[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物、固化浮雕圖案的制造方法和半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980119545.1
• 申請日: 2009-05-25
• 公開（公告）號: CN102047179A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 澀井智史
• 申請（專利權(quán)）人: 旭化成電子材料株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;C08G69/26;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/023;G03F7/40;H01L21/027
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種感光性樹脂組合物，其包含：

(A)具有選自由下述通式(1)所示的結(jié)構(gòu)和下述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的組中的至少1種結(jié)構(gòu)的堿性水溶液可溶性聚合物100質(zhì)量份，

式(1)中，X₁和Y₁分別獨立地表示具有至少2個碳原子的2～4價的有機基團，R₁和R₂分別獨立地表示氫原子或碳原子數(shù)1～10的烴基，n₁、n₂、n₃和n₄分別獨立地為0～2的整數(shù)，n₁+n₂+n₃+n₄＞0，并且m₁為1～1000的整數(shù)，

式(2)中，X₂和Y₂分別獨立地表示具有至少2個碳原子的4價的有機基團，并且m₂為1～1000的整數(shù)；

(B)光產(chǎn)酸劑1～50質(zhì)量份；以及

(C)在羧基的α位具有至少1個選自由羥基、醚基和酯基構(gòu)成的組中的官能團的碳原子數(shù)8以上的一元羧酸化合物5～20質(zhì)量份。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(B)光產(chǎn)酸劑為具有二疊氮基萘醌結(jié)構(gòu)的化合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(C)一元羧酸化合物為選自由下述通式(3)表示且碳原子數(shù)8～30的化合物構(gòu)成的組中的至少1種化合物，

式(3)中，R₁表示有機基團，R₂表示具有至少1個選自由氫原子和烷基構(gòu)成的組中的結(jié)構(gòu)的基團，并且Z₁表示具有至少1個選自由羥基、醚基和酯基構(gòu)成的組中的官能團的基團。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(C)一元羧酸化合物為選自由下述通式(4)所示且碳原子數(shù)8～30的化合物構(gòu)成的組中的至少1種化合物，

式(4)中，R₃表示具有至少1個選自由氫原子和烷基構(gòu)成的組中的結(jié)構(gòu)的基團，R₄表示具有至少1個選自由氫原子、烷基和羰基構(gòu)成的組中的結(jié)構(gòu)的基團，Z₂表示羥基或有機基團，n₅為0～5的整數(shù)，并且Z₂存在多個時彼此相同或不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)堿性水溶液可溶性聚合物中的所述通式(1)所示的結(jié)構(gòu)具有由下述通式(5)所示的結(jié)構(gòu)，

式(5)中，X₁表示具有至少2個碳原子的2～4價的有機基團，R₁表示氫原子或碳原子數(shù)1～10的烴基，n₁和n₃分別獨立地為0～2的整數(shù)，m₁為1～1000的整數(shù)，L₁、L₂和L₃分別獨立地表示氫原子或甲基，并且L₄表示氫原子、甲基或羥基。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)堿性水溶液可溶性聚合物中的所述通式(1)所示的結(jié)構(gòu)具有由下述通式(6)所示的結(jié)構(gòu)，

式(6)中，X₃表示選自由單鍵和下述式(7)所示的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的組中的至少1種結(jié)構(gòu)，L₁、L₂和L₃分別獨立地表示氫原子或甲基，L₄表示氫原子、甲基或羥基，并且m₁為1～1000的整數(shù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(A)堿性水溶液可溶性聚合物中的所述通式(2)所示的結(jié)構(gòu)，在分子內(nèi)具有選自由下述通式(8)所示的結(jié)構(gòu)和下述通式(9)所示的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的組中的至少1種聚酰亞胺結(jié)構(gòu)，

式(8)和式(9)中，X₄表示選自由單鍵和下述式(7)所示的結(jié)構(gòu)構(gòu)成的組中的至少1種結(jié)構(gòu)，并且m₂為1～1000的整數(shù)。