[發(fā)明專利]具有對角饋線的改善的金屬上金屬電容器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980141970.0
• 申請日: 2009-09-14
• 公開（公告）號: CN102197456A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R·赫貝霍爾茨
• 申請（專利權(quán)）人: 劍橋硅無線電通信有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L27/08;H01L23/522;H01L27/02
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 陳松濤;王英

1.一種包括多個金屬層的金屬上金屬電容器單元設(shè)計(jì)，每一個金屬層包括一設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)包括：

兩組相互交叉的指狀物，其中每一組指狀物包括指狀物的第一子集和指狀物的第二子集，并且其中所述第一子集中的指狀物基本上垂直于所述第二子集中的指狀物；以及

所述第一組指狀物所連接到的成角度的饋線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬上金屬電容器單元設(shè)計(jì)，其中所述成角度的饋線包括基本上對角的饋線。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任意一項(xiàng)所述的金屬上金屬電容器單元設(shè)計(jì)，其中所述成角度的饋線比所述指狀物中的任意一個更寬。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任意一項(xiàng)所述的金屬上金屬電容器單元設(shè)計(jì)，其中所述設(shè)計(jì)在相鄰層之間旋轉(zhuǎn)180°。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中的任意一項(xiàng)所述的金屬上金屬電容器單元設(shè)計(jì)，進(jìn)一步包括多個通孔，以在相鄰層之間提供連接，所述通孔設(shè)置在所述單元的外圍處的指狀物中。

6.一種金屬上金屬電容器設(shè)計(jì)，包括多個根據(jù)前述權(quán)利要求中的任意一項(xiàng)所述的單元，設(shè)置成使相鄰單元旋轉(zhuǎn)90°，并且所述金屬上金屬電容器設(shè)計(jì)進(jìn)一步包括頂部金屬層以及設(shè)置用以連接所述多個單元中的每一個單元的多個通孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的金屬上金屬電容器設(shè)計(jì)，其中位于所述頂部金屬層中的所述多個通孔與所述成角度的饋線對準(zhǔn)。

8.一種金屬上金屬電容器，包括根據(jù)前述權(quán)利要求中的任意一項(xiàng)所述的金屬上金屬電容器設(shè)計(jì)，并且其中相鄰的金屬層通過電介質(zhì)層分隔開。

9.一種金屬上金屬電容器，所述金屬上金屬電容器基本上如參照附圖中的圖2-5中的任意一個所述。

10.一種金屬上金屬電容器設(shè)計(jì)，所述金屬上金屬電容器設(shè)計(jì)基本上如參照附圖中的圖2-5中的任意一個所述。