[發明專利]輸送裝置、位置示教方法以及傳感器夾具

有效

• 申請號: 200980119092.2
• 申請日: 2009-05-19
• 公開（公告）號: CN102046338A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 廣田健二
• 申請（專利權）人: 日商樂華股份有限公司
• 主分類號: B25J9/22
• 分類號: B25J9/22;H01L21/677
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李貴亮

技術領域

本發明涉及通過設于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預先設定的輸送軌跡上進行輸送的輸送裝置、向該輸送裝置示教輸送軌跡上的規定的目標位置的位置示教方法、以及為了得到用于示教的信息的傳感器夾具。尤其涉及用于以半導體晶片、液晶面板、有機EL面板、太陽能電池用面板等薄物狀物作為被輸送物進行輸送的輸送裝置、位置示教方法以及傳感器夾具。

背景技術

以往，向半導體晶片、液晶面板、有機EL面板、太陽能電池用面板等薄物狀物的輸送裝置示教輸送位置的作業通過作業者將被輸送物(輸送對象物)或示教用的夾具設置于輸送端(輸送口)，將輸送裝置引導至輸送位置，而由目視確認示教位置。因此，作業耗費時間，且根據作業者的熟練程度的不同，精度會產生較大差別。另外，作業者通過輸送裝置進行視覺確認的困難也較多，進而也有進入輸送裝置的可動范圍內的作業，還存在危險的情況。因此，提出了使用各種傳感器和示教用的夾具檢測輸送對象物，然后自動地向輸送裝置示教輸送位置的自動示教的方法。

例如，在專利文獻1中公開了如下方法，即，在設有半導體晶片的位置設置示教用夾具，利用設于機械手(輸送裝置)的手部前端的透射光式傳感器檢測示教用夾具，從而示教半導體晶片的位置。另外，在專利文獻2中公開了如下系統，即，利用安裝于輸送裝置的臂部的光傳感器頭，以非接觸的方式檢測設于輸送位置的被檢測物，根據檢測出的被檢測物的位置信息獲取輸送位置的示教信息。

專利文獻1：WO2003/022534號公報；

專利文獻2：日本專利第3306398號公報。

然而，在以往的方法中，由于利用了以輸送裝置的臂的伸縮方向(Y方向)及與該伸縮方向大致正交的方向(X方向)為光軸的透射光式傳感器，因此進行了與通常的輸送動作不同的回避動作以獲取示教信息。例如，為了通過各自不同的動作獲取X方向及Y方向的位置信息而算出輸送位置的示教信息，必須進行向X方向及Y方向直線移動的回避動作。因此，當進行實際的輸送動作時，存在必須對由于回避動作的不同而產生的輸送裝置各軸的竄動(以下稱為間隙)進行補正的問題。

另外，雖為自動示教，但并不是所有的動作均自動執行，而需要基于作業者的目視來確認動作可否。

發明內容

本發明是為了解決如上的問題點而作出的，因此，提供一種通過進行通常的輸送動作而能夠獲取輸送位置的示教信息的、通過設于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預先設定的輸送軌跡上進行輸送的輸送裝置、位置示教方法以及傳感器夾具。

為了解決現有技術的問題點而提供了如下發明。

本發明第一方面的輸送裝置通過設于臂的前端的輸送部保持被輸送物而在預先設定的輸送軌跡上進行輸送，且能夠在鉛垂方向上上下移動，并且能夠在相對于鉛垂方向成直角的平面上進行直線移動及回旋移動，所述輸送裝置的特征在于，以鉛垂方向為Z方向，以位于所述平面上的設計上的直線移動方向為Y方向，以相對于Y方向及Z方向成直角的方向為X方向，且具備：透射光式傳感器，其至少具有一個從投光部向受光部的光軸，在具有多個所述光軸的情況下，以使所述光軸在X方向、Y方向及Z方向這三個方向中所需的兩個方向構成的投影面上彼此不平行、且多個所述光軸中的至少一個所述光軸也不與所述所需的兩個方向平行的方式配置所述投光部和所述受光部；一個以上的目標部件，其能夠對所述光軸進行遮光；示教信息算出機構，其從所述透射光式傳感器獲取所述目標部件使所述光軸從投光狀態遮光時、或從遮光狀態投光時的位置信息，根據所述位置信息算出針對所述輸送軌跡上的規定的目標位置的示教信息；控制機構，其根據利用所述示教信息算出機構算出的針對所述目標位置的所述示教信息，控制所述被輸送物的輸送位置，所述透射光式傳感器設于所述輸送部的前端部或所述目標位置的附近部的任一方，在沒有設置所述透射光式傳感器的所述輸送部的前端部或所述目標位置的附近部設置所述目標部件。

由此，能夠通過輸送裝置的通常的輸送動作，即，不進行用于示教作業的回避動作的情況下，獲取輸送位置的示教信息。例如，能夠通過臂的伸縮獲取X方向及Y方向的位置信息，算出輸送位置的示教信息。從而，能夠在不考慮輸送裝置的各軸間隙的情況下算出示教信息。即，能夠以容易的方法算出示教信息，并且，能夠縮短算出時間。

在此，臂是指將多個部件中其前端部分和基端部分加以連結而長條狀一體化，并能夠在驅動源的作用下伸縮運動的部件。臂的前端部為輸送物輸送部，具備將輸送物定位在臂的前端部上的一定位置的公知的夾緊機構。