[發明專利]感光性樹脂組合物

有效

• 申請號: 200980119560.6
• 申請日: 2009-05-27
• 公開（公告）號: CN102047181A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 丹羽基博;澀井智史;金田隆行
• 申請（專利權）人: 旭化成電子材料株式會社
• 主分類號: G03F7/023
• 分類號: G03F7/023;G03F7/004
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，包含：

100質量份(A)含有下述通式(1)所示結構的羥基聚酰胺，

[化學式1]

式(1)中，X¹是具有碳原子的4價有機基團，X²、Y¹和Y²各自獨立地是具有2個以上碳原子的2價有機基團，l是2～1000的整數，m是0～500的整數，l/(l+m)＞0.5，而且含有X¹和Y¹的l個二羥基二酰胺單元以及含有X²和Y²的m個二酰胺單元的排列順序是任意的；

0.01～30質量份(B)下述通式(2)所示的含烷氧基烷基的化合物，

[化學式2]

式(2)中，k是1～4的整數，(i)k＝1時，X是C_nH_2nOR¹或R²，R¹是選自由甲基、乙基、正丙基和異丙基組成的組中的1價有機基團，R²是選自由氫原子、碳原子數1～4的烷基、碳原子數2～10的酯基、碳原子數2～10的氨基甲酸酯基和碳原子數1～10的烷氧基組成的組中的1價有機基團，n是1～3的整數，p是1～5的整數，q是0～4的整數，而且(p+q)＝5，(ii)k＝2～4時，X是單鍵或2～4價有機基團，R¹是選自由甲基、乙基、正丙基和異丙基組成的組中的1價有機基團，R²是選自由氫原子、碳原子數1～4的烷基、碳原子數2～10的酯基和碳原子數2～10的氨基甲酸酯基組成的組中的1價有機基團，n是1～3的整數，p是1～5的整數，q是0～4的整數，而且(p+q)＝5，其中，在C_nH_2nOR¹和R²存在多個的情況下，n、p、q、R¹和R²彼此可以相同也可以不同；以及

1～100質量份(C)重氮醌化合物。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)含烷氧基烷基的化合物用下述通式(3)表示，

[化學式3]

式(3)中，k是1或2，(i)k＝1時，X是C_nH_2nOR¹或R²，R¹是選自由甲基、乙基、正丙基和異丙基組成的組中的1價有機基團，R²是選自由氫原子、碳原子數1～4的烷基、碳原子數2～10的酯基、碳原子數2～10的氨基甲酸酯基和碳原子數1～10的烷氧基組成的組中的1價有機基團，n是1～3的整數，(ii)k＝2時，X是單鍵或選自下述通式(4)所示的基團中的2～4價有機基團，R¹是選自由甲基、乙基、正丙基和異丙基組成的組中的1價有機基團，R²是選自由氫原子、碳原子數1～4的烷基、碳原子數2～10的酯基和碳原子數2～10的氨基甲酸酯基組成的組中的1價有機基團，n是1～3的整數，p是1～5的整數，q是0～4的整數，而且(p+q)＝5，其中，在C_nH_2nOR¹和R²存在多個的情況下，n、p、q、R¹和R²彼此可以相同也可以不同。

[化學式4]

3.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，(B)含烷氧基烷基的化合物用下述通式(5)表示，

[化學式5]

式(5)中，R¹是選自由甲基、乙基、正丙基和異丙基組成的組中的1價有機基團，n是1～3的整數，p是1～5的整數，k是1或2，(i)k＝1時，X是氫原子或C_nH_2nOR¹，(ii)k＝2時，X是單鍵或選自下述通式(6)所示的基團中的2～4價有機基團，其中，在(C_nH_2nOR¹)存在多個的情況下，n和R¹彼此可以相同也可以不同。

[化學式6]