[發明專利]用于真空應用的機器人

有效

• 申請號: 200980114402.1
• 申請日: 2009-04-22
• 公開（公告）號: CN102016722A
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: R·G·M·蘭斯勃根;G·H·哈洛爾德;M·J·范道倫
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司;ASML控股股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/677
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王波波

1.一種用于在真空中定位工件的機器人，包括：

第一部件，至少部分地位于真空室內并配置成沿平移軸線定位工件，所述工件位于真空內；

軸，配置成支撐第一部件使得所述軸的對稱軸線垂直于所述平移軸線；和

第二部件，定位在真空室的外部并且配置成(i)圍繞所述對稱軸線旋轉所述軸和(ii)沿平行于所述對稱軸線的方向移動所述軸，

其中所述第二部件包括：

第二部件氣體軸承，配置成沿所述軸的圓周表面引入氣體；和

除氣密封件，配置成排空由所述第二部件氣體軸承引入的氣體。

2.根據權利要求1所述的機器人，其中所述第一部件包括：

細長構件，配置成在第一端上支撐工件；

致動器，配置成沿所述平移軸線驅動所述細長構件以定位所述工件；和

第一部件軸承，配置成在沿所述平移軸線移動期間作用到所述細長構件的表面上。

3.根據權利要求2所述的機器人，其中所述致動器配置成在從所述第一端空間上地移開的位置處接合所述細長構件。

4.根據權利要求2或3所述的機器人，其中所述第一部件軸承是配置成沿所述細長構件的表面引入氣體的氣體軸承。

5.根據權利要求4所述的機器人，其中所述第一部件還包括配置成排空由所述氣體軸承引入的氣體的除氣密封件。

6.根據權利要求4所述的機器人，其中所述第一部件還包括第一除氣密封件和第二除氣密封件，其中所述第一和第二除氣密封件分別定位在所述氣體軸承的相對側上、以便排空由所述氣體軸承引入的氣體。

7.根據權利要求2或3所述的機器人，其中所述第一部件軸承是潤滑軸承。

8.根據權利要求7所述的機器人，其中所述第一部件還包括包圍所述細長構件的撓性波紋管、以基本上減少進入到真空室的所述潤滑軸承的脫氣。

9.根據權利要求2-8中任一項所述的機器人，其中：

所述致動器和所述第一部件軸承設置在密封殼中；和

所述密封殼被抽氣、以基本上減少進入到真空室的脫氣。

10.根據權利要求1所述的機器人，其中：

所述除氣密封件的對稱軸線定位成平行于所述軸的對稱軸線；和

所述除氣密封件設置在第二部件氣體軸承和所述真空室之間。

11.根據權利要求10所述的機器人，其中所述除氣密封件配置成作用到所述軸的圓周表面上。

12.根據權利要求10所述的機器人，其中所述除氣密封件配置成作用到垂直于所述軸的表面的表面上。

13.根據前述權利要求中任一項所述的機器人，其中所述工件包括晶片、掩模版和光機裝置中的一個。

14.根據權利要求13所述的機器人，其中所述光機裝置包括數值孔徑。

15.一種光刻設備，包括：

照射系統，配置成產生輻射束；

圖案形成裝置，設置在真空室內并配置成圖案化輻射束；

投影系統，配置成將圖案化的束投影到真空室內的襯底的目標部分上；和

用于在真空室內定位工件的機器人，包括：

第一部件，至少部分地位于真空室內并配置成沿平移軸線定位工件，所述工件位于所述真空室內；

軸，配置成支撐第一部件使得所述軸的對稱軸線垂直于所述平移軸線；和

第二部件，定位在真空室的外部并且配置成(i)圍繞所述對稱軸線旋轉所述軸和(ii)沿平行于所述對稱軸線的方向移動所述軸，

其中所述第二部件包括：

第二部件氣體軸承，配置成沿所述軸的圓周表面引入氣體；和

除氣密封件，配置成排空由所述第二部件氣體軸承引入的氣體。

16.根據權利要求15所述的設備，其中所述第一部件包括：

細長構件，配置成在第一端上支撐工件；

致動器，配置成沿所述平移軸線驅動所述細長構件以定位所述工件；和

第一部件軸承，配置成在沿所述平移軸線移動期間作用到所述細長構件的表面上。

17.根據權利要求16所述的設備，其中所述致動器配置成在從所述第一端空間上地移開的位置處接合所述細長構件。