[發(fā)明專利]用于清潔柔性幅材的設(shè)備和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980147320.7
• 申請日: 2009-11-16
• 公開（公告）號: CN102224287A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 布賴恩·E·施賴伯;威廉·布萊克·科爾布;基斯·R·布呂澤維茨
• 申請（專利權(quán)）人: 3M創(chuàng)新有限公司
• 主分類號: D06B1/02
• 分類號: D06B1/02;D06B3/02;D06B1/04
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 梁曉廣;關(guān)兆輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及超凈表面的制備，更具體地講，本發(fā)明涉及清潔柔性幅材的方法。

背景技術(shù)

已知在現(xiàn)代工業(yè)的一些生產(chǎn)流程中，如在用于微處理器的硅晶片制造中，碎屑的最微小粒子都可能是有害的。某些從這類硬表面上移除均勻的超細(xì)粒子的技術(shù)是已知的。然而，近來隨著越來越多的工業(yè)動態(tài)向著更輕、更薄的光學(xué)設(shè)備和電子設(shè)備兩者發(fā)展，對超凈材料的需求已擴(kuò)展到使用材料幅材的大容量滾筒式產(chǎn)品。雖然硬質(zhì)材料(如不銹鋼)的幅材已出現(xiàn)在這一擴(kuò)大的市場上，但考慮到聚合物材料的柔性和光學(xué)透明性，更經(jīng)常地需要聚合物材料。與微小碎屑可損壞硅晶片相同，微小碎屑在幅材的滾筒式加工中可能是重要的問題，微小碎屑的存在會引起額外的麻煩，需要對其區(qū)域進(jìn)行多次清潔，并且通常在軟得多的表面的情況下。盡管如此，從表面上清除小粒子可使硬質(zhì)且不透明材料的幅材受益。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供在無需使用浸漬浴或超聲能量的條件下材料幅材的清潔方法，特別是清潔相對柔軟的聚合物幅材的清潔方法。在一個(gè)方面，該方法包括：用墊輥支承幅材；用高壓液體噴射幅材的第一表面，而幅材的相對的第二表面接觸墊輥；在噴射之后將氣簾導(dǎo)向第一表面，而相對的第二表面由墊輥支承。許多流體被認(rèn)為是適用于噴射，但取決于待清潔的幅材類型，超純水、去離子水、包含表面活性試劑的水、有機(jī)溶劑、和比重高的流體被認(rèn)為是特別便利的。對本發(fā)明使用的流體進(jìn)行預(yù)過濾被認(rèn)為是特別便利的。

在另一個(gè)實(shí)施例中，材料幅材接觸清潔輥，而幅材接觸墊輥。發(fā)現(xiàn)具有多孔多瘤表面的清潔輥是可用的，并且該清潔輥可以由聚乙烯醇(PVA)或其變體便利地進(jìn)行制備。多瘤輥可具有圓柱形的突起或其它圖案的突起。通常，當(dāng)清潔輥以幅材移動方向相反的方向抵靠幅材刮擦?xí)r，穿過微孔徑向輸送的流體從內(nèi)部輸入清潔輥。受到幅材以及墊輥的擠壓，多瘤輥通常沿徑向被壓縮0.5mm至約2.5mm。該方法可以可選地包括在幅材材料接觸清潔輥之前，將幅材材料潤濕。該方法可以可選地包括，在通過該多瘤輥的流體流動中、或作為在輥的旋轉(zhuǎn)表面上方的滴落濃縮液，使用濕潤劑或表面活性劑。

在另一個(gè)實(shí)施例中，當(dāng)材料幅材保持在粒子受控的氣氛的潔凈室進(jìn)行幅材清潔時(shí)，進(jìn)行本方法的一部分或全部是可用的。可將材料幅材設(shè)置在潔凈室中，該潔凈室達(dá)到Federal?Standard?209“Airborne?Particulate?Cleanliness?Classes?in?Cleanrooms?and?Clean?Zones”(聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209“潔凈室和潔凈區(qū)域的空氣傳播微粒清潔度級別”)的限度。具體地講，該潔凈室能夠達(dá)到聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209下的10,000級別、或1,000級別、或100級別、或10級別的要求。

在另一方面，用于清潔材料幅材的設(shè)備包括：墊輥，其被設(shè)置成將幅材至少部分地包裹在墊輥周圍；高壓液體源，其被連接到至少一個(gè)噴嘴，用于在墊輥支承幅材時(shí)噴射所述幅材；和氣源，其被連接到位于至少一個(gè)噴嘴之后的出氣簾，氣簾被取向成在墊輥支承幅材時(shí)，與幅材移動方向相交，并且被設(shè)置用于將液體從幅材移除。

附圖說明

本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)了解，本討論僅是針對示例性實(shí)施例的描述，其并不旨在限制本發(fā)明的更廣泛的方面，其中更廣泛的方面體現(xiàn)在示例性構(gòu)造中。

圖1示出根據(jù)本發(fā)明的幅材清潔設(shè)備的側(cè)視圖。

圖2示出根據(jù)本發(fā)明的幅材清潔設(shè)備的另一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視圖。

圖3示出根據(jù)本發(fā)明的幅材清潔設(shè)備的另一個(gè)實(shí)施例的側(cè)視圖。

圖4示出幅材清潔流水線的側(cè)視圖。

說明書及附圖(未按比例繪制)中參考字符的反復(fù)使用旨在表示本發(fā)明的相同或類似的特征或元件。

定義

如本文所用，詞語形式“包含”、“具有”和“包括”在法律上等同且具開放式含義。因此，除了列舉的元件、功能、步驟或限制之外，還可以有其他未列舉的元件、功能、步驟或限制。

如本文所用，“高壓”被定義為約500psi(3.45兆帕)至約3000psi(20.68兆帕)，其中約1000psi(6.89兆帕)至約2500psi(17.24兆帕)被認(rèn)為是特別便利的高壓。

具體實(shí)施方式