[發(fā)明專利]保護涂層及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980142402.2
• 申請日: 2009-08-28
• 公開（公告）號: CN102187490A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S·比斯瓦斯;S·卡拉杰伯利安;W·B·馬汀格利三世
• 申請（專利權(quán)）人: 康寧股份有限公司
• 主分類號: H01L41/083
• 分類號: H01L41/083
• 代理公司: 上海專利商標事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張靜

1.一種裝置，該裝置包括：

(i)包含第一種金屬的具有第一表面的第一層；和

(ii)包含與所述第一層第一表面直接粘結(jié)且覆蓋至少部分第一層第一表面的第二種金屬的氧化物的第二層，其中：

(A)所述第一層和所述第二層之間的界面基本致密且具有不規(guī)則的形貌；以及

(B)當所述第二種金屬在升高的溫度下沉積到所述第一種金屬的第一表面上時，所述第二種金屬能與所述第一種金屬形成合金。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：(C)當包含由惰性基質(zhì)負載的第二種金屬和厚度與第二層基本相同的第一種金屬的金屬薄膜的一個主表面在1000℃至所述第一種金屬熔融溫度范圍內(nèi)暴露于空氣中足夠長的時間，所述金屬薄膜可以完全氧化從而在所述惰性基質(zhì)上形成致密的氧化物薄膜。

3.如權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，

所述第一種金屬包含貴金屬；所述第二種金屬包含Si、Zr和Al中的至少一種。

4.如以上權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，

所述第一層包含鉑；和

所述第二層主要由Al₂O₃構(gòu)成。

5.如以上權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二層基本不能透過所述第一種金屬的氧化物。

6.如以上權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二層基本不能透過O₂。

7.如以上權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，

所述第一層和所述第二層之間的界面的卷積指數(shù)至少為1.50。

8.如以上權(quán)利要求中任一項所述的裝置，其特征在于，所述第二層的厚度從約5μm到約80μm。

9.如以上權(quán)利要求中任一項所述的裝置，該裝置為熔融玻璃輸送系統(tǒng)的組件。

10.如權(quán)利要求9所述的裝置，該裝置為玻璃熔融系統(tǒng)的精煉管。

11.如權(quán)利要求9所述的裝置，該裝置為熔融玻璃在其中受到剪切應(yīng)力的攪拌室。

12.如權(quán)利要求9所述的裝置，該裝置為攪拌室的覆蓋物。

13.如權(quán)利要求9所述的裝置，該裝置為法蘭。

14.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述第二層基本覆蓋所述裝置的全部曝露面，從而使其免于暴露于含氧氣氛。

15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，所述裝置的外表面為所述第二層所覆蓋。

16.一種保護裝置中包含第一種金屬的第一層的第一表面在升高的溫度下暴露于氧化性氣氛中時免于發(fā)生氧化的方法，該方法包括以下步驟：

(a)在第一種金屬第一表面的至少部分區(qū)域上提供包含第二種金屬的前體層，所述第二種金屬能與所述第一種金屬在形成條件下形成合金；并且

(b)將所述前體層在升高的溫度下暴露于氧化性氣氛中形成包含第二種金屬的氧化物的第二層。

17.如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述第一種金屬包含Pt。

18.如權(quán)利要求16或17任何一項所述的方法，其特征在于，所述第一種金屬包含Pt，所述第二種金屬包含Al、Si和Zr中的至少一種。

19.如權(quán)利要求16-18任何一項所述的方法，其特征在于，在所述步驟(a)中，所述前體層的厚度從約5μm到約120μm。

20.如權(quán)利要求16-19任何一項所述的方法，其特征在于，在所述步驟(b)結(jié)束時，所述第一層和第二層之間的界面基本致密并且具有不規(guī)則的形貌。

21.如權(quán)利要求16-20任何一項所述的方法，其特征在于，在所述步驟(b)結(jié)束時，形成的第二層使得所述第一層和第二層之間的界面的卷積指數(shù)至少為1.50。

22.如權(quán)利要求16-21任何一項所述的方法，其特征在于，在所述步驟(a)中，提供的所述前體層主要由第一種金屬和第二種金屬的混合物構(gòu)成。