[發(fā)明專利]用于接合曝露于等離子體的陶瓷部件的抗腐蝕接合試劑及接合方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200980145268.1 | 申請日： | 2009-11-05 |
| 公開（公告）號： | CN102216240A | 公開（公告）日： | 2011-10-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 詹尼弗·Y·孫;段仁官;肯尼思·S·柯林斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料公司 |
| 主分類號： | C04B41/85 | 分類號： | C04B41/85;C04B41/81;C04B41/45;C04B35/553;C04B35/01 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 接合 曝露 等離子體 陶瓷 部件 腐蝕 試劑 方法 | ||
1.一種適用于將陶瓷部件的多個(gè)部分接合在一起的抗腐蝕接合劑，包含：形成接合劑的氧化物以及氟化物，其中，在該接合劑與該陶瓷部件的至少兩個(gè)所述部分接觸而燒結(jié)后，至少一個(gè)過渡區(qū)域形成于該接合劑以及接觸該接合劑的該陶瓷部件的該部分之間。
2.如權(quán)利要求1所述的抗腐蝕接合劑，其中該氟化物選自以下構(gòu)成的群組的金屬氟化物：YF3、NdF3、AlF3、ZrF4、SmF3、CeF3、DyF3、GdF3、InF3、LaF3、ThF4、TmF3、YbF3、BaF2、CaF2以及其組合物。
3.如權(quán)利要求1或2所述的抗腐蝕接合劑，其中該氧化物選自以下構(gòu)成的群組：Al2O3、Y2O、MgO、ZrO2、Nd2O3、CeO2、Sm2O3、Er2O3、Sc2O3、La2O3、HfO2、Nb2O5、SiO2以及Na2CO3。
4.如權(quán)利要求1所述的抗腐蝕接合劑，其中存在至少一種添加劑，該添加劑選自以下構(gòu)成的群組：Nd2O3、NdF3、CeO2、CeF3、Sm2O3、SmF3、Er2O3、ErF3、AlF3、Sc2O3、ScF3、La2O3、LaF3、HfO2、HfF4、Nb2O5、NbF5、ZrO2、ZrF4、MgO、SiO2、Na2CO3以及其組合物。
5.如權(quán)利要求3所述的抗腐蝕接合劑，其中除了該氧化物及該氟化物或該金屬氟化物之外，還存在至少一種添加劑，該添加劑選自以下構(gòu)成的群組：Nd2O3、CeO2、Sm2O3、Er2O3、ErF3、Sc2O3、ScF3、La2O3、LaF3、HfO2、HfF4、Nb2O5、NbF5、ZrO2、MgO、SiO2、Na2CO3以及其組合物。
6.如權(quán)利要求1或2所述的抗腐蝕接合劑，其中陶瓷部件的所述部分與該接合劑共燒制形成的接合層是玻璃陶瓷。
7.如權(quán)利要求6所述的抗腐蝕接合劑，其中該玻璃陶瓷的體積百分比范圍從約0.1％至約50％。
8.如權(quán)利要求1或2所述的抗腐蝕接合劑，其中該接合劑是在懸浮介質(zhì)中的金屬氧化物與金屬氟化物的漿料，其中該金屬氧化物與金屬氟化物的體積百分比范圍從約10％至約50％。
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