[發(fā)明專利]包含ZnO立方烷的混合物的配制劑和使用它們制備半導(dǎo)體ZnO層的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980145968.0
• 申請(qǐng)日: 2009-11-04
• 公開（公告）號(hào): CN102216490A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H.西伊姆;J.斯泰格;A.梅堀洛夫;D.V.普哈姆;Y.阿克舒;S.舒特;M.德里伊斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 贏創(chuàng)德固賽有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C23C18/12
• 分類號(hào): C23C18/12;C07F3/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 石克虎;林森

1.配制劑，包含：

a）至少兩種不同的ZnO立方烷，其中

i）至少一種ZnO立方烷在SATP條件下以固態(tài)存在，和?ii）至少一種ZnO立方烷在SATP條件下以液態(tài)存在，和

b）至少一種溶劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的配制劑，其特征在于，所述在SATP條件下以固態(tài)存在的ZnO立方烷在10⁵?Pa具有120-300℃，更優(yōu)選150-250℃的分解點(diǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的配制劑，其特征在于，在SATP條件下以固態(tài)存在的ZnO立方烷是通式[R¹Zn(OR²)]₄的ZnO立方烷，其中R¹?=?Me或Et，和R²?=?t-Bu或i-Pr。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的配制劑，其特征在于，在SATP條件下以固態(tài)存在的ZnO立方烷是?[MeZn(O-t-Bu)]₄或[MeZn(O-i-Pr)]₄。

5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的配制劑，其特征在于，在SATP條件下以液態(tài)存在的ZnO立方烷在標(biāo)準(zhǔn)壓力下具有25至-100℃、更優(yōu)選0至-30℃的熔點(diǎn)。

6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的配制劑，其特征在于，在SATP條件下以液態(tài)存在的ZnO立方烷是通式[R¹Zn(OR²)]₄的ZnO立方烷，其中?R¹?=?Me或?Et?，R²?=?CH₂CH₂OCH₃、CH₂CH₂OCH₂CH₃、CH₂OCH₂CH₃、CH₂OCH₃或CH₂CH₂CH₂OCH₃。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的配制劑，其特征在于，在SATP條件下以液態(tài)存在的ZnO立方烷是[MeZn(OCH₂CH₂OCH₃)]₄。

8.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的配制劑，其特征在于，在標(biāo)準(zhǔn)壓力下固態(tài)的所述至少一種ZnO立方烷以10-90重量%，優(yōu)選30-70重量%，最特別優(yōu)選40-60重量%的比例存在，基于固體和液體ZnO立方烷的總質(zhì)量。

9.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的配制劑，其特征在于，所述至少一種溶劑選自非質(zhì)子溶劑，更優(yōu)選選自甲苯、二甲苯、茴香醚、均三甲苯、正己烷、正庚烷、三-(3,6-二氧雜庚基)胺(TDA）、2-氨甲基四氫呋喃、苯乙醚、4-甲基茴香醚、3-甲基茴香醚、苯甲酸甲酯、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、四氫萘、苯甲酸乙酯和二乙醚。

10.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的配制劑，其特征在于，所述ZnO立方烷的濃度是5-60重量%，更優(yōu)選10-50重量%，最特別優(yōu)選20-40重量%，基于所述配制劑。

11.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的配制劑，其特征在于，它進(jìn)一步含有0.1-20重量%的至少一種基于所述配制劑中存在的ZnO立方烷的添加劑。

12.半導(dǎo)體ZnO層的制備方法，其特征在于，將根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項(xiàng)的配制劑施加到基材上，和然后在其上熱轉(zhuǎn)化。

13.根據(jù)權(quán)利要求12的方法，其特征在于，所述基材是Si或Si/SiO₂晶片、玻璃基材或聚合物基材，后者優(yōu)選基于PET、PE、PEN、PEI、PEEK、PI、PC、PEA、PA或PP。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13的方法，其特征在于，通過旋涂、噴涂、柔性版印刷、凹板印刷、噴墨印刷、絲網(wǎng)印刷、移印或膠版印刷將所述配制劑施加到所述基材上。

15.根據(jù)權(quán)利要求12-14中任一項(xiàng)的方法，其特征在于，所述熱轉(zhuǎn)化在120-450℃的溫度下進(jìn)行。