[發(fā)明專利]太陽(yáng)能電池的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980134879.6
• 申請(qǐng)日: 2009-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN102144300A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山室和弘;湯山純平;宋一兵;青柳秀勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛發(fā)科
• 主分類號(hào): H01L31/04
• 分類號(hào): H01L31/04
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 楊晶;王琦

1.一種太陽(yáng)能電池的制造方法，所述太陽(yáng)能電池具有基板、以及在該基板上將第一導(dǎo)電層、光電轉(zhuǎn)換層和第二導(dǎo)電層依次重疊而成的結(jié)構(gòu)體，

該結(jié)構(gòu)體按照各規(guī)定尺寸在電氣上被分區(qū)而形成多個(gè)分區(qū)單元，彼此相鄰的所述分區(qū)單元之間被電連接，其特征在于，所述太陽(yáng)能電池的制造方法包括：

缺陷區(qū)域確定工序，從所述多個(gè)分區(qū)單元中確定出存在結(jié)構(gòu)缺陷的區(qū)域；以及

修復(fù)工序，對(duì)所述區(qū)域或其周圍照射激光光線，來(lái)去除所述結(jié)構(gòu)缺陷，

所述修復(fù)工序包括：

工序α，對(duì)所述結(jié)構(gòu)體照射第一激光，來(lái)去除或分離所述區(qū)域；以及

工序β，對(duì)因所述去除或分離而產(chǎn)生的所述結(jié)構(gòu)體的端部照射第二激光，來(lái)清除所述端部，

所述第二激光使用將所述第一激光散焦以使所述第一激光的聚焦位置遠(yuǎn)離所述基板后得到的激光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，

在所述工序β中，沿所述基板的平面方向移動(dòng)所述第二激光的照射位置，對(duì)不存在所述結(jié)構(gòu)缺陷那一側(cè)的所述結(jié)構(gòu)體的端部照射所述第二激光。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，

在所述工序β中，代替照射所述第二激光而照射第三激光，所述第三激光的激光光線的頻率與所述第一激光不同，且所述第三激光被散焦以使所述第三激光的聚焦位置比所述第一激光更加遠(yuǎn)離所述基板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，

在所述工序α照射所述第一激光之前，進(jìn)一步具有對(duì)所述結(jié)構(gòu)體照射第四激光而形成槽部的工序，所述第四激光被散焦以使所述第四激光的聚焦位置比所述第一激光更加遠(yuǎn)離所述基板，

在形成所述槽部后，對(duì)所述結(jié)構(gòu)體的所述槽部照射所述第一激光。