[發明專利]氧化鑭基燒結體、包含該燒結體的濺射靶、氧化鑭基燒結體的制造方法及通過該制造方法制造濺射靶的方法

有效

• 申請號: 200980126610.3
• 申請日: 2009-06-23
• 公開（公告）號: CN102089258A
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 佐藤和幸;小井土由將
• 申請（專利權）人: JX日礦日石金屬株式會社
• 主分類號: C04B35/50
• 分類號: C04B35/50;C04B35/00;C23C14/34
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王海川;穆德駿

1.一種氧化鑭基燒結體，以氧化鑭作為基礎成分，其特征在于，含有氧化鈦、氧化鋯、氧化鉿的一種或兩種以上，其余為氧化鑭和不可避免的雜質。

2.如權利要求1所述的氧化鑭基燒結體，其特征在于，相對于燒結體中的金屬元素的合計成分量，鈦、鋯、鉿的金屬元素的量為1摩爾％以上且低于50摩爾％。

3.如權利要求1所述的氧化鑭基燒結體，其特征在于，相對于燒結體中的金屬元素的合計成分量，鈦、鋯、鉿的金屬元素的量為10摩爾％以上且低于50摩爾％。

4.如權利要求1至3中任一項所述的氧化鑭基燒結體，其特征在于，氫和碳各自為25重量ppm以下，相對密度為96％以上，最大粒徑為50μm以下，平均粒徑為5μm以上。

5.一種濺射靶，包含權利要求1至4中任一項所述的燒結體。

6.一種氧化鑭基燒結體的制造方法，其特征在于，使用La₂(CO₃)₃粉末或La₂O₃粉末作為氧化鑭原料粉末，使用TiO₂、ZrO₂、HfO₂粉末的一種或兩種以上作為添加氧化物，將其以添加氧化物的金屬成分相對于La的組成比為規定值的方式進行配合并混合后，將該混合粉末在大氣中進行加熱合成，然后將該合成材料粉碎得到粉末，然后將該合成粉末進行熱壓得到燒結體。

7.權利要求1至5中任一項所述的氧化鑭基燒結體的制造方法，其特征在于，使用La₂(CO₃)₃粉末或La₂O₃粉末作為氧化鑭原料粉末，使用TiO₂、ZrO₂、HfO₂粉末的一種或兩種以上作為添加氧化物，將其以添加氧化物的金屬成分相對于La的組成比為規定值的方式進行配合并混合后，將該混合粉末在大氣中進行加熱合成，然后將該合成材料粉碎得到粉末，然后將該合成粉末進行熱壓得到燒結體。

8.如權利要求6或7所述的氧化鑭基燒結體的制造方法，其特征在于，混合通過濕式球磨機進行，合成在大氣中、在1350℃～1550℃下加熱5小時～25小時來制造。

9.如權利要求6至8中任一項所述的氧化鑭基燒結體的制造方法，其特征在于，熱壓在1200℃～1500℃下、真空中進行1小時～5小時。

10.通過權利要求6至8中任一項所述的氧化鑭基燒結體的制造方法制造濺射靶的方法。