[發(fā)明專利]防反射膜和具備防反射膜的光學(xué)元件、壓模和壓模的制造方法以及防反射膜的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980114355.0
• 申請(qǐng)日: 2009-06-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102016651A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林秀和;田口登喜生;藤井曉義;山田信明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夏普株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B1/11
• 分類號(hào): G02B1/11;B32B3/10;B32B7/02
• 代理公司: 北京市隆安律師事務(wù)所 11323
• 代理人: 權(quán)鮮枝

1.一種防反射膜，

具有第1表面形狀或者使上述第1表面形狀相對(duì)于膜面翻轉(zhuǎn)而得到的第2表面形狀，上述第1表面形狀具有從膜法線方向看時(shí)二維大小為1μm以上100μm不到的多個(gè)第1凸部和二維大小為10nm以上500nm不到的多個(gè)第2凸部，上述多個(gè)第2凸部形成在上述多個(gè)第1凸部上和上述多個(gè)第1凸部之間，上述多個(gè)第1凸部的表面相對(duì)于膜面的升角為約90°以上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防反射膜，

上述多個(gè)第2凸部含有大致圓錐形的凸部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或者2所述的防反射膜，

上述多個(gè)第2凸部含有不規(guī)則排列的凸部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的防反射膜，

由光固化性樹(shù)脂形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任一項(xiàng)所述的防反射膜，

霧度值為8.5以上。

6.一種光學(xué)元件，

具有權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的防反射膜。

7.一種壓模，

具有第1表面形狀或者使上述第1表面形狀相對(duì)于表面翻轉(zhuǎn)而得到的第2表面形狀，上述第1表面形狀具有從表面法線方向看時(shí)二維大小為1μm以上100μm不到的多個(gè)第1凸部和二維大小為10nm以上500nm不到的多個(gè)第2凸部，上述多個(gè)第2凸部形成在上述多個(gè)第1凸部上和上述多個(gè)第1凸部之間，上述多個(gè)第1凸部的表面相對(duì)于膜面的升角為約90°以上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓模，

具備具有與上述第2表面形狀實(shí)質(zhì)相同的表面形狀的陽(yáng)極氧化鋁層。

9.一種壓模的制造方法，是權(quán)利要求7所述的壓模的制造方法，包含：

(a)準(zhǔn)備Al的含有量為99.0質(zhì)量％以下的Al基材的工序；

(b)通過(guò)對(duì)上述Al基材局部地進(jìn)行陽(yáng)極氧化來(lái)形成具有多個(gè)細(xì)微凹部的多孔氧化鋁層的工序；以及

(c)通過(guò)使上述多孔氧化鋁層與氧化鋁的蝕刻劑接觸來(lái)擴(kuò)大多孔氧化鋁層的多個(gè)細(xì)微凹部的工序。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓模的制造方法，

通過(guò)交替地進(jìn)行多次上述工序(b)和工序(c)，在多孔氧化鋁層中形成分別具有臺(tái)階狀的側(cè)面的多個(gè)細(xì)微凹部。

11.根據(jù)權(quán)利要求9或者10所述的壓模的制造方法，

上述Al基材含有從包括Mn、Mg以及Fe的組中選出的至少一種元素。

12.一種防反射膜的制造方法，包含：

準(zhǔn)備權(quán)利要求7或者8所述的壓模和被加工物的工序；和

利用上述壓模將上述第2表面形狀轉(zhuǎn)印到上述被加工物的表面的工序。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的防反射膜的制造方法，包含以下工序：

在上述壓模與上述被加工物的上述表面之間給予光固化性樹(shù)脂的狀態(tài)下，使上述光固化性樹(shù)脂固化，由此在上述被加工物的上述表面形成轉(zhuǎn)印了上述第2表面形狀而得到的光固化性樹(shù)脂層。