[發(fā)明專利]具有結(jié)構(gòu)化反射鏡表面的空間光調(diào)制器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980121054.0
• 申請(qǐng)日: 2009-04-24
• 公開（公告）號(hào): CN102084280A
• 公開（公告）日: 2011-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托布喬姆·桑德斯特羅姆
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 麥克羅尼克邁達(dá)塔有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02B26/08
• 分類號(hào): G02B26/08;G03F7/20;G02B5/18
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 馬高平

1.一種具有多個(gè)離軸階躍表面反射鏡的空間光調(diào)制器，適合于利用中繼照明的預(yù)定所得波的特性對(duì)相干的或部分相干的照明進(jìn)行中繼，包括：

傾斜反射鏡陣列，每個(gè)反射鏡具有至少一個(gè)基本上平的反射表面和傾斜軸；

傾斜反射鏡陣列中至少一些反射鏡的基本上平的反射表面之上的表面結(jié)構(gòu)，該表面結(jié)構(gòu)化反射鏡具有至少一個(gè)階躍，該階躍將該反射表面劃分為多個(gè)反射表面并產(chǎn)生來(lái)自多個(gè)反射表面的中繼照明的部分之間的相位差；

其中，至少一個(gè)階躍相對(duì)于傾斜軸是離軸的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有離軸階躍的表面結(jié)構(gòu)化反射鏡，其用于對(duì)照明波長(zhǎng)變化進(jìn)行補(bǔ)償，照明波長(zhǎng)變化導(dǎo)致波特性改變。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有中心波長(zhǎng)的中繼照明；和

來(lái)自多個(gè)反射表面的中繼照明的部分之間的相位差關(guān)于中心波長(zhǎng)大于270度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有中心波長(zhǎng)的中繼照明；和

中繼照明的部分之間的相位差關(guān)于中心波長(zhǎng)大約是n*360度，其中n為正的、非零。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空間光調(diào)制器，其中：

中繼照明相位的所計(jì)算的導(dǎo)數(shù)在階躍的不同側(cè)上具有相反符號(hào)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有離軸階躍的表面結(jié)構(gòu)化反射鏡，用于產(chǎn)生中繼照明的預(yù)定偏振態(tài)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有至少一個(gè)由規(guī)則的一維柵格中的微結(jié)構(gòu)形成的部分反射表面的表面結(jié)構(gòu)化反射鏡，該微結(jié)構(gòu)具有比半波長(zhǎng)更小的橫向尺寸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有反射兩個(gè)具有不同相位的不同入射偏振的微結(jié)構(gòu)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有反射兩個(gè)具有不同幅值的不同入射偏振的微結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

反射具有相位差的兩個(gè)不同入射偏振，所述相位差在傾斜軸的兩側(cè)上是不同的。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

具有離軸階躍的表面結(jié)構(gòu)化反射鏡，其用于通過反射鏡傾斜范圍產(chǎn)生中繼照明中強(qiáng)度和相位的預(yù)定軌跡，該預(yù)定軌跡與沒有離軸階躍的反射鏡產(chǎn)生的軌跡不同。

12.一種具有多個(gè)相位偏移像素組的空間光調(diào)制器，適合于根據(jù)來(lái)自像素組的中繼照明的充分復(fù)合的強(qiáng)度和相位調(diào)制來(lái)對(duì)相干的或部分相干的照明進(jìn)行中繼，包括：

傾斜反射鏡陣列，該反射鏡具有至少一個(gè)基本上平的反射表面和傾斜軸；

傾斜反射鏡陣列中的反射鏡組，該組中的各個(gè)反射鏡被布置為具有不同高度，從而在組中各個(gè)反射鏡間產(chǎn)生相位偏移；

其中，驅(qū)動(dòng)反射鏡組中各個(gè)反射鏡產(chǎn)生來(lái)自組的中繼照明的充分復(fù)合的強(qiáng)度和相位調(diào)制。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

組中至少兩個(gè)反射鏡具有(1+2n)*λ/4的相位階躍(n為非負(fù)整數(shù))，該兩個(gè)反射鏡關(guān)于照明軸具有不同的相位偏移。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的空間光調(diào)制器，進(jìn)一步包括：

在單位圓內(nèi)產(chǎn)生任何的復(fù)合的反射常數(shù)，同時(shí)限制移動(dòng)至小于或等于反射鏡邊緣處四分之一波長(zhǎng)的值。

15.一種具有多個(gè)深階躍反射鏡的空間光調(diào)制器，適合于利用對(duì)照明波長(zhǎng)的減小的操作靈敏度對(duì)相干的或部分相干的照明進(jìn)行中繼，包括：

傾斜反射鏡陣列，該反射鏡具有至少一個(gè)基本上平的反射表面和傾斜軸；

傾斜反射鏡陣列中的深階躍反射鏡，該深階躍反射鏡具有至少一個(gè)將該反射表面劃分為多個(gè)反射表面的階躍，并且在特定反射鏡上的相鄰反射表面之間產(chǎn)生關(guān)于照明的中心波長(zhǎng)大于135度的高度差；

由此減小由照明波長(zhǎng)的反射鏡操作而引起的衍射效應(yīng)的相關(guān)性。