[發明專利]用于制備光學部件的方法和圓柱形半成品無效
| 申請號： | 200980144512.2 | 申請日： | 2009-10-29 |
| 公開（公告）號： | CN102209690A | 公開（公告）日： | 2011-10-05 |
| 發明（設計）人： | T·克勞澤;M·特羅默 | 申請（專利權）人： | 赫羅伊斯石英玻璃股份有限兩合公司 |
| 主分類號： | C03B37/014 | 分類號： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;林森 |
| 地址： | 德國*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 制備 光學 部件 方法 圓柱形 半成品 | ||
1.用于通過將合成石英玻璃的圓柱形半成品拉伸來制造光學部件的方法，包括下列方法步驟：
◆用SiO2煙灰層(4)包封由合成石英玻璃形成的具有外壁的內圓柱體(3)，
◆對SiO2煙灰層(4)進行燒結處理，其中SiO2煙灰層(4)從外部加熱和在此情況下燒結區從外向內遷移通過SiO2煙灰層(4)而形成由透明石英玻璃形成的外層(7)，其特征在于，
◆在所述燒結區到達內圓柱體(3)的外壁之前，中斷所述燒結處理，從而獲得半成品，其中所述外層(7)與所述內圓柱體的外壁之間保留由含有孔的合成石英玻璃形成的中間層(6)，以及
◆將該半成品拉伸成光學部件，其中，將所述中間層完全燒結成透明的石英玻璃。
2.按權利要求1所述的方法，其特征在于，所述燒結處理在負壓下進行，以及中間層(6)的所述孔是空泡。
3.按權利要求1所述的方法，其特征在于，所述燒結處理在氫或氦下進行，以及中間層(6)的所述孔含有氫或氦。
4.按權利要求1-3之一所述的方法，其特征在于，產生平均孔徑低于5μm，優選平均孔徑低于3μm的孔。
5.按權利要求1-4之一所述的方法，其特征在于，SiO2煙灰層(4)平均具有25-30％范圍(相對于石英玻璃的密度＝2.21g/cm3)的相對密度。
6.按權利要求1-5之一所述的方法，其特征在于，產生平均厚度最大50mm，優選平均厚度在1到10mm范圍的中間層(6)。
7.按權利要求1-6之一所述的方法，其特征在于，使用管狀構成的內圓柱體(3)，其具有4mm-25mm范圍的平均壁厚和30-60mm范圍的內徑。
8.按權利要求1-7之一所述的方法，其特征在于，產生平均厚度在10mm-150mm范圍的外層(7)。
9.按權利要求1-8之一所述的方法，其特征在于，使用含有1000到15000重量ppm范圍氟的石英玻璃內圓柱體。
10.用于制造光學部件的圓柱形半成品，該半成品具有由透明合成石英玻璃形成的內層(5)、由含孔的合成石英玻璃形成的中間層(6)和由透明合成石英玻璃形成的外層(7)，其中，所述孔為空泡或含有氫或氦。
11.按權利要求10所述的半成品，其特征在于，所述孔具有低于5μm的平均孔徑，優選低于3μm的平均孔徑。
12.按權利要求10或11所述的半成品，其特征在于，所述中間層(6)具有最大50mm，優選在1到10mm范圍的平均厚度。
13.按權利要求10-12之一所述的半成品，其特征在于，所述內層(5)呈管狀構成并具有4mm-25mm范圍的平均厚度和30-60mm范圍的內徑。
14.按權利要求10-13之一所述的半成品，其特征在于，所述外層(7)具有10mm-150mm范圍的平均厚度。
15.按權利要求10-14之一所述的半成品，其特征在于，所述內層由含有1000到15000重量ppm范圍氟的石英玻璃組成。
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