[發(fā)明專利]氣體洗滌裝置及氣體洗滌方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980142536.4
• 申請(qǐng)日: 2009-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN102217041A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金翼年;池映淵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社三重核心韓國
• 主分類號(hào): H01L21/302
• 分類號(hào): H01L21/302;H01L21/00
• 代理公司: 北京華夏博通專利事務(wù)所 11264
• 代理人: 劉俊

1.一種氣體洗滌裝置，其特征在于，該裝置包括：

一反應(yīng)管，一反應(yīng)氣體通過該反應(yīng)管流入；

一反應(yīng)器，連接至該反應(yīng)管并以等離子體激活該反應(yīng)氣體；以及

一注水口，將水注入該反應(yīng)器中的該等離子體。

2.如權(quán)利要求1所述的氣體洗滌裝置，其特征在于，該注水口為一滴管的形式，以一恒定速率將水滴滴入。

3.如權(quán)利要求1所述的氣體洗滌裝置，其特征在于，該注水口與該反應(yīng)管分隔10厘米至20厘米。

4.如權(quán)利要求1所述的氣體洗滌裝置，其特征在于，該注水口以2毫升/分鐘至10毫升/分鐘的速率注入水。

5.一種氣體洗滌裝置，其特征在于，該裝置包括：

一反應(yīng)管，一反應(yīng)氣體通過該反應(yīng)管流入；

一反應(yīng)器，連接到該反應(yīng)管并以等離子體激活該反應(yīng)氣體；以及

一噴嘴，藉由一外部壓力直接將水注入該反應(yīng)器，

其中，通過該噴嘴注入該反應(yīng)器的水藉由作為一熱源的該等離子體而蒸發(fā)，使其與反應(yīng)氣體等離子體反應(yīng)。

6.如權(quán)利要求5所述的氣體洗滌裝置，其特征在于，該噴嘴與該反應(yīng)管分隔10厘米至20厘米。

7.一種氣體洗滌裝置，其特征在于，該裝置包括：

一反應(yīng)管，一反應(yīng)氣體通過該反應(yīng)管流入；

一反應(yīng)器，連接到該反應(yīng)管并以等離子體激活該反應(yīng)氣體；

一管道，與該反應(yīng)器接觸，并灌滿水；以及

一噴嘴，將該管道中由該反應(yīng)器的熱所蒸發(fā)的水注入到該反應(yīng)器。

8.如權(quán)利要求7所述的氣體洗滌裝置，其特征在于，該管道位于該反應(yīng)器的壁內(nèi)，從而該反應(yīng)器具有一雙重壁。

9.如權(quán)利要求7所述的氣體洗滌裝置，其特征在于，該噴嘴與該反應(yīng)管分隔10厘米至20厘米。

10.一種氣體洗滌方法，其特征在于，該方法包括：

流動(dòng)于一反應(yīng)氣體中；

以等離子體激活該反應(yīng)氣體；以及

將使用作為一熱源的反應(yīng)氣體等離子體所蒸發(fā)的水注入至該反應(yīng)氣體等離子體，使其與該反應(yīng)氣體等離子體反應(yīng)。

11.如權(quán)利要求10所述的氣體洗滌方法，其特征在于，該水在間隔該反應(yīng)氣體等離子體的一火焰開始點(diǎn)10厘米至20厘米的一位置蒸發(fā)。