[發(fā)明專利]真空處理裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980142356.6
• 申請日: 2009-10-19
• 公開（公告）號: CN102203315A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 查爾斯·E·金
• 申請（專利權(quán)）人: P2I有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;B01J3/00;A43B1/00;H01J37/32
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 王基才

1.一種用于真空處理物品的裝置，其包括：

通道，用于在環(huán)境壓力下在裝載區(qū)接收至少一個(gè)載體，載體具有至少一個(gè)密封裝置，至少一個(gè)密封裝置在使用時(shí)定義一個(gè)中間空腔，中間空腔中收容有一個(gè)或多個(gè)用于處理的物品；

定義于通道中的處理區(qū)，處理區(qū)的壓力低于或高于環(huán)境壓力；

用于使載體沿著通道從裝載區(qū)向處理區(qū)和出口區(qū)移動的裝置；以及

至少一個(gè)泵或壓差裝置，其在使用時(shí)與通道連通，可降低或增加位于裝載區(qū)和處理區(qū)之間的通道中的載體的內(nèi)部壓力，增加或降低位于處理區(qū)和出口區(qū)之間的通道中的載體的內(nèi)部壓力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：通道的橫截面與載體的橫截面相適配。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于：密封裝置由圍繞載體的第一端和第二端延伸的可變形法蘭部形成，使用時(shí)，法蘭兩側(cè)形成壓差。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于：密封裝置由圍繞載體的第一端和第二端延伸的氣動U型、T型或V型密封形成，使用時(shí)，法蘭兩側(cè)形成壓差。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于：密封裝置呈圓盤形，以與具有圓形橫截面的通道相適配。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：密封裝置包括位于兩個(gè)平面圓盤之間的柔性材料，柔性材料的環(huán)面外露。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：密封裝置包括與聚四氟乙烯等含氟聚合物或二氧化鉬混合或?qū)訅旱娜嵝圆牧希詼p小密封裝置和內(nèi)壁之間的摩擦，且在使用時(shí)維持氣密密封或接近氣密密封。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于：密封裝置通過一個(gè)柔性惰性蓋體與處理環(huán)境隔離，以通過密封材料減少處理污染，且在使用時(shí)允許密封裝置維持氣密密封或接近氣密密封。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：通道的內(nèi)壁光滑且經(jīng)拋光。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于：內(nèi)壁上涂覆有聚四氟乙烯，以減少密封裝置和內(nèi)壁之間的摩擦，且在使用時(shí)維持氣密密封或接近氣密密封。

11.一種用于真空處理物品的裝置，其包括：

處理區(qū)，物品可在處理區(qū)中在處理壓力下被真空處理；

裝載區(qū)，物品可在裝載區(qū)中在環(huán)境壓力下裝入裝置中；

若干個(gè)載體，用于將物品從裝載區(qū)沿著封閉的通道轉(zhuǎn)移到處理區(qū)，以對物品進(jìn)行真空處理；

其中，載體設(shè)有在載體沿著通道轉(zhuǎn)移物品時(shí)密封通道內(nèi)表面的密封裝置，密封裝置阻止氣體或蒸汽從裝載區(qū)沿著通道流向處理區(qū)并通過密封裝置，以使得在環(huán)境壓力下在裝載區(qū)裝載并被轉(zhuǎn)移到處理區(qū)的物品可以在處理壓力下進(jìn)行真空處理。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于：進(jìn)一步包括驅(qū)動載體沿著通道移動的傳動裝置。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：閥門間隔分布在通道的內(nèi)壁上并與泵連接，以降低由載體的密封裝置和通道的內(nèi)壁定義的空腔中的壓力。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的裝置，其特征在于：閥門間隔分布在通道的內(nèi)壁上，并根據(jù)控制信號開啟和關(guān)閉。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于：進(jìn)一步包括控制裝置，以同時(shí)驅(qū)動泵和/或閥門與轉(zhuǎn)移載體的裝置，當(dāng)一個(gè)或多個(gè)載體從第一位置轉(zhuǎn)移到第二位置時(shí)，泵和/或閥門通電，以至少維持載體內(nèi)的位置(由通道內(nèi)壁和載體的密封裝置之間的空間定義)相對于載體外的位置的壓差。

16.根據(jù)權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：處理區(qū)為等離子處理區(qū)。

17.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：處理區(qū)為真空沉積區(qū)。

18.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：處理區(qū)為干燥區(qū)。

19.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：處理區(qū)包括注入干燥區(qū)。

20.根據(jù)權(quán)利要求1至14中任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于：處理區(qū)為冷凍干燥區(qū)。