[發明專利]測量物理參數的方法和裝置

無效

• 申請號: 200980139645.0
• 申請日: 2009-10-02
• 公開（公告）號: CN102171546A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發明（設計）人: 邁克爾·蒙克;塞巴斯蒂安·斯迪克;格哈德·林迪納;羅蘭·蒂昌特-瓦格納;朱爾根·斯維肯德耶克;克勞斯·波凌戈爾;辛格·費迪南
• 申請（專利權）人: 瑞納股份有限公司
• 主分類號: G01L1/02
• 分類號: G01L1/02;G01L5/00;H01L21/00;H01L31/18;H01L41/113
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;王艷春

1.一種測量在常規處理過程期間作用于扁平、碟狀且易碎物件的負荷或負荷變化的方法，通過將所述處理應用于測試體(1)，所述測試體具有與所述物件基本相同的幾何性質和/或機械性質并且包括至少一個傳感器(2)，所述至少一個傳感器用于測量在所述測試體的處理過程期間作用于所述測試體的至少一個物理參數，所述至少一個物理參數選自拉力、壓力、剪力、壓強、彎矩、扭矩、加速力及其組合，其中所述至少一個傳感器(2)包括或者被設計為壓電塑料膜，并能夠將直接且即刻作用于所述傳感器上的負荷轉換為彎曲力。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述測試體(1)的所述幾何性質涉及所述測試體的厚度、寬度、長度和/或輪廓，所述測試體(1)的所述機械性質涉及所述測試體的彈性、彎曲剛度、扭轉剛度和/或質量。

3.如權利要求1或2所述的方法，其中所述處理用于制造或生產太陽能電池或太陽能晶圓。

4.一種測量在常規處理過程期間作用于扁平、碟狀且易碎物件的負荷或負荷變化的裝置，包括測試體(1)，所述測試體具有與所述物件基本相同的幾何性質和/或機械性質并且被設計為至少一個傳感器(2)或包括所述至少一個傳感器(2)，所述至少一個傳感器用于測量在所述測試體的處理過程期間作用于所述測試體的至少一個物理參數，所述至少一個物理參數選自拉力、壓力、剪力、壓強、彎矩、扭矩、加速力及其組合，其中所述至少一個傳感器(2)包括或者被設計為壓電塑料膜，并能夠將直接且即刻作用于所述傳感器上的負荷轉換為彎曲力。

5.如權利要求4所述的裝置，其中，所述測試體(1)包括基體(3)作為部件，在所述基體(3)上或基體(3)中設置有所述至少一個傳感器。

6.如權利要求4或5所述的裝置，其中，所述測試體(1)的所述幾何性質涉及所述測試體的厚度、寬度、長度和/或輪廓，并且其中所述測試體(1)的所述機械性質涉及所述測試體的彈性、彎曲剛度、扭轉剛度和/或質量。

7.如權利要求4至6中任一項所述的裝置，還包括：

-存儲單元(4)和/或發射器單元(5)，所述存儲單元(4)用于存儲測量到的至少一個物理參數，所述發射器單元(5)用于所述測量到的至少一個物理參數的無線傳輸；

-估計單元(6)，進一步處理所述測量到的至少一個物理參數；

-輸出單元(7)，輸出用于監測狀態的光信號、聲信號和/或電信號；

-能量供給單元(8)。

8.如權利要求5至7中任一項所述的裝置，其中，在所述基體(3)的表面上設置有彈性夾層(9)，并且所述至少一個傳感器(2)至少部分地設置在所述彈性夾層上。

9.如權利要求4至8中任一項所述的裝置，其中，所述測試體(1)被設計為層狀結構，其中所述層狀結構包括抗化學腐蝕的外層和具有所述至少一個傳感器(2)的內層，當需要時，所述層狀結構還包括其他電子部件。