[發明專利]儲料器

有效

• 申請號: 200980116954.6
• 申請日: 2009-06-09
• 公開（公告）號: CN102026892A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 石橋希遠;平田賢輔
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G1/00
• 分類號: B65G1/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;楊楷

技術領域

本發明涉及具備在架的正面側具有搬入口的保管部的儲料器，特別涉及具有對空氣進行過濾并供給過濾后的空氣的空氣清潔裝置的儲料器。

本申請基于2008年6月11日在日本申請的特愿2008-153176號主張優先權，并在此引用其內容。

背景技術

在半導體設備或顯示器用面板等的制造工廠中，使用用于臨時保管上述產品及其材料的儲料器。

在半導體設備或顯示器用面板等的制造中，其制造工廠內的灰塵數量越是增加，制造中越容易產生次品等，產品的可靠性也大幅降低。因此，在如上所述的制造工廠中，為了將工廠內的灰塵數量抑制在預定數量以下，在制造工廠內或工廠內的裝置中設置空氣清潔裝置是必須的條件。

由于這些原因，為了避免上述不良情況，上述儲料器具有：對保管對象物進行保管的保管部；以及對上述保管部供給過濾后的空氣的空氣清潔裝置。

例如，作為公開了針對一個保管部設置一個空氣清潔裝置的儲料器的現有技術文獻，提出有下述的專利文獻1。

專利文獻1：日本專利第3156666號公報(第8頁、圖1)

另外，在上述現有技術中，由空氣清潔裝置過濾后的空氣被供給至上述保管部。但是，在該供給的空氣流中，必須盡量避免產生無風的部分和滯流。這是因為，由于產生無風的部分和滯流，灰塵會聚集在該部分，這些灰塵會引起如上所述的不良情況。

另一方面，近年來，電視機和個人計算機用顯示器等的顯示器大型化，顯示器用面板等及其材料(玻璃基板等)也隨之大型化。進而，用于保管這些產品以及材料的保管部也大型化。其結果是，如專利文獻1所示，若針對一個保管部僅設置一個空氣清潔裝置，則在保管部中會產生空氣無法充分到達的空間，即，能夠通過空氣清潔裝置供給空氣的范圍有限。因此，會在所供給的空氣流中產生無風的部分和滯流，有可能產生如上所述的不良情況。

因此，以往在大型化的產品的制造工廠中，通過針對一個保管部相鄰地設置多個空氣清潔裝置，從而在所供給的空氣流中不會產生無風的部分和滯流。

但是，上述空氣清潔裝置價格昂貴，并且由于所設置的空氣清潔裝置的數量增加，從而存在制造工廠的建設/運營成本上升的問題。

發明內容

本發明就是鑒于這樣的狀況而完成的，提出了一種儲料器，在大型化的產品的制造工廠中，能夠使所設置的空氣清潔裝置的數量比以往所需的數量相對減少，從而能夠降低制造工廠的建設/運營成本。

為了解決上述課題，本發明采用以下手段。

即，作為儲料器的第一解決手段，本發明采用如下手段：該儲料器具備：在架的正面側具有搬入口的保管部；以及對空氣進行過濾并供給過濾后的空氣的空氣清潔裝置，其中，該儲料器在架的背面側具有腔室，在腔室的與保管部對置的第一壁部設置有多個開口部，在腔室的與第一壁部對置的第二壁部設置有向腔室內供給空氣的空氣清潔裝置。

通過采用這種手段，在本發明中，針對一個保管部以不相鄰的方式設置多個空氣清潔裝置，即使設置的空氣清潔裝置的數量比以往所需的數量相對減少，由于存在腔室，從而不僅能夠相對于與空氣清潔裝置中的空氣供給口的大小對應的部分供給空氣，還能夠相對于除此之外范圍的與腔室的開口部對應的部分供給空氣。

因此，能夠在腔室的開口部的下游側的空氣流中消除無風的部分和滯流的產生。

并且，作為儲料器的第二解決手段，在上述第一解決手段中采用空氣清潔裝置以基于架和保管部中的發塵特性的分布進行配置的手段。

通過采用這種手段，在本發明中，空氣清潔裝置重點配置在能夠對架和保管部中容易產生灰塵的位置供給過濾后的空氣的位置。因此，能夠使供給至上述部位的空氣的流量增加，消除無風的部分和滯流的產生，從而能夠高效地使灰塵流動。

另外，所謂架和保管部中的上述發塵特性是指灰塵的發生概率的分布。

并且，作為儲料器的第三解決手段，在上述第一解決手段中采用開口部以基于架和保管部中的發塵特性的分布進行配置的手段。

通過采用這種手段，在本發明中，開口部重點配置在與架和保管部中容易產生灰塵的部分對應的第一壁部上的預定部位。

因此，能夠使供給至上述部位的空氣的流量增加，消除無風的部分和滯流的產生，能夠高效地使灰塵流動。

并且，作為儲料器的第四解決手段，在上述第一解決手段中采用開口部的直徑以基于架和保管部中的發塵特性的大小形成的手段。

通過采用這種手段，在本發明中，使得與架和保管部中容易產生灰塵的部分對應的第一壁部上的預定部位處的開口部的直徑增大。