[發(fā)明專利]可控制結(jié)露量的環(huán)境試驗(yàn)裝置及其控制方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980128148.0
• 申請(qǐng)日: 2009-06-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102099669A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 島田哲也;酒見(jiàn)慎一郎;坂根浩喜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛(ài)斯佩克株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01N17/00
• 分類號(hào): G01N17/00;F24F11/02;G01R31/28
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 余朦;熊傳芳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及可對(duì)試驗(yàn)對(duì)象的結(jié)露量進(jìn)行控制的環(huán)境試驗(yàn)裝置，該環(huán)境試驗(yàn)裝置尤其可適用于電子元件、電子材料等試驗(yàn)對(duì)象的電絕緣性能試驗(yàn)。

背景技術(shù)

近年來(lái)，由電子元件、電子材料等構(gòu)成的電子設(shè)備隨著用途的擴(kuò)大而應(yīng)用于各種環(huán)境下。其中，例如在高濕度的環(huán)境下使用電子設(shè)備有時(shí)會(huì)在電子設(shè)備上結(jié)露使導(dǎo)體之間短路從而產(chǎn)生故障。為此，越來(lái)越有必要對(duì)電子設(shè)備的結(jié)露耐受性(電絕緣性)進(jìn)行適當(dāng)評(píng)價(jià)。

用于進(jìn)行結(jié)露試驗(yàn)的裝置例如有專利文獻(xiàn)1、2中記載的裝置。在專利文獻(xiàn)1所記載的裝置中，對(duì)載置臺(tái)進(jìn)行冷卻以使試件的載置臺(tái)的溫度在試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度附近保持一定，從而長(zhǎng)時(shí)間保持試件的結(jié)露狀態(tài)。

另外，在專利文獻(xiàn)2記載的裝置中，根據(jù)由電視成像裝置所獲取的試驗(yàn)對(duì)象表面的圖像來(lái)判斷結(jié)露量，并將與該結(jié)露量相關(guān)的信號(hào)輸入冷卻器控制部。并且，用冷卻器對(duì)試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻以使試驗(yàn)對(duì)象表面達(dá)到設(shè)定的結(jié)露量。另外，最大限度地利用冷卻器的冷卻能力進(jìn)行試驗(yàn)對(duì)象的冷卻控制。

專利文獻(xiàn)1：日本國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)“特開(kāi)昭62-19746號(hào)”

專利文獻(xiàn)2：日本國(guó)專利申請(qǐng)公開(kāi)公報(bào)“特開(kāi)10-78387號(hào)”

發(fā)明內(nèi)容

然而，用專利文獻(xiàn)1所記載的裝置難以獲得高精度的結(jié)露狀態(tài)。換言之，雖然能夠進(jìn)行粗略的結(jié)露量控制，但難以實(shí)現(xiàn)精細(xì)的結(jié)露量控制。僅僅使載置臺(tái)的溫度在露點(diǎn)溫度附近保持一定，試件表面的結(jié)露量還是會(huì)隨著時(shí)間變化而發(fā)生變化。

另一方面，在專利文獻(xiàn)2所記載的裝置中，用電視成像裝置對(duì)試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行測(cè)定。然而，在專利文獻(xiàn)2所記載的裝置中，最大限度地利用冷卻器的冷卻能力對(duì)試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。在這種情況下，雖然結(jié)露量對(duì)設(shè)定的結(jié)露量附近的值的響應(yīng)性良好，但難以將結(jié)露量收斂到設(shè)定的結(jié)露量值。即，難以獲得結(jié)露量變化較小的穩(wěn)定的結(jié)露狀態(tài)。

本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題所完成的，其目的是提供一種環(huán)境試驗(yàn)裝置，該裝置能夠在試驗(yàn)對(duì)象表面獲得較之于現(xiàn)有技術(shù)結(jié)露量變化小的穩(wěn)定的結(jié)露狀態(tài)。

本發(fā)明的發(fā)明人為解決上述問(wèn)題進(jìn)行了廣泛研究的結(jié)果是，對(duì)冷卻及加熱試驗(yàn)對(duì)象的冷卻加熱器的溫度控制范圍設(shè)置了一定的限制。即，將該溫度控制范圍的上限值設(shè)置為由濕球所檢測(cè)出的濕球溫度與偏差相加的值，將下限值設(shè)置為試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值。并且發(fā)現(xiàn)：在該溫度控制范圍內(nèi)通過(guò)根據(jù)來(lái)自結(jié)露量傳感器的信號(hào)進(jìn)行冷卻加熱器的溫度控制，從而控制試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量，較之于現(xiàn)有技術(shù)，這種方式能夠抑制試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量變化，由此能夠解決上述問(wèn)題?；谶@個(gè)發(fā)現(xiàn)完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明提供一種環(huán)境試驗(yàn)裝置，包括：試驗(yàn)室，用于放置試驗(yàn)對(duì)象；濕球和干球，配置于所述試驗(yàn)室內(nèi)用以檢測(cè)所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣的溫濕度；空調(diào)裝置，根據(jù)來(lái)自所述濕球和干球的信號(hào)將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；冷卻加熱器，收納在所述試驗(yàn)室內(nèi)，并且，所述試驗(yàn)對(duì)象配置于其上表面，對(duì)該試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻/加熱；結(jié)露量傳感器，載置于所述試驗(yàn)對(duì)象上；控制裝置，根據(jù)來(lái)自所述結(jié)露量傳感器的信號(hào)使得向所述冷卻加熱器發(fā)出的溫度指令值在由所述濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和所述試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值之間變化，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。

優(yōu)選地，在本發(fā)明中，所述控制裝置將所述溫度指令值切換為所述濕球溫度與偏差相加的值、所述濕球溫度的值、以及所述露點(diǎn)溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。

優(yōu)選地，在本發(fā)明中，所述控制裝置將所述溫度指令值切換為所述濕球溫度與偏差相加的值以及所述露點(diǎn)溫度與偏差相加的值中的任意一個(gè)值，從而對(duì)所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量進(jìn)行控制。

另外，根據(jù)本發(fā)明的第2方面，還提供環(huán)境試驗(yàn)裝置的控制方法，所述環(huán)境試驗(yàn)裝置具有：試驗(yàn)室，用于放置試驗(yàn)對(duì)象；濕球和干球，配置于所述試驗(yàn)室內(nèi)用以檢測(cè)所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣的溫濕度；空調(diào)裝置，根據(jù)來(lái)自所述濕球和干球的信號(hào)將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；冷卻加熱器，收納在所述試驗(yàn)室內(nèi)，并且，所述試驗(yàn)對(duì)象配置于其上表面，對(duì)該試驗(yàn)對(duì)象進(jìn)行冷卻/加熱；結(jié)露量傳感器，載置于所述試驗(yàn)對(duì)象上，其特征在于，所述控制方法包括：恒溫恒濕步驟，使所述空調(diào)裝置工作以將所述試驗(yàn)室內(nèi)的空氣調(diào)節(jié)到預(yù)定的溫濕度；結(jié)露量測(cè)定步驟，根據(jù)來(lái)自所述結(jié)露量傳感器信號(hào)來(lái)測(cè)定所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量；結(jié)露量控制步驟，根據(jù)測(cè)定出的所述結(jié)露量使得向所述冷卻加熱器發(fā)出的溫度指令值在由所述濕球所檢測(cè)的濕球溫度與偏差相加的值和所述試驗(yàn)室內(nèi)的露點(diǎn)溫度與偏差相加的值之間變化，從而使得所述試驗(yàn)對(duì)象表面的結(jié)露量接近預(yù)定量。