[發明專利]基準部件清掃裝置和基準部件清掃方法

有效

• 申請號: 200980140654.1
• 申請日: 2009-10-14
• 公開（公告）號: CN102187370A
• 公開（公告）日: 2011-09-14
• 發明（設計）人: 加藤琢爾
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G07D7/00
• 分類號: G07D7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 孫蕾

1.一種基準部件清掃裝置，該基準部件清掃裝置用于光學方式檢測裝置，其特征在于，該基準部件清掃裝置具備：

反射光的基準部件；

擦拭部件，該擦拭部件設于與上述基準部件相接的位置，能夠進行對上述基準部件的表面進行清掃的正反旋轉；

驅動單元，該驅動單元輸出正轉方向和反轉方向中的任一方向的動力；

傳遞單元，該傳遞單元與上述驅動單元的旋轉軸連接，以向預定方向輸送上述基準部件的方式將上述驅動單元的動力傳遞至上述基準部件，以使上述擦拭部件向預定方向旋轉的方式將上述驅動單元的動力傳遞至上述擦拭部件；以及

控制單元，對上述驅動單元的旋轉方向進行控制。

2.根據權利要求1所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

上述傳遞單元以使上述基準部件的輸送方向、和上述擦拭部件在上述基準部件與上述擦拭部件的相接點處的旋轉方向相反的方式，傳遞上述驅動單元的動力。

3.根據權利要求2所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

上述傳遞單元還具備：

第一旋轉元件；

帶，卷掛于上述驅動單元的旋轉軸和上述第一旋轉元件；以及

聯動部件，使上述帶和上述基準部件聯動。

4.根據權利要求3所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

上述傳遞單元還具備：

第一旋轉軸，與上述第一旋轉元件聯動地旋轉；

第二旋轉元件，與上述第一旋轉軸聯動地旋轉；

第三旋轉元件，與上述第二旋轉元件連接，并向與上述第二旋轉元件的旋轉方向相反的方向旋轉；以及

第二旋轉軸，與上述第三旋轉元件聯動地旋轉，

上述擦拭部件與上述第二旋轉軸聯動地旋轉。

5.根據權利要求3所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

上述驅動單元的旋轉軸和上述第一旋轉元件被設置成至少離開輸送上述基準部件的距離以上的距離。

6.根據權利要求2所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

該基準部件清掃裝置還具備對上述基準部件的輸送距離進行檢測的位置檢測傳感器，

上述控制部根據上述位置檢測傳感器的輸出來控制上述驅動單元的旋轉方向。

7.根據權利要求6所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

在根據上述位置檢測傳感器的輸出判斷為已將上述基準部件輸送了預先設定的預定距離以上的距離的情況下，上述控制部切換上述驅動單元的旋轉方向。

8.根據權利要求2所述的基準部件清掃裝置，其特征在于，

根據上述驅動單元的轉數判斷上述基準部件的輸送距離，當判斷為已將上述基準部件輸送了預先設定的預定距離以上的距離的情況下，上述控制部切換上述驅動單元的旋轉方向。

9.一種基準部件清掃方法，該基準部件清掃方法用于基準部件清掃裝置，該基準部件清掃裝置具備反射光的基準部件、以及對上述基準部件的表面進行清掃的擦拭部件，該基準部件清掃方法的特征在于，

輸出正轉方向和反轉方向中的任一方向的動力，

以向預定方向輸送上述基準部件的方式將上述動力傳遞至上述基準部件，以使上述擦拭部件向預定方向旋轉的方式將上述動力傳遞至上述擦拭部件，

對上述動力的旋轉方向進行控制。