[發(fā)明專利]圖像處理方法、圖像處理裝置及使用該圖像處理裝置的表面檢查裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980140443.8
• 申請(qǐng)日: 2009-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN102177428A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 若葉博之;林義典;宮園浩一;川崎祥三;森秀樹;浜谷和彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01B11/24;G01N21/956
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)包括由像素單位的濃淡值構(gòu)成的物體表面圖像的圖像進(jìn)行處理的圖像處理方法、圖像處理裝置、及使用該圖像處理裝置的表面檢查裝置。

背景技術(shù)

以往提出了拍攝物體的表面，并根據(jù)得到的圖像來(lái)檢查所述物體表面的缺陷的表面檢查裝置(參照專利文獻(xiàn)1)。在該表面檢查裝置中，利用線傳感器對(duì)半導(dǎo)體晶片、液晶玻璃基板等被檢查物體的表面進(jìn)行掃描，根據(jù)從該線傳感器輸出的攝像信號(hào)，生成二維的被檢查體的表面圖像。并且，對(duì)該表面圖像的各個(gè)部分進(jìn)行處理，根據(jù)該各個(gè)部分經(jīng)處理后的表面圖像中的濃淡狀態(tài)等，檢測(cè)被檢查體表面的缺陷(膜厚不均和圖案缺陷等)。

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007-147441號(hào)公報(bào)

可是，作為在上述的表面檢查裝置中進(jìn)行的針對(duì)物體表面圖像的處理，能夠進(jìn)行用于強(qiáng)調(diào)物體表面圖像中的缺陷部分的濃淡的濾波處理。該濾波處理是考慮周圍像素的濃淡值來(lái)強(qiáng)調(diào)各個(gè)關(guān)注像素的濃淡值的處理。即，對(duì)所述物體表面圖像實(shí)施對(duì)二維排列的多個(gè)像素(關(guān)注像素及其周圍像素)的濃淡值進(jìn)行依次處理的二維圖像處理。

但是，在該物體表面圖像的邊緣線部分，濃淡值在該邊緣線的內(nèi)側(cè)(邊緣部圖像)和外側(cè)(背景圖像)急劇變化，因此在二維圖像處理中，在該邊緣線部分的區(qū)域中不能得到合適的已處理圖像。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，提供一種圖像處理方法和圖像處理裝置、以及使用該圖像處理裝置的表面檢查裝置，能夠得到在物體表面圖像的邊緣部分的區(qū)域中實(shí)施了合適的圖像處理的圖像。

本發(fā)明的圖像處理方法構(gòu)成為包括：圖像取得步驟，取得由像素單位的濃淡值構(gòu)成的、包括物體表面圖像的被處理圖像；邊緣部圖像確定步驟，將包括在所述被處理圖像中設(shè)定的所述物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的圖像，確定為邊緣部圖像；變換步驟，將所述邊緣部圖像變換為寬度相當(dāng)于所述預(yù)定寬度的矩形圖像；以及圖像處理步驟，對(duì)所述矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，包括在被處理圖像中設(shè)定的物體表面圖像的邊緣線的、在與該邊緣線正交的方向上為預(yù)定寬度的區(qū)域的邊緣部圖像，被變換為寬度相當(dāng)于該預(yù)定寬度的矩形圖像，對(duì)該矩形圖像實(shí)施對(duì)在與該寬度正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理的一維圖像處理。在針對(duì)所述矩形圖像的一維圖像處理中，對(duì)在與該矩形圖像的寬度方向正交的方向上排列的多個(gè)像素的濃淡值依次進(jìn)行處理，因而所述矩形圖像在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上被依次進(jìn)行處理。

在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為還包括逆變換步驟，在該步驟中，將實(shí)施了所述一維圖像處理的所述矩形圖像逆變換為原來(lái)區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，實(shí)施了一維圖像處理的所述矩形圖像被逆變換為原來(lái)區(qū)域的圖像，生成已處理邊緣部圖像。如前面所述，針對(duì)矩形圖像的一維圖像處理是在沿著與所述物體表面圖像的邊緣線對(duì)應(yīng)的直線的方向上的處理，所以將已實(shí)施該一維圖像處理的矩形圖像進(jìn)行逆變換得到的已處理邊緣部圖像，實(shí)質(zhì)上是沿著所述物體表面圖像的邊緣線實(shí)施圖像處理后的圖像。

另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，在所述邊緣部圖像確定步驟中，將下述區(qū)域的圖像確定為所述邊緣部圖像，所述區(qū)域是指在所述邊緣線的所述物體表面圖像的內(nèi)側(cè)方向上為第一預(yù)定寬度，在所述邊緣線的所述物體表面圖像的外側(cè)方向上為第二預(yù)定寬度的區(qū)域。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，即使在被處理圖像中未設(shè)定與該物體表面圖像的邊緣準(zhǔn)確一致的邊緣線，也能夠?qū)⒁欢òㄔ撐矬w表面圖像邊緣的區(qū)域的圖像確定為邊緣部圖像。

另外，在本發(fā)明的圖像處理方法中也能夠構(gòu)成為，所述變換步驟包括：位置變換步驟，取得所述邊緣部圖像中的與所述矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的位置；以及根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的邊緣部圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述矩形圖像的像素的濃淡值的步驟。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，取得與構(gòu)成矩形圖像的各個(gè)像素對(duì)應(yīng)的邊緣部圖像中的位置，根據(jù)所述邊緣部圖像中的各個(gè)像素的濃淡值，確定與所述取得的邊緣部圖像中的各個(gè)位置對(duì)應(yīng)的、所述矩形圖像的像素的濃淡值。