[發明專利]自我清潔并可調節的漿料傳送臂

有效

• 申請號: 200980142890.7
• 申請日: 2009-10-27
• 公開（公告）號: CN102203918A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 加米爾·S·萊斯頓;阿比吉特·Y·德賽;道格拉斯·R·邁克里斯特
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

1.一種用來將流體傳遞到襯底或墊的表面的設備，包括：

傳遞臂，其可旋轉地連接到基座，所述基座可繞固定軸旋轉，所述傳遞臂從所述基座沿徑向延伸；

至少一個漿料傳遞線，其耦接到所述傳遞臂并至少部分沿著所述傳遞臂的長度延伸；

至少一個清洗劑傳遞線，其耦接到所述傳遞臂并至少部分沿著所述傳遞臂的長度延伸；

鉸鏈，其設置在所述傳遞臂上，所述鉸鏈包括用來將所述傳遞臂固定在預定位置的鎖定機構；以及

至少一個噴嘴，其以離開所述傳遞臂的水平面的垂直角度安裝，連接到所述至少一個清洗劑傳遞線并且從所述傳遞臂向下設置。

2.根據權利要求1所述的設備，其中，所述噴嘴的尖端具有相對于所述傳遞臂的水平面在約30°到約60°的范圍內的角度。

3.根據權利要求1所述的設備，其中，所述至少一個噴嘴包括含氟聚合物材料，所述含氟聚合物材料是從以下組中選擇的，所述組包括：過氟烷氧基(PFA)、氟化乙烯丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)及其衍生物。

4.根據權利要求3所述的設備，其中所述鉸鏈還包括：

柱塞，用來固定所述傳遞臂的所述預定位置；

止擋件，用來防止所述傳遞臂的過度轉動；以及

鉸鏈銷，用來將所述傳遞臂的可調節部分的固定塊連接到所述傳遞臂的固定部分的鉸鏈塊。

5.一種用來將流體傳遞到表面的設備，包括：

流體傳遞臂的固定部分，其在一端由基座支撐；

至少一個清洗劑傳遞線，其耦接到所述流體傳遞臂并沿著所述流體傳遞臂的長度的至少一部分設置；

至少一個漿料傳遞線，其耦接到所述流體傳遞臂并至少部分地沿著所述流體傳遞臂的長度的一部分設置；

所述流體傳遞臂的可調節部分，其通過鉸鏈連接到所述固定部分，所述鉸鏈還包括：

固定塊，其連接到所述可調節部分；

鉸鏈塊，其連接到所述固定部分；以及

鉸鏈銷，其耦接到所述可調節部分的所述固定塊與所述固定部分的所述鉸鏈塊之間。

6.根據權利要求5所述的設備，其中，所述鉸鏈包括鎖定機構，其用來將所述傳遞臂固定到特定位置。

7.根據權利要求6所述的設備，其中，所述固定部分還包括：

可旋轉軸，其連接到所述基座；

至少一個間隔塊，用來延伸所述固定部分的長度；

至少一個第一閥門，其與所述至少一個清洗劑傳遞線一起使用；以及

第一蓋，其覆蓋所述至少一個第一閥門。

8.根據權利要求7所述的設備，其中，所述可調節部分還包括：

至少一個第二閥門，其耦接到所述至少一個漿料傳遞線；

清洗口，其耦接到所述至少一個清洗劑傳遞線，其中所述至少一個清洗劑傳遞線來自在所述固定部分的所述至少一個第一閥門；

第二蓋，其耦接到所述至少一個第二閥門；

至少一個噴嘴，其安裝到所述傳遞臂的下表面；以及

至少一個傳遞通道，其耦接到所述至少一個漿料傳遞線。

9.根據權利要求8所述的設備，其中，所述至少一個第一閥門是螺線管并且所述至少一個第二閥門是螺線管或T型接頭閥門。

10.根據權利要求9所述的設備，其中，所述第二蓋具有成角度的頂面。

11.根據權利要求10所述的設備，其中，所述至少一個漿料傳遞線經由傳遞通道連接到所述至少一個噴嘴，所述傳遞通道包括設置在所述傳遞通道的一端的阻擋螺栓。

12.根據權利要求11所述的設備，其中，所述阻擋螺栓包含聚二醚酮，所述可旋轉軸包含聚丙烯，所述固定塊包含聚丙烯，所述鉸鏈塊包含聚二醚酮，并且所述至少一個間隔塊包含聚丙烯。