[發(fā)明專(zhuān)利]兩相污染物移除介質(zhì)的組成和應(yīng)用有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200980144364.4 | 申請(qǐng)日： | 2009-10-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102209595A | 公開(kāi)（公告）日： | 2011-10-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱極;阿瓊·門(mén)迪拉塔;大為·穆易 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B08B3/08 | 分類(lèi)號(hào)： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海勝康律師事務(wù)所 31263 | 代理人： | 周文強(qiáng);李獻(xiàn)忠 |
| 地址： | 美國(guó)加利*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 兩相 污染物 介質(zhì) 組成 應(yīng)用 | ||
1.用于將污染物從半導(dǎo)體基板表面去除的清洗材料，包含：
清洗液體；
分散在所述清洗液體中的多個(gè)固體成分，其中，所述多個(gè)固體成分與所述半導(dǎo)體基板表面上的至少一些污染物相互作用，以將所述污染物從所述基板表面上去除；以及
分子量大于10000克/摩爾的聚合化合物的聚合物，其中，所述聚合物在所述清洗液體中變得可溶并且形成帶有所述清洗液體和所述多個(gè)固體成分的所述清洗材料，并且其中，具有長(zhǎng)聚合物鏈的、溶解的所述聚合物捕捉并俘獲所述清洗液體中的固體成分和污染物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，當(dāng)將力施加到覆蓋圖案化的所述基板的所述清洗材料上時(shí)，所述清洗材料在圖案化的所述基板的所述表面上的器件特征附近發(fā)生變形，將所述清洗材料施加到圖案化的所述基板的所述表面上以將所述污染物從所述表面去除而基本上不損壞所述表面上的所述器件特征。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述固體成分由重量百分比在范圍約1％至約20％之間的羧酸構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述多個(gè)固體成分是碳數(shù)大于4的脂肪酸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清洗材料，其中，所述脂肪酸選自：月桂酸、棕櫚酸、硬脂酸、油酸、亞油酸、亞麻酸、花生四烯酸、鱈油酸、芥酸、丁酸、己酸、辛酸、肉豆蔻酸、真珠酸、山酸、木焦油酸、肉豆蔻腦酸、棕櫚油酸、神經(jīng)酸、杷荏酸、花生五烯酸、順蕪酸、祭魚(yú)酸及其混合物。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述清洗液體選自：水、異丙醇(IPA)、二甲基亞砜(DMSO)、二甲基甲酰胺(DMF)或其組合。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述聚合化合物選自如下親水聚合物：丙烯酸類(lèi)聚合物，例如聚丙烯酰胺(PAM)，聚丙烯酸(PAA)，例如卡波泊爾940TM和卡波泊爾941TM，PAM和PAA的共聚物，聚(N，N-二甲基丙烯酰胺)(PDMAAm)，聚(N-異丙基丙烯酰胺)(PIPAAm)，聚甲基丙烯酸(PMAA)，聚甲基丙烯酰胺(PMAAm)，聚胺和氧化物，例如聚乙烯亞胺(PEI)，聚環(huán)氧乙烷(PEO)，聚環(huán)氧丙烷(PPO)，乙烯基類(lèi)聚合物，例如聚乙烯醇(PVA)，聚乙烯磺酸(PESA)、聚乙烯胺(PVAm)，聚乙烯吡咯烷酮(PVP)，聚4-乙烯基吡啶(P4VP)，纖維素衍生物，例如甲基纖維素(MC)，乙基纖維素(EC)，羥乙基纖維素(HEC)，羧甲基纖維素(CMC)，殼聚糖、聚(環(huán)氯醇-co-乙烯二胺)和聚(二甲基胺-co-環(huán)氯醇-co-乙烯二胺)，多糖，例如合歡樹(shù)，瓊脂和瓊脂糖，肝素，瓜爾豆膠，黃原膠，以及蛋白質(zhì)，例如蛋白，膠原，面筋。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述聚合化合物的聚合物作為絮凝劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述聚合化合物的所述聚合物的分子量在約0.1兆克/摩爾至約100兆克/摩爾之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述聚合物在所述清洗材料中的重量百分比在約0.001％至約10％之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，還包含：
用于在所述清洗液體中輔助分配或濕化所述聚合物和固體成分的表面活性劑。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的清洗材料，其中，所述表面活性劑是十二烷基硫酸銨(ADS)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述清洗材料為液體、溶膠或凝膠形式的流體。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，針對(duì)前端應(yīng)用，所述清洗材料的pH值在約7至約12之間。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，針對(duì)后端應(yīng)用，所述清洗材料的pH值在約1至約7之間。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗材料，其中，所述聚合物捕捉并俘獲所述清洗材料中的雜質(zhì)。
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