[發(fā)明專利]驅(qū)動微反射鏡的方法和裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980139821.0
• 申請日: 2009-10-06
• 公開（公告）號: CN102177460A
• 公開（公告）日: 2011-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 簡.霍恩;克里斯琴.肯普特
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 邱軍

1.一種驅(qū)動微反射鏡(24)的方法，包括下面的步驟：

a)提供微反射鏡陣列(22)，其布置于微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)(10)中且包括所述微反射鏡(24)，所述微反射鏡(24)可關(guān)于兩個傾斜軸(x、y)通過各傾斜角度(α_x、α_y)傾斜，且所述微反射鏡(24)被分配三個驅(qū)動器(E₁、E₂、E₃)，所述三個驅(qū)動器(E₁、E₂、E₃)可通過控制信號(U₁、U₂、U₃)被分別驅(qū)動，從而使得所述微反射鏡(24)關(guān)于所述兩個傾斜軸(x、y)傾斜；

b)規(guī)定兩個控制變量(SG_x、SG_y)，其每個被分配給一個傾斜軸(x、y)且其兩者被分配給未被干擾的傾斜角度(α_x、α_y)；

c)對于所述兩個控制變量(SG_x、SG_y)的任何希望的組合，根據(jù)所述兩個控制變量(SG_x、SG_y)，選擇所述三個驅(qū)動器中的一個驅(qū)動器(E₁)并將其控制信號(U₁)設(shè)為常數(shù)值，具體地0；

d)確定所述控制信號(U₁、U₂、U₃)，使得當(dāng)所述控制信號(U₁、U₂、U₃)被施加到其它兩個驅(qū)動器(E₂、E₃)時，所述微反射鏡(24)根據(jù)所述兩個控制變量(SG_x、SG_y)采用所述未被干擾傾斜角度；

e)將所述控制信號(U₁、U₂、U₃)施加到所述驅(qū)動器(E₁、E₂、E₃)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的所述方法，其特征在于所述控制變量(SG_x、SG_y)被線性分配給所述未被干擾的傾斜角度(α_x、α_y)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2的所述方法，其特征在于通過將具有方向(θ)的二維控制變量向量(SGV)分配給所述兩個控制變量(SG_x、SG_y)，所述兩個控制變量(SG_x、SG_y)被分配給關(guān)于所述兩個傾斜軸(x、y)的所述未被干擾的傾斜角度(α_x、α_y)，將有效傾斜向量(w₁，w₂，w₃)分配給每個單獨的驅(qū)動器(E₁、E₂、E₃)，隨后選擇所述驅(qū)動器(E₁)，所述驅(qū)動器(E₁)的有效傾斜向量(w₁)的方向(θ)與所述控制變量向量(SGV)的方向(θ)不直接相鄰，從而在步驟c)中選擇其控制信號(U₁)被設(shè)為常數(shù)，具體地被設(shè)為0的驅(qū)動器(E₁)，。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述驅(qū)動器(E₁、E₂、E₃)的所述有效傾斜向量(w₁，w₂，w₃)從所述控制變量(SG_x、SG_y)獲得，所述控制變量(SG_x、SG_y)被分配給當(dāng)僅此驅(qū)動器(E₁、E₂、E₃)被驅(qū)動時所述微反射鏡(24)采用的所述未被干擾的傾斜角度(α_x、α_y)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的方法，其特征在于所述有效傾斜向量(w₁，w₂，w₃)通過測量確定。