[發明專利]有機電致發光顯示裝置及其制造方法

無效

• 申請號: 200980147116.5
• 申請日: 2009-09-11
• 公開（公告）號: CN102224613A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發明（設計）人: 箕浦潔;淺岡康;安松拓人
• 申請（專利權）人: 夏普株式會社
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10;H05B33/12
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

技術領域

本發明涉及有機電致發光顯示裝置及其制造方法。更詳細而言，涉及構成為將具有發光層等的基板與具有薄膜晶體管(TFT)元件等的基板貼合的有機電致發光顯示裝置及其制造方法。

背景技術

有機電致發光(以下也稱為“EL”)顯示裝置，作為承擔下一代的有希望的顯示裝置，正在積極地進行開發，逐漸擴展實用的范圍。根據光的取出方向，有機EL顯示裝置能夠大致分為頂部發光型和底部發光型。頂部發光型的有機EL顯示裝置，在玻璃基板等基板上具有將金屬電極、發光層、透明電極依次成膜的膜結構。底部發光型的有機EL顯示裝置，同樣在玻璃基板等基板上具有將透明電極、發光層、金屬電極依次成膜的膜結構。由于該膜結構的不同，頂部發光型的有機EL顯示裝置，以發光層為基準向與元件基板相反的方向發光，與此相對，底部發光型的有機EL顯示裝置，以發光層為基準向元件基板的方向發光。這樣，在頂部發光型的有機EL顯示裝置和底部發光型的有機EL顯示裝置中，來自發光層的光的取出方向不同。

有機EL顯示裝置，在頂部發光型和底部發光型中的任一種中，來自發光層的發光通過全反射產生導光成分。因此，將來自發光層的發光向元件外部取出的外部取出效率，保持在20～25％左右，正在謀求提高外部取出效率。為了提高外部取出效率，需要使來自發光層的發光在相同的像素內取出，因此，需要使來自發光層的發光散射，進而將散射的光導向元件外部。作為使來自發光層的發光散射的散射方法，提案有設置具有反射功能的光學部件，作為散射效果高的光學部件，已知有立體角反射器陣列(corner?cube?array)(例如，參照專利文獻1)。

將散射的光導向元件外部的導光單元，需要設置在光的出射側，優選盡可能低的折射率，且厚度薄。于是，提案有在發光層的附近設置金屬薄膜等低折射率層作為導光單元的方法(例如，參照專利文獻2)等。當考慮光的透過率時，低折射率層優選為透明。作為低折射率且厚度薄的透明的低折射率層，可以考慮由空氣等氣體構成的氣體層。作為低折射率層，通過將氣體層設置在光的出射側，能夠在氣體層與折射率比該氣體層的折射率高的層之間的界面發生全反射，將來自發光層的散射光高效地向外部出射。如果是頂部發光結構的有機EL顯示裝置，則低折射率層在元件配置基板的主面上形成了EL元件后形成即可，因此適用容易。

然而，底部發光型的有機EL顯示裝置中，必須在元件配置基板與EL元件之間形成低折射率層，因此在哪個工序中形成低折射率層成為問題。例如，構成有機EL元件的發光層，一般情況下通過真空成膜而形成，因此難以在發光層成膜之前形成作為低折射率層的氣體層。此外，如上述的立體角反射器陣列那樣設置散射效應高的光學部件的情況下，由于與立體角反射器陣列的形成方法的關系，氣體層的形成困難。即，立體角反射器陣列通過Photo-Polymer(光聚合物)轉印法(以下，稱為2P轉印法)形成，在2P轉印法中，將液體狀的紫外線(UV)固化樹脂涂敷在支承基板上，一邊用模具加壓一邊照射UV光而形成，因此固化前的UV固化樹脂為液體狀，難以保持氣體層。這樣，底部發光型的有機EL顯示裝置中，在有機EL元件的形成前的初始工序中，難以形成氣體層。

然而，一直以來，提案有以實現顯示裝置的薄型化、輕量化等為目的，在支承基板上形成薄膜晶體管(TFT)等功能性元件，并將形成的功能性元件從支承基板剝離而粘貼于其他基板的方法。根據該方法，在形成功能性元件時，能夠使用玻璃基板等耐熱性等優異的基板作為支承基板，剝離后的功能性元件能夠粘貼于薄且輕量的樹脂膜等其他基板，因此能夠實現顯示裝置的薄型化、輕量化等。

作為將功能性元件從支承基板剝離的方法，已知有：通過蝕刻或研磨將支承基板除去的方法(例如，參照專利文獻3)；在支承基板上設置與金屬層或氮化物層接觸的由氧化物層構成的剝離層，并從該剝離層將功能性元件機械分離的方法(例如，參照專利文獻4)；向由無定形硅(a-Si)構成的剝離膜注入氫離子后，進行加熱而從剝離膜分離基板的方法(例如，參照專利文獻5)；和在支承基板上形成分離層，通過對該分離層照射激光使緊貼性發生變化，從而使基板脫離的方法(例如，參照專利文獻6)等。