[發(fā)明專利]銅清潔及保護(hù)調(diào)配物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980141809.3
• 申請日: 2009-10-20
• 公開（公告）號(hào): CN102197124A
• 公開（公告）日: 2011-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杰弗里·A·巴尼斯;布萊恩·貝納科;卡爾·E·博格斯;豐琳;劉俊;梅里薩·A·佩特魯斯卡;顏曉冬;張鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 高級(jí)技術(shù)材料公司
• 主分類號(hào): C11D1/62
• 分類號(hào): C11D1/62
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 劉慧;楊青

1.清潔組合物，其包含至少一種溶劑、至少一種腐蝕抑制劑、至少一種胺及至少一種季堿，其中該腐蝕抑制劑包括選自以下的物質(zhì)：核糖基嘌呤及其甲基化或脫氧衍生物；腺苷及腺苷衍生物的降解產(chǎn)物；嘌呤-糖復(fù)合物；甲基化或脫氧嘌呤衍生物、及其反應(yīng)或降解產(chǎn)物；及其組合。

2.如權(quán)利要求1的清潔組合物，其中該至少一種腐蝕抑制劑包括選自以下的物質(zhì)：N-核糖基嘌呤、腺苷、鳥苷、2-氨基嘌呤核糖苷、2-甲氧基腺苷、N-甲基腺苷、N，N-二甲基腺苷、三甲基化腺苷、三甲基N-甲基腺苷、C-4′-甲基腺苷、3-脫氧腺苷；腺嘌呤、甲基化腺嘌呤、二甲基化腺嘌呤、N4，N4-二甲基嘧啶-4，5，6-三胺、4，5，6-三氨基嘧啶、尿囊素、羥基化C-O-O-C二聚體、C-C橋聯(lián)二聚體、核糖、甲基化核糖、四甲基化核糖、木糖、葡萄糖、嘌呤、鳥嘌呤、次黃嘌呤、黃嘌呤、可可堿、咖啡因、尿酸、異鳥嘌呤、三氨基嘧啶、經(jīng)氨基取代的嘧啶、及其組合。

3.如權(quán)利要求1的清潔組合物，其中該至少一種腐蝕抑制劑包括選自以下的物質(zhì)：腺苷、腺苷降解產(chǎn)物、及其衍生物。

4.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其中該溶劑包括水。

5.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其進(jìn)一步包含殘留物及污染物，其中該殘留物包括CMP后殘留物、蝕刻后殘留物、灰化后殘留物、或其組合。

6.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其中該組合物以約5∶1至約200∶1的范圍被稀釋。

7.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其中該組合物實(shí)質(zhì)上不含至少一種以下物質(zhì)：氧化劑、含氟化物的來源、研磨材料、在分子中含有醚鍵的醇、烷基吡咯烷酮、表面相互作用增強(qiáng)劑、堿金屬及堿土金屬堿、糖醇、腐蝕抑制金屬鹵化物及其組合，且其中該清潔組合物不會(huì)固化形成聚合物固體。

8.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其中該胺包括選自以下的至少一種物質(zhì)：氨基乙基乙醇胺、N-甲基氨基乙醇、氨基乙氧基乙醇、二甲基氨基乙氧基乙醇、二乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、單乙醇胺、三乙醇胺、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丁醇、異丁醇胺、三亞乙基二胺、其它C₁-C₈烷醇胺、四亞乙基五胺(TEPA)、4-(2-羥乙基)嗎啉(HEM)、N-氨基乙基哌嗪(N-AEP)、乙二胺四乙酸(EDTA)、1，2-環(huán)己二胺-N，N，N′，N′-四乙酸(CDTA)、甘氨酸/抗壞血酸、亞氨基二乙酸(IDA)、2-(羥乙基)亞氨基二乙酸(HIDA)、次氮基三乙酸、硫脲、1，1，3，3-四甲基脲、尿素、尿素衍生物、尿酸、甘氨酸、丙氨酸、精氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、半胱氨酸、谷氨酸、谷氨酰胺、組氨酸、異亮氨酸、亮氨酸、賴氨酸、甲硫氨酸、苯丙氨酸、脯氨酸、絲氨酸、蘇氨酸、色氨酸、酪氨酸、纈氨酸、1-甲氧基-2-氨基乙烷、及其組合，及

其中該至少一種季堿由式NR¹R²R³R⁴OH表示，其中R¹、R²、R³及R⁴彼此可相同或不同且選自下組：氫、直鏈C₁-C₆烷基、支鏈C₁-C₆烷基、經(jīng)取代的C₆-C₁₀芳基及未經(jīng)取代的C₆-C₁₀芳基。

9.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其進(jìn)一步包含至少一種選自以下的額外組分：至少一種還原劑、至少一種復(fù)合劑、至少一種補(bǔ)充腐蝕抑制劑、至少一種醇、至少一種表面活性劑、及NR¹R²R³R⁴OH，其中R¹、R²、R³及R⁴彼此可相同或不同且選自下組：氫、甲基及乙基，前提條件為R¹、R²、R³及R⁴中至少之一必須為氫。

10.如前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的清潔組合物，其進(jìn)一步包含至少一種還原劑。