[發(fā)明專利]光照射裝置及光照射方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980122247.8
• 申請日: 2009-05-22
• 公開（公告）號: CN102056658A
• 公開（公告）日: 2011-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小林賢治
• 申請（專利權(quán)）人: 琳得科株式會社
• 主分類號: B01J19/12
• 分類號: B01J19/12;H01L21/301
• 代理公司: 上海金盛協(xié)力知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31242
• 代理人: 段迎春

1.一種光照射裝置，包括：對被照射物進(jìn)行支承的支承機(jī)構(gòu)，和在間隔規(guī)定距離的位置上具有焦點(diǎn)，并被設(shè)置成可以進(jìn)行搖頭動(dòng)作的光照射機(jī)構(gòu)，其特征在于，

所述支承機(jī)構(gòu)，與光照射機(jī)構(gòu)的搖頭動(dòng)作相對應(yīng)，將所述被照射物以對于光照射機(jī)構(gòu)可相對位移的形式進(jìn)行支承，以使所述被照射物的被照射面不偏離焦點(diǎn)位置。

2.一種光照射裝置，包括：對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行支承的支承機(jī)構(gòu)，所述半導(dǎo)體晶片在電路形成面上通過紫外線硬化型粘合劑粘貼有粘合片，其背面?zhèn)韧ㄟ^切割片固定于環(huán)形框架上；和可以發(fā)射紫外線的光照射機(jī)構(gòu)，其在間隔規(guī)定距離的位置上具有焦點(diǎn)，而且被設(shè)置成可以進(jìn)行搖頭動(dòng)作，其特征在于，

所述支承機(jī)構(gòu)，與光照射機(jī)構(gòu)的搖頭動(dòng)作相對應(yīng)，將所述半導(dǎo)體晶片以對于光照射機(jī)構(gòu)可相對位移的形式進(jìn)行支承，以使所述被照射物的被照射面不偏離焦點(diǎn)位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于，所述支承機(jī)構(gòu)被支承在移動(dòng)機(jī)構(gòu)上，該移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以將支承機(jī)構(gòu)進(jìn)行位移，以使被照射面與所述光照射機(jī)構(gòu)的中心光軸正交。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的光照射裝置，其特征在于，所述光照射機(jī)構(gòu)包含：進(jìn)行聚光并形成焦點(diǎn)的光照射單元，和將該光照射單元以能做搖頭動(dòng)作的形式進(jìn)行支承的支承體。

5.一種利用光照射裝置將光照射到被照射面上的光照射方法，所述光照射裝置包括：對被照射物進(jìn)行支承的支承機(jī)構(gòu)；和在間隔規(guī)定距離的位置上具有焦點(diǎn)，并被設(shè)置成可以進(jìn)行搖頭動(dòng)作的光照射機(jī)構(gòu)，其特征在于，

與所述光照射機(jī)構(gòu)的搖頭動(dòng)作相對應(yīng)，一邊將所述被照射物相對位移，一邊進(jìn)行光照射，以使所述被照射面不偏離焦點(diǎn)位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光照射方法，其特征在于，所述光照射機(jī)構(gòu)的搖頭動(dòng)作與被照射物的位移，是在維持光照射機(jī)構(gòu)的中心光軸與被照射面正交的狀態(tài)下進(jìn)行的。