[發明專利]真空處理設備

有效

• 申請號: 200980140738.5
• 申請日: 2009-07-20
• 公開（公告）號: CN102186759A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 沃爾特·斯卡夫;拉爾夫·斯托克伯格
• 申請（專利權）人: J·施邁茨有限公司
• 主分類號: B66C1/02
• 分類號: B66C1/02;B25J15/06;B65G47/91;G06K19/073
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 許偉群;張文

本發明涉及一種用于固定或者輸送工件的真空處理設備，其由多個部件構成，其中部件中的至少一個配備有RFID標簽，并且該RFID標簽設置有RFID芯片和天線。

有時借助真空處理設備操縱相當大的負荷，也就是提升、運動到另一位置并且在那里又放下，或者將用于加工的工件抓緊或者張緊。真空處理設備由多個部件構成，它們必須彼此相協調，使得真空處理設備能夠在工藝可靠性上滿足其任務。尤其是在部件較長時間使用并且受到磨損的情況下，并非始終保證這一點。此外，在質量低劣的仿制部件的情況下，并不保證它們滿足真空處理設備的所有規范。

因此，在DE?10?2006?023?886A1中提出了為要監控的部件裝配以RFID標簽。通過讀取RFID標簽可以確定是否是原部件。此外，可以將其他數據如制造日期、制造地點、序列號等等存儲在RFID標簽中。

然而，僅僅RFIF標簽集成到部件中還不能確保真空處理設備不再能操縱。例如，具有RFID標簽的原部件被放置到真空處理設備的讀取單元的有效距離中，使得讀取單元被欺騙并且認為真空處理設備裝備有原部件。然而，并不能檢測原部件是否實際被使用在真空處理設備中。

在WO?2007/062849A1、EP?1?750?412A2和EP?1?724?705A1中公開了RFID標簽，但借助其也不能解決上述問題。

因此，本發明的任務在于提供一種真空處理設備，其是工藝可靠的。

根據本發明，該任務借助開頭所述類型的真空處理設備通過如下方式來解決：在RFID芯片與天線之間設置有用于將RFID芯片與天線電隔離的開關元件。

通過在RFID芯片與天線之間設置有開關元件，天線可以與RFID芯片隔離，使得RFID無效。在激活開關元件并且將RFID芯片與天線電連接之后，才可以在RFID標簽與讀取單元之間交換數據。由此保證了并非按規定設置在真空處理設備中的部件盡管有集成的RFID標簽但不可識別，使得例如輸出錯誤消息。只有當真空處理設備的部件通過操作開關元件使得RFID芯片與天線相連的方式來激活時，RFID標簽并且因此該部件才可以被檢測并且可以交換數據。該部件于是必須激活地集成到真空處理設備中，否則RFID標簽不被讀取單元識別。

如已提及的那樣，開關元件可以通過真空處理設備來操作。這例如通過使用在真空處理設備中或在部件中或在部件上的真空來操作開關元件的方式來實現。

一種可替選的操作設計為，開關元件可以借助設置在真空處理設備中的磁體來操作。如果部件靠近該磁體，則開關元件例如從其斷開狀態過渡至其閉合狀態。磁體在此設置為使得只有當部件位于其規定的位置中時才可操作開關元件。

用于操作開關元件的另一個可替選方案設計為，開關元件可以借助設置在真空處理設備中的、可通過放置工件激活的按鍵來操作。在該變形方案中，部件也必須按規定被安裝，使得其占據一位置，使得其可以被工件覆蓋，從而使得例如在部件內可以建立真空或者可以通過工件操作按鍵或者工件的重量可以使部件變形。

本發明的一個改進方案設計為，開關元件是斷路器或者切換器。這樣，通過開關元件例如可以接通或關斷天線。然而在將切換器用作開關元件時，例如也可以將兩個不同的RFID芯片與天線相連。以此方式，例如可以在部件盡管被安裝然而具有某一故障時將故障主動地通知真空處理設備、尤其是設備的控制中心。或者，可以通知控制中心：真空處理設備以不符合規定的部件來驅動。

不同的實施形式設計為，開關元件與活塞、膜、鐵磁元件和/或按鍵尤其是以機械方式耦合。這些激勵元件可以具有不同的性質并且交替地或者累積地與開關元件相連。在此，這些激勵元件例如可以以由壓力差形成的力(過壓或者真空)、周圍的場例如磁場的力、例如作用于雙金屬元件的溫度差或由于從直接施加而得到的力而被激勵。在此，按鍵可以以手動方式、通過重力、通過工件或者通過真空來操作。

本發明的其他優點、特征和細節從從屬權利要求以及以下的描述中得到，在該描述中參照附圖詳細地描述了不同的實施例。在此，附圖中所示的以及在該描述中和在權利要求中提及的特征分別單獨就本身而言或者任意組合地都反映了本發明的本質。

在附圖中：

圖1在示意圖中示出了帶有相關的讀取單元的RFID標簽；以及

圖2示出了根據圖1的RFID標簽的實施變形方案。