[發(fā)明專利]測(cè)量和校正多斑掃描設(shè)備中的透鏡畸變

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980130830.3
• 申請(qǐng)日: 2009-08-07
• 公開（公告）號(hào): CN102119326A
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: B·胡什肯;S·斯托林加
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皇家飛利浦電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02;G02B21/00;G02B27/00
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 陳松濤;蹇煒

1.一種確定成像系統(tǒng)(32)的畸變的方法，所述成像系統(tǒng)具有物平面(40)和像平面(42)，其中所述方法包括如下步驟：

-在所述物平面(40)中生成(201)探針光斑(6)的陣列，由此在所述像平面(42)中生成對(duì)應(yīng)的圖像光斑(46)的陣列，其中，所述探針光斑(6)根據(jù)一維或二維布拉維點(diǎn)陣(8)布置；

-設(shè)置(202)圖像傳感器(34)，使得其敏感區(qū)域(44)與所述圖像光斑(46)相互作用；

-從所述圖像傳感器(34)讀取(203)圖像數(shù)據(jù)；

-通過分析所述圖像數(shù)據(jù)確定(204)所述敏感區(qū)域(44)上的所述圖像光斑(46)的位置；以及

-擬合(205)映射函數(shù)，使得所述映射函數(shù)將輔助點(diǎn)陣(48)的點(diǎn)陣點(diǎn)映射到所述圖像光斑(46)的所述位置，其中，所述輔助點(diǎn)陣(48)在幾何結(jié)構(gòu)上類似于所述探針光斑(6)的所述布拉維點(diǎn)陣(8)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述映射函數(shù)是旋轉(zhuǎn)函數(shù)和畸變函數(shù)的復(fù)合，其中，所述旋轉(zhuǎn)函數(shù)將所述像平面(42)的每個(gè)點(diǎn)(56)繞垂直于所述像平面的軸旋轉(zhuǎn)幅度對(duì)于所述像平面(42)的所有點(diǎn)相同的角度(68)，所述軸通過中心點(diǎn)(54)，并且其中，所述畸變函數(shù)將所述像平面的每個(gè)點(diǎn)(56)在徑向方向上相對(duì)于所述中心點(diǎn)(54)平移到徑向平移點(diǎn)(64)，所述中心點(diǎn)(54)與所述平移點(diǎn)(64)之間的距離是所述中心點(diǎn)(54)與所述未平移原點(diǎn)(56)之間的距離的函數(shù)。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述畸變函數(shù)具有以下形式：

r′＝γf(β，r)r，

r是從所述中心點(diǎn)(54)到所述像平面(42)的任意點(diǎn)(56)的向量，r′是從所述中心點(diǎn)(54)到所述徑向平移點(diǎn)(64)的向量，β為畸變參數(shù)，γ為比例參數(shù)，r為r的長(zhǎng)度，以及因子f(β，r)為β和r的函數(shù)。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，所述因子f(β，r)如下給出：

f(β，r)＝1+βr²。

5.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，擬合(205)所述映射函數(shù)的步驟包括：

-首先擬合所述旋轉(zhuǎn)函數(shù)；以及

-然后擬合所述畸變函數(shù)。

6.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，擬合(205)所述映射函數(shù)的步驟包括：

-首先擬合所述比例因子γ的值；以及

-然后擬合所述畸變參數(shù)β的值。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，擬合(205)所述映射函數(shù)的步驟包括：

-迭代確定所述映射函數(shù)。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟：

-在信息載體(36、38)上存儲(chǔ)(206)所述映射函數(shù)。

9.一種用于確定具有物平面(40)和像平面(42)的成像系統(tǒng)(32)的畸變的測(cè)量系統(tǒng)(10)，所述測(cè)量系統(tǒng)包括：

-斑生成器(10)，用于在所述物平面(40)中生成探針光斑(6)的陣列，由此在所述像平面(42)中生成對(duì)應(yīng)的圖像光斑(46)的陣列，所述探針光斑根據(jù)一維或二維布拉維點(diǎn)陣(8)布置，

-圖像傳感器(34)，具有敏感區(qū)域(44)，所述敏感區(qū)域布置為能夠與所述圖像光斑(46)的所述陣列相互作用，以及

-信息處理設(shè)備(36、38)，耦合至所述圖像傳感器(34)，

其中，所述信息處理設(shè)備承載用于執(zhí)行如權(quán)利要求1的方法所述的如下步驟的可執(zhí)行指令：

-從所述圖像傳感器(34)讀取(203)圖像數(shù)據(jù)；

-確定所述圖像光斑(46)的位置；以及

-擬合(205)映射函數(shù)。