[發(fā)明專利]復(fù)合氧化物燒結(jié)體、復(fù)合氧化物燒結(jié)體的制造方法、濺射靶及薄膜的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980127221.2
• 申請日: 2009-07-14
• 公開（公告）號: CN102089257A
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 倉持豪人;尾身健治;市田正典;飯草仁志
• 申請（專利權(quán)）人: 東曹株式會社
• 主分類號: C04B35/453
• 分類號: C04B35/453;C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種復(fù)合氧化物燒結(jié)體，包含：

金屬氧化物粒子(a)，其具有六方晶系層狀結(jié)構(gòu)且含有氧化鋅和銦；

金屬氧化物粒子(b)，其具有尖晶石結(jié)構(gòu)且含有金屬元素M，其中M為鋁和/或鎵；

所述金屬氧化物粒子(a)的長徑平均值為10μm以下，

以個數(shù)基準(zhǔn)計，所述金屬氧化物粒子(a)總體的20％以上粒子的長徑比即長徑/短徑為2以上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體，其中，所述金屬氧化物粒子(b)的最大粒徑為10μm以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體，其中，

銦相對于鋅、銦及所述金屬元素M的總和的原子比為0.001～0.02，

所述金屬元素M相對于所述總和的原子比為0.005～0.05。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體，其中，所述金屬氧化物粒子(b)含有ZnM₂O₄為其主要成分。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任一項所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體，其中，所述金屬元素M為鋁。

6.一種復(fù)合氧化物燒結(jié)體的制造方法，其包含：

第1工序，將氧化鋅粉末與氧化銦粉末混合而得到第1混合粉末；

第2工序，將所述第1混合粉末與含有金屬元素M的氧化物粉末混合，得到第2混合粉末，其中M為鋁和/或鎵；及

第3工序，將所述第2混合粉末成形并煅燒，得到復(fù)合氧化物燒結(jié)體；

在所述第1工序中，將所述氧化鋅粉末與所述氧化銦粉末混合，使得第1混合粉末的BET值比混合前的所述氧化鋅粉末與所述氧化銦粉末的BET值的加權(quán)平均值大2m²/g以上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體的制造方法，其中，所述第3工序中得到的所述復(fù)合氧化物燒結(jié)體，包含：

金屬氧化物粒子(a)，其具有六方晶系層狀結(jié)構(gòu)且含有氧化鋅和銦；

以及金屬氧化物粒子(b)，其具有尖晶石結(jié)構(gòu)且含有金屬元素M，其中M為鋁和/或鎵；

所述金屬氧化物粒子(a)的長徑平均值為10μm以下，

以個數(shù)基準(zhǔn)計，所述金屬氧化物粒子(a)總體的20％以上粒子的長徑比即長徑/短徑為2以上。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體的制造方法，其中所述第2混合粉末中，銦相對于鋅、銦及所述金屬元素M的總和的原子比為0.001～0.02，所述金屬元素M相對于所述總和的原子比為0.005～0.05。

9.根據(jù)權(quán)利要求6～8任一項所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體的制造方法，其中，所述金屬元素M為鋁。

10.一種濺射靶，由權(quán)利要求1～5任一項所述的復(fù)合氧化物燒結(jié)體構(gòu)成。

11.一種薄膜的制造方法，使用權(quán)利要求10所述的濺射靶。