[發明專利]靜電電容型力學量傳感器元件及力學量傳感器

無效

• 申請號: 200980139132.X
• 申請日: 2009-11-20
• 公開（公告）號: CN102165297A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 高橋誠;柏原岳志
• 申請（專利權）人: 鷹野株式會社;高橋誠
• 主分類號: G01L1/14
• 分類號: G01L1/14;G01L5/16
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張鑫

1.一種靜電電容型力學量傳感器元件，其特征在于，

具備具有電絕緣性和力學彈性并具有相對的至少一對表面的基材、配置在該基材的所述一對表面的一面的至少一個電極、以及配置在所述一對表面的另一面的至少一個電極，

對于分別從配置在所述一面的電極和配置在所述另一面的電極中各選擇一個而得到的兩個電極的每一組合，檢測電極之間的靜電電容。

2.一種靜電電容型力學量傳感器元件，其特征在于，

具備具有電絕緣性和力學彈性并具有相對的至少一對表面的基材、配置在該基材的所述一對表面的一面的四個電極、以及在所述一對表面的另一面上分別配置在與所述一面的四個電極正對的位置上的四個電極，

對于分別從所述一面的四個電極和所述另一面的四個電極中各選擇一個而得到的兩個電極的每一組合，檢測電極之間的靜電電容。

3.如權利要求1或2所述的靜電電容型力學量傳感器元件，其特征在于，

所述電極由柔性印刷電路板構成。

4.如權利要求1或2所述的靜電電容型力學量傳感器元件，其特征在于，

利用保護膜來密封整個表面。

5.一種力學量傳感器，其特征在于，該力學量傳感器具備運算裝置，該運算裝置包括：

被輸入由靜電電容型力學量傳感器元件測量輸出的靜電電容值數據的單元，該靜電電容型力學量傳感器元件具備具有電絕緣性和力學彈性并具有相對的至少一對表面的基材、配置在該基材的所述一對表面的一面的至少一個電極、以及配置在所述一對表面的另一面的至少一個電極，對于分別從配置在所述一面的電極和配置在所述另一面的電極中各選擇一個而得到的兩個電極的每一組合，檢測電極之間的靜電電容；

利用所述靜電電容值數據、計算配置在所述另一面的電極相對于配置在所述一面的電極的位置的單元；

基于配置在所述另一面的電極的位置、計算配置在所述另一面的電極的中央位置的單元；

基于配置在所述另一面的電極的位置、計算所述另一面相對于所述一面的旋轉角度的單元；

利用所述中央位置計算所述基材的應力的單元；以及

利用所述旋轉角度計算所述基材的扭轉力矩的單元。

6.一種力學量傳感器，其特征在于，該力學量傳感器具備運算裝置，該運算裝置包括：

被輸入由靜電電容型力學量傳感器元件測量輸出的靜電電容值數據的單元，該靜電電容型力學量傳感器元件具備具有電絕緣性和力學彈性并具有相對的至少一對表面的基材、配置在該基材的所述一對表面的一面的四個電極、以及在所述一對表面的另一面上分別配置在與所述一面的四個電極正對的位置上的四個電極，對于分別從所述一面的四個電極和所述另一面的四個電極中各選擇一個而得到的兩個電極的每一組合，檢測電極之間的靜電電容；

利用所述靜電電容值數據、計算配置在所述一對表面的另一面的所述四個電極相對于配置在所述一對表面的一面的所述四個電極的位置的單元；

基于所述四個電極的位置、計算所述四個電極的中央位置的單元；

基于所述四個電極的位置、計算所述另一面相對于所述一面的旋轉角度的單元；

利用所述四個電極的中央位置計算所述基材的應力的單元；以及

利用所述旋轉角度計算所述基材的扭轉力矩的單元。