[發(fā)明專利]輸送裝置及噴丸加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980113898.0
• 申請日: 2009-04-10
• 公開（公告）號: CN102015210A
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發(fā)明（設計）人: 平賀干敏;角田亮一;稻垣健一郎;前田和良
• 申請（專利權）人: 新東工業(yè)株式會社
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00;B24C3/12
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李偉

技術領域

本發(fā)明涉及載置并輸送通過噴射噴射材料實施噴丸加工的平板狀的被加工物的輸送裝置、和具備該輸送裝置的噴丸加工裝置。

背景技術

以往，噴丸加工技術被應用于去除毛刺、表面沖刷、鑄造產(chǎn)品的褶皺去除等表面加工領域，但近年來，在半導體、電子零件、液晶等使用的零件精細加工領域也得到應用。由于噴丸加工是干式工序，所以與蝕刻等不同，無需進行廢液處理等，因而能夠減小環(huán)境負荷。此外，由于能夠實現(xiàn)工序的簡化，所以具有能實現(xiàn)低成本工序的優(yōu)點。作為將噴丸加工應用于這樣的精細加工領域的例子，例如在專利文獻1中公開了將噴丸加工技術應用于太陽能電池模塊用基板的精細加工的技術。

專利文獻1：日本特開2001-332748號公報

進行噴丸加工時，通過輸送輥等的輸送裝置向噴丸室輸送被加工物。這里，輸送輥由不銹鋼等的金屬材料或硬質樹脂材料形成。在這種構成的輸送裝置中，在對上述的太陽能電池模塊用基板這樣的、由玻璃材料等易損傷材料形成的被加工物進行噴丸加工的情況下，可能會因為噴射材料進入輸送輥與被加工物之間而導致基板表面被噴射材料損傷。

發(fā)明內容

所以，本發(fā)明的目的在于，實現(xiàn)一種能夠防止附著于輸送輥的噴射材料損傷被加工物的輸送裝置及具備該輸送裝置的噴丸加工裝置。

本發(fā)明為了實現(xiàn)上述目的，在本發(fā)明之1所述的發(fā)明中采用了如下技術手段，即一種輸送裝置，其載置并輸送通過噴射噴射材料實施噴丸加工的被加工物，該輸送裝置構成為，具備多個輸送輥，該輸送輥由作為旋轉軸的主軸和多個輥部件構成，其中該多個輥部件在該主軸的周圍沿著主軸的長度方向以規(guī)定的間隔設置并且將其外周面作為輸送面，通過將該多個輸送輥平行地并列配置而形成輸送路，并且通過使各主軸旋轉而能夠輸送被加工物，上述輥部件的在外周面與被加工物抵接的抵接部件由比被加工物還軟質的彈性材料構成，在上述抵接部件與被加工物之間夾入了噴射材料的情況下，上述抵接部件作為減小由噴射材料施加于被加工物的力的緩沖件發(fā)揮作用。

根據(jù)本發(fā)明之1所述的發(fā)明，在載置并輸送平板狀的被加工物的輸送裝置中，輸送輥的輥部件的在外周面與被加工物抵接的抵接部件，由比被加工物還軟質的彈性材料構成，在抵接部件與被加工物之間夾入了噴射材料的情況下，抵接部件作為減小由噴射材料施加于被加工物的力的緩沖件發(fā)揮作用，因此，即便是由玻璃材料等易損傷的材料形成的被加工物也能夠不被噴射材料損傷地輸送。此外，由于抵接部件由彈性材料形成，因此若因被加工物造成的負荷被解除，則噴射材料從表面脫離。由此，能夠避免被加工物被附著于抵接部件的噴射材料損傷。

在本發(fā)明之2所述的發(fā)明中采用了如下技術手段，即：在本發(fā)明之1所述的輸送裝置的基礎上，上述抵接部件由獨立氣泡結構的發(fā)泡聚氨酯形成。

如本發(fā)明之2所述的發(fā)明那樣，若利用獨立氣泡結構的發(fā)泡聚氨酯形成抵接部件，則即便是對由玻璃材料等易損傷的材料形成的被加工物進行噴丸加工的情況下，抵接部件也能作為減小由噴射材料施加于被加工物的力的緩沖件有效地發(fā)揮作用，因而優(yōu)選。此外，由于是獨立氣泡結構，表面上沒有滯留噴射材料的開氣孔，容易去除噴射材料，能夠避免接下來加工的被加工物被附著于抵接部件的噴射材料損傷，因而優(yōu)選。

在本發(fā)明之3所述的發(fā)明中采用了如下技術手段，即：在本發(fā)明之1或本發(fā)明之2所述的輸送裝置的基礎上，對于鄰接的上述輸送輥，各輸送輥的多個輥部件以相對于輸送方向成為交錯狀的方式配置。

根據(jù)本發(fā)明之3所述的發(fā)明，對于相鄰的輸送輥，各輸送輥的多個輥部件以相對于輸送方向成為交錯狀的方式配置，因此，即便使被加工物蛇行的力起作用，也能夠適當?shù)貍鬟f并修正朝著輸送方向的輸送力，因此能夠避免被加工物蛇行。大型的板狀被加工物在輸送時容易蛇行，因此在輸送這樣的被加工物的情況下可以優(yōu)選使用本發(fā)明。

在本發(fā)明之4所述的發(fā)明中采用了如下技術手段，即：一種噴丸加工裝置，其從噴嘴向被加工物噴射噴射材料，并且使上述噴嘴掃描進行被加工物的噴丸加工，該噴丸加工裝置具備本發(fā)明之1至本發(fā)明之3中任意一項所述的輸送裝置。

根據(jù)本發(fā)明之4所述的發(fā)明，可以實現(xiàn)能夠獲得與本發(fā)明之1至本發(fā)明之3中任意一項所述的發(fā)明同樣的效果的噴丸加工裝置。

附圖說明

圖1是表示噴丸加工裝置的構成的說明圖。

圖2是表示輸送裝置的構成的說明圖。

圖3是表示輥部件的結構的剖視說明圖。

圖4是表示配置在最外部的輥部件的結構的剖視說明圖。

圖5是用于評價本發(fā)明的效果的試驗裝置的說明圖。

圖中符號說明：