[發明專利]廢氣適用的、高溫傳感器的保護層

在審

• 申請號: 200980114234.6
• 申請日: 2009-04-16
• 公開（公告）號: CN102016558A
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: F·施內爾;C·特魯特勒;R·施密特
• 申請（專利權）人: 羅伯特.博世有限公司
• 主分類號: G01N27/414
• 分類號: G01N27/414
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李少丹;李家麟

1.一種用于測量測量氣室(114)中氣體的至少一個特征的、尤其用于檢定在內燃機廢氣中至少一種氣體成分的傳感器元件(110)，其中該傳感器元件(110)具有傳感器體(118)，該傳感器體具有至少一個從該測量氣室(114)可到達的傳感器表面(140)，其中該傳感器元件(110)具有施加到該傳感器體(118)上的電氣絕緣的涂層(142)，其中該涂層(142)具有至少一個基本氣密的第一層(144)和至少一個透氣的第二層(146)，其中該傳感器表面(140)至少大部分不被該第一層(144)覆蓋，并且其中該傳感器表面(140)基本完全被該第二層(146)覆蓋。

2.根據前述權利要求所述的傳感器元件(110)，其中該傳感器元件(110)包含有半導體傳感器元件、尤其是包含有作為半導體材料的SiC和/或GaN的半導體傳感器元件，尤其是基于場效應晶體管的傳感器元件(110)，優選地是化學場效應晶體管(112)。

3.根據前述權利要求之一所述的傳感器元件(110)，其中該第一層(144)具有至少一種以下材料：電介質、尤其是無機電介質；玻璃、尤其是低熔點的玻璃，尤其是具有在400℃至800℃范圍中的熔點范圍的玻璃，尤其在550℃和650℃之間的范圍中；陶瓷材料；玻璃-陶瓷混合物。

4.根據前述權利要求之一所述的傳感器元件(110)，其中該第一層(144)具有在0.1μm和10μm之間的層厚度，尤其是在0.5μm和3μm之間的范圍中。

5.根據前述權利要求之一所述的傳感器元件(110)，其中該第二層(146)具有基本防磨損的多孔材料、尤其是多孔的陶瓷材料、優選的是氧化鋁。

6.根據前述權利要求之一所述的傳感器元件(110)，其中該第二層(146)具有在10μm和500μm之間范圍內的厚度，尤其在20μm和300μm之間的范圍內。

7.用于測量內燃機廢氣管線中至少一種氣體成分的濃度的方法，尤其用于選擇性地測量至少一種以下物質：NO；NO₂；NH₃；碳氫化合物，其中使用了根據前述權利要求之一所述的傳感器元件(110)。

8.一種用于制造傳感器元件(110)、尤其是根據前述的涉及傳感器元件(110)的權利要求之一所述的傳感器元件(110)的方法，其中該傳感器元件用于測量測量氣室(114)中氣體的至少一個特征，其中該傳感器元件(110)具有傳感器體(118)，該傳感器體具有至少一個從該測量氣室(114)可到達的傳感器表面(140)，其中在該傳感器體(118)上施加了電氣絕緣涂層(142)，其中該方法具有以下的方法步驟：

a)至少一個基本氣密的第一層(144)被施加到該傳感器體(118)上，其中該傳感器表面(140)保持至少大部分不被該第一層(114)覆蓋；

b)至少一個透氣的第二層(146)被施加到該傳感器體(118)上，其中該傳感器表面(140)基本完全被該第二層(146)覆蓋。

9.根據前一權利要求所述的方法，其中上述方法步驟a)和b)中的至少一個包含有至少一個第一分步驟和至少一個熱硬化步驟，在該第一分步驟中至少一種基材被施加到該傳感器體(118)上。

10.根據前述兩個權利要求之一所述的方法，其中在方法步驟a)中使用了至少一種結構化的涂敷法，尤其是至少一種以下的涂敷法：印刷法；柔性印刷法；噴墨法；分配器法；噴射法；壓鑄法。

11.根據前述三個權利要求之一所述的方法，其中在至少一個方法步驟a)和b)使用了至少一種壓鑄法來作為涂敷法，尤其是至少一種等離子壓鑄法，尤其懸浮等離子壓鑄法。