坯件為第二同心褶皺形狀，同時保持所述靶坯件的初始直徑，其中，所述第二模具組具有從所述第一模具組的凹槽圖案偏置的凹槽圖案，從而在所述靶坯件的在步驟a)中未變形的區域中產生剪切變形的同心環；和

d.通過平的模具組向所述同心褶皺靶坯件施加足夠的力以大致使所述靶坯件變平，同時保持所述靶坯件的初始直徑以將所述靶坯件恢復為大致平的狀態。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述第二凹槽模具組具有形成于其中的同心凹槽，用于使所述靶坯件產生圓形褶皺，所述凹槽的尺寸大致與所述第一模具組中的凹槽的尺寸相同，但是偏置了一個周期。

3.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括重復步驟a)、b)、c)和d)。

4.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括在步驟a)-d)的一個或多個之后退火所述靶坯件的步驟。

5.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括在步驟a)-d)的一個或多個之前加熱所述靶坯件的步驟。

6.如權利要求1所述的方法，所述方法還包括在步驟a)-d)的一個或多個之前冷卻所述靶坯件的步驟。

7.用于制造濺射靶坯件的圓形凹槽擠壓機構，所述圓形凹槽擠壓機構包括：

a.具有凹槽的第一凹槽模具組，用于使所述靶坯件形成圓形褶皺；

b.第二凹槽模具組，用于在所述第一模具組中未變形的區域中使所述靶坯件形成褶皺，該第二凹槽模具組具有與所述第一模具組中的凹槽尺寸相同的凹槽尺寸；和

c.用于變平所述靶坯件的模具組。

8.如權利要求7所述的圓形凹槽擠壓機構，其中，所述第二凹槽模具組具有形成于其中的同心凹槽，用于使所述靶坯件形成圓形褶皺，其凹槽的尺寸大致與所述第一模具組中的凹槽尺寸相同，但是偏置了一個周期。