1.用于測量表面中結(jié)構(gòu)的傳感器，尤其是一種指紋傳感器，

包括，在選定位置處的選定數(shù)量的傳感器元件，所述傳感器元件用于耦接到表面，具有尺寸小于或類似于所述表面中結(jié)構(gòu)的尺寸，以及處理單元，所述處理單元包括耦接到所述傳感器元件的用于提供所述表面結(jié)構(gòu)處阻抗測量的詢問電極，所述處理單元安裝在襯底的一面上，且所述傳感器元件位于所述襯底的相對面上，所述襯底包括所述傳感器元件和所述詢問電極之間的貫穿第一導(dǎo)線，

其中，所述襯底由半導(dǎo)體材料構(gòu)成，例如硅，并且所述第一導(dǎo)線由絕緣材料圍繞的選定尺寸的貫穿襯底部分構(gòu)成，優(yōu)選地所述絕緣材料為從襯底將它們分離的電介質(zhì)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鲆r底還包括至少一個第二導(dǎo)體線，貫通襯底方向的橫截面顯著地大于所述表面的所述結(jié)構(gòu)，提供耦接到所述手指表面以及所述處理單元的外部電極，所述第二導(dǎo)體線同樣由使用電介質(zhì)材料從襯底絕緣的一部分襯底構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鎏幚韱卧m用于測量所述外部電極和所述傳感器元件之間的阻抗。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鰝鞲衅髟谒鲆r底的有限區(qū)域內(nèi)分組，并且所述至少一個第二導(dǎo)體線位于所述有限區(qū)域的至少兩面的平面上，從而至少局部環(huán)繞具有所述傳感器元件的有限區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鲋辽僖粋€第二導(dǎo)體線耦接到地面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲衅鳎ǜ采w所述傳感器元件位于其上的襯底面的電介質(zhì)層，并且所述電介質(zhì)層在所述傳感器元件上方具有開口或厚度減小的區(qū)域，并且還包括至少位于所述開口中的構(gòu)成傳感器焊接區(qū)的導(dǎo)電層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲兴鰝鞲衅骱附訁^(qū)的尺寸基本上與具有圍繞電介質(zhì)絕緣的導(dǎo)體線橫截面尺寸相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲衅鳎哂杏商蓟牧现瞥傻母采w所述傳感器元件并保護傳感器表面的外部保護層。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鰝鞲衅髟挥谝r底表面的預(yù)定區(qū)域，傳感器元件基本上由驅(qū)動電極圍繞，所述驅(qū)動電極耦接到所述處理單元，所述處理單元適用于在所述驅(qū)動電極和地面之間施加變化的電壓，并測量所述傳感器元件和所述驅(qū)動電極之間的阻抗。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鲵?qū)動電極通過與襯底電絕緣的襯底中的第二導(dǎo)體線耦接到所述處理單元，絕緣是由兩個基本上平行的貫穿電介質(zhì)區(qū)域構(gòu)成的絕緣結(jié)構(gòu)，所述絕緣結(jié)構(gòu)具有選定間隔的在每個平行電介質(zhì)區(qū)域之間延伸的貫穿電介質(zhì)區(qū)域，從而提供雙絕緣區(qū)域。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鰝鞲衅髟?gòu)成用于測量一部分手指表面中結(jié)構(gòu)的基本上線性的陣列，所述基本上線性的陣列包括至少一行傳感器元件。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鼍€性傳感器陣列包括多個平行的傳感器元件線路。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校銎叫芯€路相對于彼此移位選定距離，從而提供一種交錯的傳感器元件線路。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的表面?zhèn)鞲衅鳎ň啾舜诉x定距離的至少兩個運動傳感器元件，用于測量所述傳感器上的所述表面的運動。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鰞蓚€運動傳感器元件中的至少一個是由所述傳感器陣列中的傳感器元件構(gòu)成。

16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的表面?zhèn)鞲衅鳎€包括至少一個地電極。

17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面?zhèn)鞲衅鳎渲校鲆r底還包括到所述襯底外部的外部電極的至少一個第二導(dǎo)體，其基本上大于所述表面的所述結(jié)構(gòu)，提供耦接到所述手指表面以及所述處理單元的外部電極。