[發(fā)明專利]用于涂覆設(shè)備的清潔方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980147115.0
• 申請日: 2009-11-11
• 公開（公告）號: CN102223956A
• 公開（公告）日: 2011-10-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·穆斯布魯格;M·瓦爾赫;S·克拉斯尼策爾;S·卡澤曼;J·格維亨伯格
• 申請（專利權(quán)）人: 歐瑞康貿(mào)易股份公司(特呂巴赫)
• 主分類號: B05D1/32
• 分類號: B05D1/32;C23C16/44;C23C14/56;B05D5/08;B05D7/24
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 嚴志軍;楊國治

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及與涂覆設(shè)備(Beschichtungsanlage)相關(guān)的、尤其地與真空涂覆設(shè)備相關(guān)的清潔方法。在涂覆時，通常不可避免地在涂覆腔(Beschichtungskammer)中涂覆這樣的表面，該表面的涂覆是不期望的。這樣的面例如可為腔的一部分以及待涂覆的基層(Substrate)的一部分以及保持面以及其它的附面通常，在一次或多次涂覆后必須費力地清潔這些面。當在不期望被涂覆的部分中在涂覆時影響其表面特性(例如導電能力)時，那么這是尤其必要的。利用根據(jù)本發(fā)明的方法明顯地簡化這種清潔。在本發(fā)明的范圍中，將不期望被涂覆的面稱為附面，而期望被涂覆的面稱為目標面。

背景技術(shù)

根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)已知的是，借助于不同的方法(例如噴砂、磨削(Schleife)、刷除(Bürsten)或甚至機械的再加工或化學的去涂層過程(Entschichtungsprozess))去除這種不期望的覆層。所有這些方法為在行業(yè)中流行地、廣泛地應(yīng)用的實踐。由于該不期望的覆層常常強烈地附著在附面處，因此去除覆層幾乎一向為非常浪費時間的。另一方面。在一些情況中，在每個涂覆過程(批量生產(chǎn)(Charge))之后必須清潔附面。需要一些清潔方法，例如濕式化學的(nasschemisch)去涂層或噴砂。

此外，所有研磨的(abrasiv)清潔方法(噴砂、磨削等等)意味著對于已處理的部件的附加的強烈的材料磨損。這附加地導致高的維護費用(Unterhaltskosten)(更換磨損的部件)。

此外，材料磨損導致過程可靠性(Prozesssicherheit)的降低，因為在此可能不再保證對于涂覆過程非常重要的機械公差。

發(fā)明內(nèi)容

因此，期望提供這樣的方法，即，該方法至少部分地克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點。具體地，期望提供這樣的用于附面的簡化的清潔方法，即，附加地可以明顯較小的時間消耗執(zhí)行該方法，并且該方法不導致待清潔的部件的材料磨損。

本發(fā)明的基本想法為，尚在涂覆過程之前如此使附面經(jīng)受預(yù)處理，即，與在沒有預(yù)處理的情況下的附著相比，在接著的涂覆過程中涂覆材料在附面上的附著明顯降低。以這種方式明顯地簡化清潔。

例如，這種根據(jù)本發(fā)明的預(yù)處理可在于，將合適的“抗附著層”施加到附面上。該抗附著層由在附面上的很小的附著而出眾。由于在實際的(eigentlich)涂覆之后“抗附著層”位于附面和在涂覆過程中被施覆(auftragen)的材料之間，因此有效地防止了涂覆材料的附著。根據(jù)涂覆過程的類型，抗附著層應(yīng)為耐熱的、導電的且在真空技術(shù)方面安全的(unbedenklich)。尤其地，在真空技術(shù)方面的安全性形成針對PVD過程的前提。優(yōu)選地，抗附著層的施加不應(yīng)對在目標面上的實際的層的特性具有負面影響。

附圖說明

現(xiàn)根據(jù)實施例且借助于附圖詳細地解釋本發(fā)明。

圖1繪出了根據(jù)本發(fā)明的預(yù)處理的過程，

圖2繪出了用于使用遮蓋模板(Maskierungsschablone)的實施例，

圖3繪出了在涂覆過程之后的更容易的清潔過程，

圖4繪出了穿過設(shè)有抗附著層和覆層的表面的截面。

具體實施方式

以下的描述限制于PVD過程，由此其中，不應(yīng)將本發(fā)明的范圍限制于這種過程。

對于這種PVD過程重要的是，抗附著層為適合真空的(vakuumtauglich)。但是這意味著，在抗附著層中不出現(xiàn)粘合劑或相似的輔助材料。

發(fā)明人已意識到，這可在以下情況下實現(xiàn)，即，在將抗附著層施加到附面上時應(yīng)用由以合適的混合比在輕微揮發(fā)性的(leicht?flüchtig)溶劑中的粉末制成的懸浮液。輕微揮發(fā)性的溶劑不可與所使用的粉末或被處理的表面發(fā)生化學合成。通過使用揮發(fā)性的溶劑作為懸浮液的載體保證了，溶劑直接在噴涂過程(Sprühprozess)之后已經(jīng)完全揮發(fā)，并且僅僅很少的附著的粉末層保留在表面上。例如，異丙醇非常好地適合作為溶劑。

此外，發(fā)明人已意識到，純的石墨適合作為粉末材料。尤其地在真空中，石墨粉末是充分耐熱的、導電的、適合真空的并且滿足抗附著特性，并且因此可應(yīng)用在PVD過程中。