[發(fā)明專(zhuān)利]原子層淀積設(shè)備和裝載方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980130603.0
• 申請(qǐng)日: 2009-07-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102112655A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·林德弗斯;J·A·K-A·鮑蒂艾南
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 皮考遜公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/455
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;C30B25/02;H01L21/28;H01L21/314
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 蘇娟

1.一種原子層淀積(ALD)反應(yīng)器系統(tǒng)，包括：

多個(gè)ALD反應(yīng)器，所述多個(gè)ALD反應(yīng)器相對(duì)于彼此成一式樣地放置，每個(gè)所述ALD反應(yīng)器能夠接收一批用于ALD處理的基底，每個(gè)所述ALD反應(yīng)器包括能夠從頂部接近的反應(yīng)室；以及

裝載機(jī)器人，其包括抓持部分和運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述裝載機(jī)器人能夠執(zhí)行多個(gè)裝載序列，以裝載所述多個(gè)ALD反應(yīng)器中的每一個(gè)，每個(gè)所述裝載序列包括：

通過(guò)所述抓持部分拾取位于存儲(chǔ)區(qū)域或架中的承載有一批基底的基底保持器；以及

通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)將帶有所述一批基底的所述基底保持器移入目標(biāo)ALD反應(yīng)器的所述反應(yīng)室中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ALD反應(yīng)器系統(tǒng)，其中，所述裝載機(jī)器人在每個(gè)裝載序列中能夠?qū)⑺龌妆３制鲝乃龇磻?yīng)室的頂部豎直地降低至反應(yīng)室中，而不需經(jīng)過(guò)單獨(dú)的裝載室。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ALD反應(yīng)器系統(tǒng)，其中，所述系統(tǒng)的所述ALD反應(yīng)器的數(shù)量為兩個(gè)或三個(gè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ALD反應(yīng)器系統(tǒng)，其中，每個(gè)所述ALD反應(yīng)器包括：

蓋系統(tǒng)，所述蓋系統(tǒng)包括與反應(yīng)室蓋結(jié)合的反應(yīng)器蓋或真空室蓋；以及

提升機(jī)構(gòu)，其能夠?qū)⑺錾w系統(tǒng)提升以用于裝載所述反應(yīng)室。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ALD反應(yīng)器系統(tǒng)，包括圍繞所述多個(gè)ALD反應(yīng)器、裝載機(jī)器人和存儲(chǔ)區(qū)域或架的高效空氣微粒過(guò)濾器罩。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ALD反應(yīng)器系統(tǒng)，能夠通過(guò)單個(gè)機(jī)器人執(zhí)行所述裝載序列，而無(wú)須人工操作員。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ALD反應(yīng)器系統(tǒng)，其中，所述裝載機(jī)器人能夠在ALD處理后執(zhí)行多個(gè)卸載序列，以卸載所述多個(gè)ALD反應(yīng)器中的每一個(gè)，每個(gè)所述卸載序列包括：

通過(guò)所述抓持部分從目標(biāo)ALD反應(yīng)器中拾取承載有ALD處理過(guò)的一批基底的基底保持器；以及

通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)將帶有ALD處理過(guò)的一批基底的所述基底保持器移送到所述存儲(chǔ)區(qū)域或架。

8.一種方法，包括：

操作相對(duì)于彼此以一式樣地放置的多個(gè)ALD反應(yīng)器，其中每個(gè)所述ALD反應(yīng)器能夠接收一批用于ALD處理的基底，且每個(gè)所述ALD反應(yīng)器包括能夠從頂部接近的反應(yīng)室；

通過(guò)裝載機(jī)器人執(zhí)行多個(gè)裝載序列，以裝載所述多個(gè)ALD反應(yīng)器中的每一個(gè)，每個(gè)所述裝載序列包括：

拾取位于存儲(chǔ)區(qū)域或架中的承載有一批基底的基底保持器；以及

將帶有所述一批基底的所述基底保持器移入目標(biāo)ALD反應(yīng)器的所述反應(yīng)室中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，在每個(gè)所述裝載序列中，所述裝載機(jī)器人將所述基底保持器從所述反應(yīng)室的頂部豎直地降低至反應(yīng)室中，而不需經(jīng)過(guò)單獨(dú)的裝載室。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述系統(tǒng)的所述ALD反應(yīng)器的數(shù)量為兩個(gè)或三個(gè)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，每個(gè)所述ALD反應(yīng)器包括蓋系統(tǒng)，所述蓋系統(tǒng)包括與反應(yīng)室蓋結(jié)合的反應(yīng)器蓋或真空室蓋，該方法包括：

將所述蓋系統(tǒng)提升以用于裝載所述反應(yīng)室。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，包括：

將高效空氣微粒過(guò)濾器罩布置為圍繞所述多個(gè)ALD反應(yīng)器、裝載機(jī)器人和所述存儲(chǔ)區(qū)域或架，從而形成局部無(wú)塵室。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述裝載序列通過(guò)單個(gè)機(jī)器人執(zhí)行，而無(wú)須人工操作員。

14.根據(jù)權(quán)利要求8所述方法，還包括在ALD處理后由所述裝載機(jī)器人執(zhí)行多個(gè)卸載序列，以卸載所述多個(gè)ALD反應(yīng)器中的每一個(gè)，每個(gè)所述卸載序列包括：

從目標(biāo)ALD反應(yīng)器中拾取承載有ALD處理過(guò)的一批基底的基底保持器；以及

將帶有ALD處理過(guò)的一批基底的所述基底保持器移送到所述存儲(chǔ)區(qū)域或架。

15.一種原子層淀積(ALD)反應(yīng)器系統(tǒng)，包括：

ALD反應(yīng)器，其能夠接收一批用于ALD處理的基底，并且包括能夠從頂部接近的反應(yīng)室；以及

裝載機(jī)器人，其包括抓持部分和運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述裝載機(jī)器人能夠執(zhí)行裝載序列，以裝載所述ALD反應(yīng)器，所述裝載序列包括：

通過(guò)所述抓持部分拾取位于存儲(chǔ)區(qū)域或架中的承載一批基底的基底保持器；以及

通過(guò)所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)將帶有所述一批基底的所述基底保持器移入所述ALD反應(yīng)器的所述反應(yīng)室中。