[發(fā)明專利]選擇和控制光源帶寬的系統(tǒng)方法和裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980142619.3
• 申請日: 2009-10-24
• 公開（公告）號: CN102204038A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: E·菲格羅亞;W·N·帕特洛;J·M·阿爾格特斯
• 申請（專利權(quán)）人: 西默股份有限公司
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 顧峻峰;李丹丹

1.一種帶寬選擇的機構(gòu)，包括：

色散光學(xué)元件，所述色散光學(xué)元件具有包括色散反射面的本體，所述色散反射面包括沿著所述色散光學(xué)元件的所述反射面沿縱向軸方向延伸的入射區(qū)域；

第一端塊，所述第一端塊設(shè)置在所述本體的第一縱向端；

第二端塊，所述第二端塊設(shè)置在所述本體的第二縱向端，所述第二縱向端與所述第一縱向端相反；

第一致動器，所述第一致動器安裝在所述色散光學(xué)元件第二面上，所述第二面與所述反射面相反，所述第一致動器具有聯(lián)接到所述第一端塊的第一端和聯(lián)接到所述第二端塊的第二端，所述第一致動器可操作而對所述第一端塊和所述第二端塊施加相等而相反的力，以使所述本體沿著所述本體的縱向軸線和沿正交于所述色散光學(xué)元件的所述反射面的第一方向彎曲；以及

第二致動器，所述第二致動器安裝在所述色散光學(xué)元件第三面上，所述第三面與所述反射面正交，所述第二致動器具有用第一撓曲件聯(lián)接到所述第一端塊的第一端以及用第二撓曲件聯(lián)接到所述第二端塊的第二端，所述第一致動器可操作而對所述第一端塊和所述第二端塊施加相等而相反的力，以使所述本體沿著所述本體的縱向軸線和沿垂直于所述色散光學(xué)元件的所述反射面的第二方向彎曲，所述第二方向也垂直于所述第一方向，所述第二致動器包括加壓流體力的施加機構(gòu)。

2.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，所述加壓流體力施加機構(gòu)是氣動機構(gòu)。

3.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，所述加壓流體力施加機構(gòu)是液壓機構(gòu)。

4.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，所述加壓流體力的施加機構(gòu)是可變的。

5.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，還包括：

以不變的固定撓度在所述第一致動器和所述第二致動器中的至少一個上進(jìn)行手工的預(yù)加載調(diào)整。

6.如權(quán)利要求5所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，還包括：

在所述第二致動器上的反饋控制環(huán)路，所述反饋控制環(huán)路響應(yīng)于光的光譜參數(shù)。

7.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，還包括在所述第一致動器和所述第二致動器中的至少一個上的氣動致動和反饋控制環(huán)路，所述氣動致動和所述反饋控制環(huán)路響應(yīng)于光的光譜參數(shù)。

8.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，還包括可變孔，所述可變孔定位在入射光束和所述色散光學(xué)元件的所述反射面之間。

9.如權(quán)利要求8所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，所述可變孔具有沿著所述第二致動器的彎曲方向的可變尺寸。

10.如權(quán)利要求1所述的帶寬選擇的機構(gòu)，其特征在于，還包括光束擴(kuò)展器，所述光束擴(kuò)展器用于擴(kuò)展跨越所述入射區(qū)域的入射光束。

11.一種選擇帶寬的方法，包括：

擴(kuò)展橫跨色散光學(xué)元件的反射面的入射區(qū)域上的入射光束；

用沿著正交于所述色散光學(xué)元件的反射面的第一方向由第一致動器施加的第一彎曲力，來使所述色散光學(xué)元件的反射表面彎曲；

用沿著垂直于所述色散光學(xué)元件的反射面的第二方向由第二致動器施加的第二彎曲力，來使所述色散光學(xué)元件的所述反射表面彎曲，所述第二方向也垂直于所述第一方向；以及

通過至少一個撓曲件來解耦所述第二彎曲力，使得解耦的第二力不使第一力增加或減小。

12.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，在使所述色散光學(xué)元件的所述反射表面沿第一方向彎曲時，根據(jù)沿所述第一方向的位置均勻地改變所述反射表面上色散特征之間的間距。

13.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，還包括：

修改在所述反射表面上入射光束的尺寸，以包含彎曲的反射表面的不同區(qū)域。

14.如權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，響應(yīng)于從反射光束特性中得到的反饋，使所述反射表面沿第一方向和第二方向中的至少一個方向彎曲。