[發(fā)明專利]氟化物氣體的制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200980128444.0 | 申請日: | 2009-06-08 |
| 公開(公告)號: | CN102099286A | 公開(公告)日: | 2011-06-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 脅雅秀;藪根辰弘;宮本和博;平野一孝 | 申請(專利權(quán))人: | 斯泰拉化工公司 |
| 主分類號: | C01B9/08 | 分類號: | C01B9/08;C01B25/10;C01B33/107;C01B35/06;C01G17/04;C01G28/00 |
| 代理公司: | 北京北翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11285 | 代理人: | 蘇萌;鐘守期 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 氟化物 氣體 制造 方法 | ||
1.一種氟化物氣體的制造方法,其特征在于,通過將包含能與氟原子形成多原子離子的原子的化合物加入氟化氫溶液中,使得在氟化氫溶液中生成該多原子離子,
從而生成由所述氟原子和能與該氟原子形成多原子離子的所述原子構(gòu)成的氟化物氣體。
2.權(quán)利要求1所述的氟化物氣體的制造方法,其特征在于,通過使溶解了所述多原子離子的氟化氫溶液接觸載氣,將氟化物氣體提取到載氣中。
3.權(quán)利要求1所述的氟化物氣體的制造方法,其特征在于,使用氟化氫氣體作為所述載氣。
4.權(quán)利要求1所述的氟化物氣體的制造方法,其特征在于,通過使氟化氫從溶解了所述多原子離子的氟化氫溶液中蒸發(fā),生成氟化物氣體。
5.權(quán)利要求1所述的氟化物氣體的制造方法,其特征在于,所述多原子離子是從BF4-離子、SiF62-離子、GeF62-離子、PF6-離子及AsF6-離子構(gòu)成的群中選擇的至少任意一種。
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