[發(fā)明專利]可進行X-Y調整的光學裝配件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200980143729.1 | 申請日: | 2009-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN102203929A | 公開(公告)日: | 2011-09-28 |
| 發(fā)明(設計)人: | D·L·布蘭丁;J·W·弗蘭克維奇;K·E·罕福德;K·J·馬吉爾斯基 | 申請(專利權)人: | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/027 |
| 代理公司: | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人: | 張?zhí)m英;丁曉峰 |
| 地址: | 美國*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 進行 調整 光學 裝配 | ||
1.一種光學元件裝配件,包括:
內部部件,所述內部部件通過多個撓曲件懸在外部部件內;以及
第一平移調整儀器和第二平移調整儀器,所述第一平移調整儀器和所述第二平移調整儀器設置成使所述內部部件在正交于光軸的平移平面內平移,其中每個平移調整儀器包括:
(i)致動器,所述致動器可沿平行于所述平移平面的直線行進路徑在所述外部部件內運動;
(ii)軸,所述軸在所述外部部件和所述內部部件之間延伸,且所述軸利用第一球窩接頭連接于所述致動器并利用第二球窩接頭連接于所述內部部件;
其中,所述致動器的用于所述第一平移調整儀器的直線行進路徑基本正交于所述致動器的用于所述第二平移調整儀器的直線行進路徑。
2.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述內部部件和所述外部部件以及所述多個撓曲件是一體地形成的。
3.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述外部部件是基本圓柱形的。
4.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述內部部件是基本圓柱形的。
5.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述內部部件具有孔。
6.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述內部部件對從包含有折射元件、反射元件、棱鏡、衍射光柵以及薄膜的元件組中取得的光學元件進行保持。
7.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述內部部件繞所述光軸對稱。
8.如權利要求2所述的一體式光學元件裝配件,其特征在于,所述光學元件裝配件由從包含不銹鋼和鋁的材料組中取得的材料所形成。
9.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述光學元件裝配件還包括施加加載力的加載部件,所述加載力驅使所述內部部件朝向所述外部部件。
10.如權利要求9所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述加載部件是板簧或卷簧。
11.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,所述致動器包括調整螺釘。
12.如權利要求1所述的光學元件裝配件,其特征在于,從包含磁性驅動致動器、機動驅動致動器以及壓電驅動致動器的致動器組中取得所述致動器。
13.一種用于安裝光學元件的方法,包括:
a)通過多個撓曲件將內部部件懸在外部部件內;
b)使第一軸在設置于所述外部部件中的第一致動器和形成在所述內部部件中的第一套座之間延伸,其中所述第一軸在各端處具有球窩聯(lián)接;
c)使第二軸在設置于所述外部部件中的第二致動器和形成在所述內部部件中的第二套座之間延伸,其中所述第二軸在各端處具有球窩聯(lián)接;
以及
d)提供加載力,所述加載力使所述第一軸和所述第二軸的端部抵靠接觸它們的相應致動器和所述內部部件。
14.如權利要求13所述的方法,其特征在于,所述第一致動器的第一行進路徑和所述第二致動器的第二行進路徑在相同的平面內基本彼此正交。
15.如權利要求13所述的方法,其特征在于,提供加載力包括提供板簧。
16.如權利要求13所述的方法,其特征在于,提供加載力包括提供卷簧。
17.如權利要求13所述的方法,其特征在于,所述方法還包括將光學元件安裝于所述內部部件。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





