[發明專利]拋光機、拋光機的壓力板以及拋光方法

無效

• 申請號: 200980142405.6
• 申請日: 2009-10-21
• 公開（公告）號: CN102186628A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 金弘吉;閔判基
• 申請（專利權）人: LG矽得榮株式會社
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 茅翊忞

技術領域

本發明涉及拋光機、拋光機的壓力板以及拋光方法，且更尤其涉及裝備有壓力板的拋光機和使用該拋光機的拋光方法，拋光機能夠通過薄片安裝塊施加均勻壓力，最小化環形墊的更換頻率，維持薄片的均勻拋光率，提高薄片的平面度，并促進空氣袋的生產和連接以及分離。

背景技術

拋光是制造薄片的工藝之一，薄片通過拋光從而減少其約10μm厚度以去除先前工藝中產生的損壞部分，并在鏡面拋光薄片表面的同時調整局部光線散射(LLS)和混濁(haze)。

圖1示出根據常規技術的拋光機的立體圖。下文將參照圖1對拋光機進行描述。

如圖1所示，常規拋光機包括板12，安裝塊14、壓力板16、中心引導件17和外部引導件18。

砂布11附連到板12的上表面，且板12以預定rpm轉動。安裝塊14安裝在板12上，薄片安裝在安裝塊14上。壓力板16能夠在將預定壓力施加到安裝塊14的同時轉動。中心引導件17和外部引導件18將安裝塊14引導定位在壓力板16正下方。

當壓力板16在按壓安裝塊14的狀態下轉動時，通過砂布11與拋光溶液之間互相作用進行拋光。由于這樣的結構通常已知且已在拋光機10中采用，將省略其具體描述。

如上所述，壓力板16在轉動的同時將預定壓力施加到安裝板14，由此在薄片和砂布11之間產生摩擦。從而當摩擦力鏡面拋光薄片表面時，實現薄片的拋光。這里，壓力板16的中心軸16a連接到柱體(未示出)，該柱體調節壓力板16施加到安裝塊14的壓力。

但是，根據常規技術的上面拋光機具有如下一些問題。圖2示出了施加到安裝塊的壓力的示意圖，其中壓力板安裝有圖1所示拋光機中的薄片。

圖2中，箭頭標記表示由壓力板16施加到安裝塊14的壓力度。如圖2所示，當壓力板16將壓力施加到安裝塊14時，安裝塊14中心處的壓力比安裝塊周邊處的壓力大。

為避免這種壓力不均勻性，通常將環形墊附連到壓力板的下表面。

圖3示出安裝有環形墊的壓力板的施加到安裝塊的壓力。圖4示出圖3的部分A的放大圖。圖5示出圖3所示壓力板的仰視圖。

圖3至圖5所示的壓力板19安裝有墊16b，墊16b具有環形形狀并沿壓力板下表面的周界安裝，從而將相對均勻壓力施加到安裝塊14。

但是，當使用壓力板19時，對于每種情形，需要新制造環形墊16b以根據每種情形的狀況具有不同直徑來保持薄片的平面度。此外，如果壓力板19的中心不精確地對應于環形墊16b的中心，則薄片的平面度可能惡化。此外，需要砂布來制造環形墊16b。

或者，除了改變環形墊16b的直徑，還可調節施加到壓力板19的柱體(未示出)的壓力。但是，在該情形中，由于壓力的變化，可能不能均勻地進行拋光，因而導致薄片表面的損壞。即，可能產生劣等產品。

發明內容

技術問題

設計成解決該問題的本發明的一個目標在于能夠將均勻壓力施加到安裝有薄片的安裝塊的拋光機壓力板。

設計成解決該問題的本發明的另一個目標在于能夠提高薄片的平面度的壓力板。

設計成解決該問題的本發明的另一個目標在于壓力板能夠最小化更換附連到其的環形墊的需要。

設計成解決該問題的本發明的還一個目標在于壓力板能夠保持施加到壓力板的柱體的均勻壓力，由此保持薄片的均勻拋光率。

技術解決方案

本發明的目標可通過提供拋光機的壓力板來實現，該壓力板包括主體、空氣袋以及墊，空氣袋安裝到主體的一個表面以調節從主體施加到拋光目標的壓力，墊具有環形形狀、沿主體的一個表面的周界安裝。

本文提供的本發明的另一方面是拋光薄片的方法，包括將安裝塊附連到壓力板，薄片粘結到該安裝塊，壓力板的主體的一個表面上安裝有空氣袋，并且所述一個表面的周界上安裝有環形墊，將安裝有安裝塊的多個壓力板與拋光機的板緊密接觸地安裝，以及將拋光溶液供應到板和薄片之間，并在通過適當地將流體供應入空氣袋來調整施加到安裝塊的壓力的同時拋光薄片的一個表面。

本文提供的本發明的又一方面是拋光機，拋光機包括設有砂布和拋光溶液的板、至少一個壓力板、主體以及安裝塊，壓力板的主體的一個表面上設有空氣袋，并且所述一個表面的周界上安裝有環形墊，安裝塊的第一面與壓力板附連且安裝塊的第二面與薄片粘結。

有益效果

如上所述，根據本發明的實施例的拋光機、拋光機的壓力板以及使用該拋光機拋光的方法具有下面所述的多個效果：

首先，壓力可均勻施加到其上安裝薄片的整個安裝塊，從而提高薄片的平面度。