[發(fā)明專利]具有冷卻裝置的直線電機(jī)線圈組裝體

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980141274.X
• 申請(qǐng)日: 2009-10-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102187555A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-09-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 越元寬;田嶌知
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社沙迪克
• 主分類號(hào): H02K41/03
• 分類號(hào): H02K41/03;H02K41/02
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種產(chǎn)生直線式的移動(dòng)的直線電機(jī)。本發(fā)明特別涉及一種直線電機(jī)線圈組裝體，其具備排列在直線式的移動(dòng)的方向上的電樞線圈、以及用來(lái)冷卻所述電樞線圈的裝置。

背景技術(shù)

在機(jī)床或半導(dǎo)體制造裝置的領(lǐng)域中，已知有對(duì)精密工作臺(tái)(table)高精度地進(jìn)行定位的直線電機(jī)。該直線電機(jī)需要較大的推力，且在多數(shù)情況下，由防止粉塵的侵入的蓋子來(lái)密閉。因此，有效地冷卻直線電機(jī)變得重要。

已知有使冷媒所通過(guò)的冷卻管接近或接觸作為發(fā)熱源的電樞線圈的直線電機(jī)。專利文獻(xiàn)1揭示了具備2列線圈與4根扁平冷卻管的直線電機(jī)。這些扁平冷卻管與各線圈的4面中的2面接觸。專利文獻(xiàn)2揭示了具備在2列線圈的周圍延伸的1根扁平冷卻管的直線電機(jī)。該扁平冷卻管與各線圈的4面中的2面接觸。

專利文獻(xiàn)3揭示了包括一列線圈中蜿蜒的扁平冷卻管的直線電機(jī)線圈組裝體。形成有線圈的鐵芯是固定在底板上。扁平冷卻管的寬度大于等于線圈的軸方向的長(zhǎng)度。各線圈的表面的大部分與扁平冷卻管接觸。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利3856057號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特開(kāi)2000-228860號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本專利3643273號(hào)公報(bào)

但是，線圈的側(cè)面的一部分未與扁平冷卻管接觸。因此，殘留的熱通過(guò)鐵芯及底板而被傳遞至精密工作臺(tái)，有可能會(huì)對(duì)精密工作臺(tái)的定位精度造成不良影響。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于所述情況，本發(fā)明的目的在于提供一種通過(guò)簡(jiǎn)單的構(gòu)成，而有效地降低熱對(duì)于精密工作臺(tái)的定位精度所造成的不良影響的直線電機(jī)。

本發(fā)明是關(guān)于一種直線電機(jī)線圈組裝體，其包括：底板(1)、沿長(zhǎng)度方向固定在底板的上表面的一列鐵芯(42)、分別設(shè)置在鐵芯(42)上的多個(gè)線圈(44)、以及與多個(gè)線圈(44)接觸并使第1冷媒通過(guò)的第1冷卻管(50)，且可將底板的下表面安裝在工作臺(tái)上。

底板(1)具有在底板的下表面沿長(zhǎng)度方向直線式地延伸的槽(8)，直線電機(jī)線圈組裝體進(jìn)一步包括設(shè)置在槽(8)中并使第2冷媒通過(guò)的第2冷卻管(92、94)。

根據(jù)技術(shù)方案1所述的直線電機(jī)線圈組裝體，優(yōu)選第1冷卻管(50)包含多個(gè)線圈(44)中蜿蜒的扁平冷卻管，第2冷卻管(92、94)包含直線式的扁平冷卻管。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明的直線電機(jī)線圈組裝體，通過(guò)第1冷媒而將由線圈所產(chǎn)生的熱從線圈組裝體中去除。此外，殘留在線圈中的熱經(jīng)由鐵芯及底板而被傳遞至第2冷卻管，第2冷卻管中的第2冷媒將熱從底板中去除。另外，精密工作臺(tái)的溫度維持成固定，而不會(huì)對(duì)精密工作臺(tái)施行某種加工。

附圖說(shuō)明

圖1是表示未被絕緣樹(shù)脂覆蓋的本發(fā)明的直線電機(jī)線圈組裝體的側(cè)視圖。

圖2是表示圖1的直線電機(jī)線圈組裝體的俯視圖。

圖3是表示被絕緣樹(shù)脂覆蓋的本發(fā)明的直線電機(jī)線圈組裝體的俯視圖。

圖4是從右上方所看到的圖1的直線電機(jī)線圈組裝體的立體圖。

圖5是圖1的直線電機(jī)線圈組裝體的側(cè)視圖。

圖6是圖1的直線電機(jī)線圈組裝體的前視圖。

圖7是表示追加的冷卻裝置的立體圖。

圖8是表示圖7的追加的冷卻裝置的俯視圖。

圖9是表示圖7的追加的冷卻裝置的側(cè)視圖。

圖10是表示設(shè)置有追加的冷卻裝置的直線電機(jī)線圈組裝體的俯視圖。

圖11是表示圖10的直線電機(jī)線圈組裝體的側(cè)視圖。

圖12是表示圖10的直線電機(jī)線圈組裝體的前視圖。

圖13是表示圖10的直線電機(jī)線圈組裝體的分解圖。

圖14是表示追加的冷卻裝置用的安裝用具的立體圖。

符號(hào)的說(shuō)明

1：底板

4：線圈用的線束

5：轉(zhuǎn)向傳感器用線束

6：溫度傳感器用線束

8：槽

30：安裝用具

32：主體部

34、36：鉤部

42：鐵芯

43：孔

44：線圈

46：孔

48：螺絲

50：扁平冷卻管

52：轉(zhuǎn)向傳感器

56、58：歧管

82：螺孔

92、94：扁平冷卻管

96、98：歧管

具體實(shí)施方式