[發(fā)明專利]對準(zhǔn)系統(tǒng)、對準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法、程序以及測定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980143060.6
• 申請日: 2009-11-04
• 公開（公告）號: CN102203577A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鈴木秀和
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能市場營銷日本株式會社
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 許海蘭

1.一種對準(zhǔn)系統(tǒng)，被使用于對被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測定的測定裝置，該測定裝置具有干涉儀，該干涉儀利用攝像設(shè)備檢測由測定光和來自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測定光是來自光源的光通過所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過所述被檢查透鏡而生成的光，所述對準(zhǔn)系統(tǒng)將所述被檢查透鏡的聚光點與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對位，其特征在于，所述對準(zhǔn)系統(tǒng)具有：

移動部，使載置所述被檢查透鏡的載置臺移動；和

計算機(jī)，控制所述移動部對所述載置臺進(jìn)行的移動，

其中，所述計算機(jī)具有：

明暗區(qū)域識別模塊，在所述攝像設(shè)備的攝像面的檢測所述干涉條紋的檢測區(qū)域內(nèi)，識別具有閾值以上的亮度且比所述被檢查透鏡的面積小的明暗區(qū)域；

移動控制模塊，設(shè)定所述載置臺應(yīng)移動的移動方向和移動量，根據(jù)所設(shè)定的所述移動方向和所述移動量來控制所述移動部；和

方向判斷模塊，判斷所設(shè)定的位置是接近所述檢測區(qū)域的中心還是離開所述檢測區(qū)域的中心，

其中，在按照所述移動控制模塊進(jìn)行所述設(shè)定的移動方向移動了所述載置臺的結(jié)果，在所述方向判斷模塊判斷為所述明暗區(qū)域的中心向從所述檢測區(qū)域的中心離開的方向移動的情況下，所述移動控制模塊將所述設(shè)定的移動方向重新設(shè)定為相反方向，并按照重新設(shè)定的移動方向控制所述移動部。

2.如權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，

所述移動控制模塊將所述設(shè)定的移動方向重新設(shè)定為相反方向時，重新設(shè)定上次的移動量的2倍的移動量。

3.如權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，

所述移動控制模塊還具有：

初始距離設(shè)定模塊，設(shè)定所述聚光點在初始狀態(tài)下沿著光路從所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器離開的初始距離；

第1移動量設(shè)定模塊，對在所述攝像面中所述設(shè)定的位置與所述檢測區(qū)域的中心的距離以下的第1移動量進(jìn)行設(shè)定；和

第2移動量設(shè)定模塊，根據(jù)所述第1移動量，設(shè)定使所述設(shè)定的位置移動由所述第1移動量設(shè)定模塊設(shè)定的所述第1移動量這樣的、由所述移動部要移動的所述載置臺的第2移動量，

其中，所述明暗區(qū)域識別模塊在所述移動控制模塊使所述移動部移動了由所述初始距離設(shè)定模塊設(shè)定的所述初始距離的狀態(tài)下，開始進(jìn)行識別。

4.如權(quán)利要求3所述的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，

所述計算機(jī)還具有識別率計算模塊，該識別率計算模塊計算用所述檢測區(qū)域的面積與由所述明暗區(qū)域識別模塊所識別的所述明暗區(qū)域的面積之比來表示的識別率，

在所述設(shè)定的位置是所述明暗區(qū)域的中心的情況下，所述識別率計算模塊計算出的所述識別率越高，所述第1移動量設(shè)定模塊將所述第1移動量設(shè)定得越小。

5.如權(quán)利要求1所述的對準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，

所述移動控制模塊具有：

水平移動控制模塊，控制所述移動部，以使所述載置臺在與所述攝像面對應(yīng)的平面內(nèi)移動；和

垂直移動控制模塊，控制所述移動部，以使所述載置臺向與所述平面垂直的方向移動，

所述計算機(jī)還具有水平方向?qū)ξ慌袛嗄K，該水平方向?qū)ξ慌袛嗄K判斷在所述平面中所述設(shè)定的位置與所述檢測區(qū)域的中心的距離是否在允許范圍內(nèi)，

所述水平移動控制模塊繼續(xù)由所述移動部進(jìn)行的移動，直到所述水平方向?qū)ξ慌袛嗄K判斷為在所述平面中所述設(shè)定的位置與所述檢測區(qū)域的中心的距離在所述允許范圍內(nèi)，

當(dāng)所述水平方向?qū)ξ慌袛嗄K判斷為在所述平面中所述設(shè)定的位置與所述檢測區(qū)域的中心的距離在所述允許范圍內(nèi)時，所述垂直移動控制模塊使所述移動部移動，以使所述明暗區(qū)域直至所述檢測區(qū)域內(nèi)的設(shè)定范圍為止擴(kuò)大到被識別為所述干涉條紋的程度。