[發明專利]用于旋轉靶的支撐件

無效

• 申請號: 200980123216.4
• 申請日: 2009-04-30
• 公開（公告）號: CN102067267A
• 公開（公告）日: 2011-05-18
• 發明（設計）人: C·勒古特;N·沙佩爾;C·魯德
• 申請（專利權）人: 阿爾卡特朗訊公司
• 主分類號: H01J35/10
• 分類號: H01J35/10
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 楊曉光;于靜

1.一種用于旋轉靶的支撐件，其大致呈圓盤形并且在其中心被穿孔，其特征在于，所述支撐件是由基于鎳的結構硬化的超級合金的材料制成的，并且所述支撐件的形狀是具有周邊薄區域的圓盤，其中，該周邊薄區域和圍繞中心孔的厚區域被斜率在3°至10°之間的凹進區域隔開，并且所述周邊薄區域與所述圍繞中心孔的厚區域之間的厚度比是在1.5至3之間。

2.根據權利要求1所述的支撐件，其中，所述周邊薄區域中的平均厚度小于10mm。

3.根據權利要求1或2所述的支撐件，其中，所述圍繞中心孔的厚區域的外徑A與被穿孔的圓盤的內徑d之間的比率A/d是在1.2至2之間。

4.根據前述權利要求之一所述的支撐件，其中，所述凹進區域的外徑B不大于90mm。

5.根據前述權利要求之一所述的支撐件，其中，所述被穿孔的圓盤的外徑D與其內徑d之間的比率D/d是在2.5至5之間。

6.根據權利要求3所述的支撐件，其中，所述外徑D小于200mm。

7.根據權利要求3所述的支撐件，其中，所述內徑d是在40mm至80mm之間。

8.根據前述權利要求之一所述的支撐件，其中，所述超級合金是在加工后經過結構硬化處理的Inconel。

9.根據前述權利要求之一所述的支撐件，其中，該支撐件的各表面中的至少一個被覆以輻射覆蓋層用以通過熱輻射來排放熱量。

10.一種旋轉陽極，包括由根據前述權利要求之一的支撐件所承載的靶子，其特征在于，所述支撐件大致呈圓盤形并且在其中心被穿孔，并且是由基于鎳的結構硬化的超級合金的材料制成的，并且該支撐件具有周邊薄區域，其中，該周邊薄區域和圍繞中心孔的厚區域被斜率在3°至10°之間的凹進區域隔開，并且所述周邊薄區域與所述圍繞中心孔的厚區域之間的厚度比是在1.5至3之間。