[發明專利]用于產生EUV輻射或軟X射線的方法和設備

有效

• 申請號: 200980129700.8
• 申請日: 2009-07-21
• 公開（公告）號: CN102119583A
• 公開（公告）日: 2011-07-06
• 發明（設計）人: J.W.內夫;D.M.沃德雷萬格;P.青克
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦電子股份有限公司
• 主分類號: H05G2/00
• 分類號: H05G2/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 龔海軍;劉鵬

1.?一種借助于電操作放電產生光學輻射的設備，包括：

-?至少兩個電極（1，2），設置在放電空間中，彼此相距一定距離，該距離允許在所述電極（1，2）之間的氣體介質中點燃等離子體（15），

-?用于將液態材料（6）施加到通過所述放電空間移動的表面的設備，以及

-?能量束設備，適于將一個或若干脈沖能量束定向到所述表面上，至少部分地蒸發所述施加的液態材料（6），從而產生至少一部分所述氣體介質，

-?其中所述能量束設備被設計成在相對于所述表面的移動方向的不同側向位置處施加所述脈沖能量束的脈沖（9）。

2.?依照權利要求1的設備，

其中所述能量束設備被設計成在所述設備的操作期間施加所述脈沖能量束的脈沖以便在所述表面實現沖擊點（16）的周期性重復圖案（17）。

3.?依照權利要求1的設備，

其中所述能量束設備包括用于在相對于所述表面的移動方向的不同側向位置處施加所述脈沖能量束的脈沖的旋轉或掃描光學器件（22）。

4.?依照權利要求1的設備，

其中所述用于施加液態材料（6）的設備適于將液態材料（6）施加到所述電極（1，2）中的至少一個的表面，所述電極（1，2）中的所述至少一個被設計為可以在操作期間置于旋轉中的可旋轉輪。

5.?依照權利要求1的設備，

還包括被設置成用于測量所述產生的光學輻射的特性的輻射傳感器（20）。

6.?依照權利要求5的設備，

還包括設置在所產生的光學輻射的通路中的光學孔，其中所述輻射傳感器（20）中的若干個設置在所述孔的孔開口（19）的邊界處圍繞所述孔開口（19）。

7.?依照權利要求5或6的設備，

還包括控制單元（23），該控制單元連接到所述能量束設備并且根據所述輻射傳感器（20）的測量數據控制電容器單元（7）的充電電壓或者用于電操作所述放電的電流脈沖的能量和形狀。

8.?依照權利要求5或6的設備，

其中控制單元（23）適于根據所述輻射傳感器（20）的測量數據控制電容器單元（7）的充電電壓或者用于電操作所述放電的電流脈沖的能量和形狀以及所述脈沖能量束的每個單獨脈沖的脈沖能量。

9.?一種借助于電操作放電產生光學輻射的方法，其中

-?在放電空間中的至少兩個電極（1，2）之間的氣體介質中點燃等離子體（15），所述等離子體（15）發射要產生的所述輻射，

-?其中所述氣體介質至少部分地從液態材料（6）產生，所述液態材料施加到在所述放電空間中移動的表面，并且至少部分地通過一個或若干脈沖能量束蒸發，并且

-?其中所述脈沖能量束的脈沖（9）被定向到相對于所述表面的移動方向的不同側向位置。

10.?依照權利要求9的方法，

其中所述若干脈沖能量束中的每一個由不同的能量束源產生并且被定向到相對于所述表面的移動方向的不同側向位置。

11.?依照權利要求9的方法，

其中在所述表面的移動期間，所述一個脈沖能量束在所述表面的移動方向上來回移動，以便將所述脈沖能量束的脈沖施加到不同的側向位置。

12.?依照權利要求9的方法，

其中將所述脈沖能量束的脈沖施加到所述表面，從而在所述表面的移動期間在所述表面處實現沖擊點（16）的周期性重復圖案（17）。

13.?依照權利要求9的方法，

其中檢測所述產生的光學輻射的特性并且根據所述檢測的測量數據控制電容器單元（7）的充電電壓或者用于電操作所述放電的電流脈沖的能量和形狀。

14.?依照權利要求9的方法，

其中檢測所述產生的光學輻射的特性并且根據所述檢測的測量數據控制電容器單元（7）的充電電壓或者用于電操作所述放電的電流脈沖的能量和形狀以及所述脈沖能量束的每個單獨脈沖的脈沖能量。

15.?依照權利要求9的方法，

其中所述電極（1，2）中的至少一個被設置成在操作期間旋轉，所述液態材料（6）被施加到所述電極（1，2）中的所述至少一個的表面。