[發明專利]磁鐵單元和磁控濺射裝置

有效

• 申請號: 200980118213.1
• 申請日: 2009-07-09
• 公開（公告）號: CN102037154A
• 公開（公告）日: 2011-04-27
• 發明（設計）人: 遠藤徹哉;愛因斯坦·諾埃爾·阿巴拉
• 申請（專利權）人: 佳能安內華股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種磁控濺射裝置的磁鐵單元，該磁鐵單元被配置在用于支承矩形的靶的陰極電極的背面側，其包括：磁軛，其由強磁性板材構成；環狀的外周磁鐵，其沿著上述靶的輪廓配置在該磁軛上；內部磁鐵，其配置在上述磁軛上的上述外周磁鐵的內部且極性與上述外周磁鐵的極性不同，

該磁鐵單元利用上述外周磁鐵和上述內部磁鐵形成磁軌，該磁軌作為在上述靶上產生的磁力線的切線與上述靶面平行的那樣的區域的集合，其特征在于，

該磁鐵單元還包括：

n根延伸磁極部，其自上述內部磁鐵的中央部朝著長度方向的兩側延伸且接近上述外周磁鐵的長度方向的兩端，n是2以上的正整數；

n-1根突出磁極部，其自上述外周磁鐵的兩端內側朝著長度方向的內方突出，位于上述n根延伸磁極部之間；

上述n根延伸磁極部和上述n-1根突出磁極部在上述磁軌的長度方向的兩端部形成數量為2n-1的折回形狀部。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置的磁鐵單元，其特征在于，

上述內部磁鐵包括：n根磁極長片，其在兩端具有上述延伸磁極部，通過上述外周磁鐵的長度方向中心部且沿著該長度方向平行配置；結合磁極片，其用于將上述n根磁極長片連接起來，上述n根磁極長片和上述結合磁極片具有相同的極性。

3.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置的磁鐵單元，其特征在于，

上述內部磁鐵包括：中央磁極短片，其在上述外周磁鐵內的中央部沿著上述外周磁鐵的長度方向配置；上述n根延伸磁極部，其呈分支狀地與該中央磁極短片的兩端部相連接，且沿著上述外周磁鐵的長度方向平行配置，上述中央磁極短片和上述n根延伸磁極部具有相同的極性。

4.一種磁控濺射裝置，其特征在于，

該磁控濺射裝置在能真空排氣的處理室中包括：

基板，其作為處理對象；

陰極電極，其被配置成與上述基板相對，用于供給放電用電力；

靶，其被支承在上述陰極電極的前表面側；

輸送機構，其用于使上述基板在上述靶的前方通過，

該磁控濺射裝置在上述陰極電極的背面側配置有權利要求1～3中任意1項所述的磁鐵單元。