[發(fā)明專(zhuān)利]顯示面板用的基板、顯示面板、顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200980123298.2 | 申請(qǐng)日: | 2009-04-22 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN102067199A | 公開(kāi)(公告)日: | 2011-05-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 春原英明 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 夏普株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G09F9/30 | 分類(lèi)號(hào): | G09F9/30;G02F1/1343 |
| 代理公司: | 北京市隆安律師事務(wù)所 11323 | 代理人: | 權(quán)鮮枝 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 顯示 面板 制造 方法 以及 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及顯示面板用的基板、顯示面板、顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法,特別是涉及在表面形成薄膜狀并且細(xì)線(xiàn)狀的配線(xiàn)圖案的顯示面板用的基板、具備該顯示面板用的基板的顯示面板、在表面形成薄膜狀并且細(xì)線(xiàn)狀的配線(xiàn)圖案的顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)
一般的有源矩陣型的液晶顯示面板具備TFT陣列基板和對(duì)置基板(濾色器等)。并且,具備以下結(jié)構(gòu):這些基板以規(guī)定的微小間隔對(duì)置配設(shè),在這些基板之間填充封入液晶。TFT陣列基板的單側(cè)表面(與對(duì)置基板對(duì)置的一側(cè)的表面)形成有稱(chēng)為數(shù)據(jù)線(xiàn)(也稱(chēng)為源極配線(xiàn))、掃描線(xiàn)(也稱(chēng)為柵極配線(xiàn))和漏極配線(xiàn)等各種規(guī)定的薄膜狀且細(xì)線(xiàn)狀的配線(xiàn)圖案。
對(duì)于液晶顯示面板存在想提高開(kāi)口率的要求。在此所謂的“開(kāi)口率”是指顯示區(qū)域(或者一個(gè)像素)中能透光的區(qū)域所占的面積的比例。實(shí)現(xiàn)開(kāi)口率的提高能實(shí)現(xiàn)光源所產(chǎn)生的光的有效利用,并且能實(shí)現(xiàn)顯示面板的亮度的提高。為了實(shí)現(xiàn)開(kāi)口率的提高,需要降低顯示區(qū)域(或者一個(gè)像素)中遮光性材料所占的面積的比例。作為存在于像素中的遮光性材料,例如有數(shù)據(jù)線(xiàn)、信號(hào)線(xiàn)、漏極配線(xiàn)等。因此,為了降低遮光性材料的面積的比例,考慮使這些配線(xiàn)圖案的寬度變細(xì)的結(jié)構(gòu)。
然而,使數(shù)據(jù)線(xiàn)、掃描線(xiàn)、漏極配線(xiàn)等的配線(xiàn)圖案的寬度變細(xì)的結(jié)構(gòu)會(huì)產(chǎn)生下面的問(wèn)題。由于近年的液晶顯示面板的大面積化、驅(qū)動(dòng)液晶顯示面板的信號(hào)的高頻率化等,要求提高上述配線(xiàn)圖案所具有的信號(hào)傳送能力。當(dāng)配線(xiàn)圖案的寬度變細(xì)時(shí),配線(xiàn)圖案的截面積隨之變小,配線(xiàn)圖案的電阻變大。這樣一來(lái),有可能降低配線(xiàn)圖案所具有的信號(hào)傳送能力。
為了實(shí)現(xiàn)配線(xiàn)圖案所具有的信號(hào)傳送能力的提高(或者,為了防止或抑制信號(hào)傳送能力的降低),可以考慮將形成配線(xiàn)圖案的材料變更為低電阻的材料的結(jié)構(gòu)、使配線(xiàn)圖案的膜厚變厚的結(jié)構(gòu)等。然而,在將形成配線(xiàn)圖案的材料變更為低電阻的材料的結(jié)構(gòu)中,隨著材料的變更,需要大幅度變更成膜工藝。另外,在使配線(xiàn)圖案的膜厚變厚的結(jié)構(gòu)中,不僅有可能導(dǎo)致材料成本的上升,也有可能導(dǎo)致成膜處理能力的惡化。
除此以外,對(duì)于液晶顯示面板,存在想使驅(qū)動(dòng)像素的TFT的溝道長(zhǎng)度變長(zhǎng)的要求。所謂“TFT的溝道長(zhǎng)度”是指TFT的源極電極和漏極電極隔開(kāi)微小的間隔對(duì)置的部分的長(zhǎng)度。使TFT的溝道長(zhǎng)度變長(zhǎng),由此能在短時(shí)間內(nèi)將充分的電流提供給像素電極。為了使TFT的溝道長(zhǎng)度變長(zhǎng),一般需要使TFT的尺寸變大。然而當(dāng)TFT的尺寸變大時(shí),有可能導(dǎo)致像素的開(kāi)口率的降低。
另外,作為能與使TFT的溝道長(zhǎng)度變長(zhǎng)的結(jié)構(gòu)得到同樣的作用效果的結(jié)構(gòu),可以考慮變更溝道區(qū)域的半導(dǎo)體的膜質(zhì),提高溝道區(qū)域中的電荷的移動(dòng)速度的結(jié)構(gòu)。然而,在變更半導(dǎo)體的膜質(zhì)的結(jié)構(gòu)中,一般需要隨著材料的變更而大幅度變更成膜工藝。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專(zhuān)利文獻(xiàn)
專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2005-191113號(hào)公報(bào)
專(zhuān)利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2007-299972號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題
鑒于上述實(shí)際情況,本發(fā)明要解決的課題是提供不使配線(xiàn)圖案所具有的信號(hào)傳送能力降低而能使配線(xiàn)圖案的寬度變細(xì)的顯示面板用的基板、顯示面板、顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法,或者提供不使配線(xiàn)圖案的寬度變大而能提高配線(xiàn)圖案所具有的信號(hào)傳送能力的顯示面板用的基板、顯示面板、顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法,或者提供維持配線(xiàn)圖案所具有的信號(hào)傳送能力并能實(shí)現(xiàn)像素的開(kāi)口率的提高的顯示面板用的基板、顯示面板、顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法,或者提供能不使TFT的溝道長(zhǎng)度隨著TFT的尺寸的大型化、半導(dǎo)體膜的膜質(zhì)的變更而變長(zhǎng)的顯示面板用的基板、顯示面板、顯示面板用的基板的制造方法以及顯示面板的制造方法。
用于解決課題的方案
為了解決上述課題,本發(fā)明的要旨在于具備:基底,該基底的截面形成為大致半圓形狀;以及薄膜狀的配線(xiàn)圖案,該薄膜狀的配線(xiàn)圖案的至少一部分重疊于上述基底。
本發(fā)明的要旨在于,具有:基底,該基底的與長(zhǎng)邊方向成直角的方向上的截面形狀形成為大致半圓形狀;以及薄膜狀的配線(xiàn)圖案,該薄膜狀的配線(xiàn)圖案的長(zhǎng)邊方向是與上述基底的長(zhǎng)邊方向大致相同的方向,并且該薄膜狀的配線(xiàn)圖案的至少一部分重疊于上述基底,該薄膜狀的配線(xiàn)圖案的與長(zhǎng)邊方向成直角的方向上的截面的至少一部分形成為大致圓弧形狀。
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