[發明專利]原料回收方法及用于原料回收的收集機構

無效

• 申請號: 200980130137.6
• 申請日: 2009-08-04
• 公開（公告）號: CN102112653A
• 公開（公告）日: 2011-06-29
• 發明（設計）人: 五味淳;水澤寧;波多野達夫;原正道;山本薰;安室千晃
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;B01D53/14;B01D53/18;B01D53/72;B01D53/77;C23C16/16;H01L21/205;H01L21/31
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種原料回收方法，其從由處理容器排出的排出氣體中回收原料，在上述處理容器中，使用使相對于特定的制冷劑不分解而具有穩定的特性的有機金屬化合物的上述原料氣化而得到的原料氣體，在被處理體的表面上形成金屬膜的薄膜，其特征在于，該原料回收方法具有：

凝固工序，通過使上述排出氣體與上述制冷劑接觸而進行冷卻，使未反應的原料氣體凝固，并再次析出上述原料；

回收工序，其從上述制冷劑中分離并回收在上述凝固工序中再次析出的上述原料。

2.根據權利要求1所述的原料回收方法，其特征在于，

在上述回收工序中，采用過濾上述制冷劑的過濾法或使上述制冷劑蒸發的蒸發法。

3.根據權利要求1或2所述的原料回收方法，其特征在于，

上述制冷劑為冷卻水。

4.一種原料回收方法，其從由處理容器排出的排出氣體中回收原料，在上述處理容器中，使用使溶解于特定的溶劑中的有機金屬化合物的上述原料氣化而得到的原料氣體在被處理體的表面上形成金屬膜的薄膜，其特征在于，該原料回收方法具有：

溶解工序，其通過使上述排出氣體與上述溶劑接觸，使未反應的原料氣體溶解；

回收工序，其通過使上述溶劑蒸發，使溶解在上述溶劑中的原料再次析出并對其進行回收。

5.根據權利要求4所述的原料回收方法，其特征在于，

上述溶劑由從醇類、鏈烷類、醚類、芳香族烴構成的組中選擇的1個以上的材料構成。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的原料回收方法，其特征在于，

上述有機金屬化合物為羰基類的有機金屬化合物。

7.根據權利要求6所述的原料回收方法，其特征在于，

上述羰基類的有機金屬化合物由從Ru₃(CO)₁₂、W(CO)₆、Ni(CO)₄、Mo(CO)₆、Co₂(CO)₈、Rh₄(CO)₁₂、Re₂(CO)₁₀、Cr(CO)₆、Os₃(CO)₁₂、Ta(CO)₅構成的組中選擇的1個或多個材料構成。

8.一種收集機構，其從由處理容器排出的排出氣體中回收原料，在上述處理容器中，使用使相對于特定的制冷劑不分解而具有穩定的特性的有機金屬化合物的上述原料氣化而得到的原料氣體，在被處理體的表面上形成金屬膜的薄膜，其特征在于，該收集機構具有：

凝固單元，其通過使上述排出氣體與上述制冷劑接觸而進行冷卻，使未反應的原料氣體凝固，使上述原料再次析出；

過濾回收單元，其通過過濾上述凝固單元內的上述制冷劑，從上述制冷劑中分離并回收上述再次析出的原料。

9.根據權利要求8所述的收集機構，其特征在于，

上述凝固單元采用冷卻水作為上述制冷劑。

10.根據權利要求9所述的收集機構，其特征在于，

上述凝固單元由從洗氣裝置、水密封泵裝置及鼓泡裝置構成的組中選擇的任意1個裝置構成。

11.根據權利要求8～10中任一項所述的收集機構，其特征在于，上述過濾回收單元具有：

循環通路，在其中途設有循環泵，用于使上述凝固單元內的包含再次析出的原料的上述制冷劑循環；

回收容器，其設在上述循環通路上，具有通過過濾從上述制冷劑中回收上述再次析出的原料的過濾器。

12.根據權利要求11所述的收集機構，其特征在于，

以相對于上述循環通路能夠選擇性地使用的方式并列設有多個具有上述過濾器的回收容器。